Was ist das SECS/GEM-Kommunikationsprotokoll?
Was ist das SECS/GEM-Kommunikationsprotokoll?
SECS/GEM ist das primäre Schnittstellenprotokoll für Halbleitergeräte, das für die Datenkommunikation zwischen Gerät und Host verwendet wird. Es ist eine Kombination aus zwei verschiedenen, von SEMI standardisierten Schichten:
- SECS (Semiconductor Equipment Communication Standard): Verarbeitet die grundlegenden Nachrichtenstrukturen, die Syntax und die Datenübertragung.
- GEM (Generisches Gerätemodell): Sitzt über SECS und definiert die operativen Verhaltensmodelle, Zustandsautomaten und Automatisierungsregeln für Fabrikwerkzeuge.
Was ist das SECS/GEM-Protokoll in der Halbleiterfertigung?
Das SECS/GEM-Kommunikationsprotokoll Es handelt sich um die globale Standardschnittstelle für die Kommunikation zwischen Halbleiterfertigungsanlagen und einem Fabrik-Host bzw. Manufacturing Execution System (MES). Der Fabrik-Host fungiert als zentrale Softwareanwendung, die die Anlagenprozesse in Echtzeit steuert, verfolgt und überwacht.
Unterstützte Konnektivitäts- und SEMI-Standards
Mit eInnoSys SECS/GEM-konforme LösungenDie Fertigungsanlagen können nahtlos mit dem Fabrikhost über zwei Hauptkommunikationsmodi kommunizieren:
- Netzwerkbasiert (Hochgeschwindigkeit): Nutzt TCP/IP-Netzwerke über SEMI-Standards 37 und E37.1 (HSMS – High-Speed SECS Message Services).
- Seriell (Legacy): Nutzt serielle RS-232-Verbindungen über den SEMI-Standard. E4 (SECS-I).
Wichtigste Anwendungsfälle der SECS/GEM-Standardschnittstelle
Das Protokoll wird strikt angewendet, um eine vollständige Fabrikautomatisierung zu erreichen, einschließlich:
- Automatisierte Steuerung: Automatisches Starten, Stoppen und Pausieren der Geräteverarbeitung vom Host aus.
- Datenerfassung in Echtzeit: Erfassen Sie präzise Werkzeugmessdaten, Prozessvariablen und Sensorausgaben sofort.
- Rezeptverwaltung: Wählen Sie spezifische Produktrezepte aus, laden Sie Konfigurationen hoch/herunter und ändern Sie Prozessparameter sicher.
- Alarm- und Ereignisbehandlung: Sendet sofortige Benachrichtigungen an den Host, wenn ein Tool auf einen Fehler stößt oder Wartungsarbeiten benötigt.
Hauptkomponenten von SECS/GEM
SECS (SEMI Equipment Communication Standard)
- Definiert die Protokolle und Nachrichtenformate für die Kommunikation zwischen Hostsystemen und Geräten.
- Enthält SECS-I (RS-232-basiert) und HSMS (High-Speed SECS Message Services, TCP/IP-basiert).
GEM (Generisches Gerätemodell)
- Bietet eine standardisierte Methode zur Steuerung und Überwachung von Halbleiterfertigungsanlagen.
- Definiert ein Modell für das Geräteverhalten, die Statusmeldung und die Datenerfassung.
Anwendungen von SECS/GEM
Halbleiterfertigung:
- Wird in der Halbleiterindustrie häufig für die Waferherstellung, -prüfung und -verpackung eingesetzt.
- Gewährleistet die präzise Steuerung und Überwachung komplexer Fertigungsprozesse.
Elektronikfertigung:
- Wird bei der Herstellung von elektronischen Bauteilen und Baugruppen eingesetzt.
- Verbessert die Integration und Automatisierung von Montagelinien.
Pharma- und Biotech-Industrie:
- Wird zur Gerätekommunikation und -steuerung bei der Herstellung von pharmazeutischen und biotechnologischen Produkten eingesetzt.
- Gewährleistet die Einhaltung regulatorischer Standards und der Qualitätskontrolle.
SECS/GEM-Kommunikationsdiagramm
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SECS/GEM-Kommunikationsstandards
SECS/GEM ist nicht nur eine einzige Regel. Nicht annähernd. Es ist eher wie eine ganze Familie von Regeln. SEMI-Standards Sie arbeiten zusammen. Jede Komponente übernimmt einen anderen Teil der Kommunikation zwischen Halbleiteranlagen und Fabriksystemen.
In einer Halbleiterfabrik tauschen Maschinen ständig Informationen aus – Statusaktualisierungen, Prozessdaten, Alarme und Befehle. SECS/GEM-Rahmenwerk sorgt dafür, dass die Kommunikation so strukturiert ist, dass Geräte und Hostsysteme sich perfekt verstehen.
Welche Rolle spielt SECS-I (SEMI E4) in der Automatisierung bestehender Fabriken?
SECS-I ist eines der ursprünglichen Kommunikationsverfahren in der Halbleiterfertigung. Es definiert, wie Geräte und Hostsysteme über serielle Verbindungen, üblicherweise RS-232, kommunizieren.
- Nachrichtenblockstruktur: Die Übertragung erfolgt in Blöcken mit Headern, Nutzdaten und Fehlerprüfbits.
- Regeln für die Übertragungszeitpunkte.
- Handschlagprozeduren: Der Host bestätigt den Empfang, bevor der nächste Datenblock gesendet wird.
- Fehlererkennungsmechanismen.
eInnoSys-Integration: In modernen intelligenten Fabriken werden diese älteren Werkzeuge nahtlos integriert durch eInnoSys SECS-I zu HSMS GatewaysDadurch können ältere serielle Maschinen direkt mit modernen Ethernet-basierten Fabrikautomatisierungssystemen kommunizieren.
Wie verbessert HSMS (SEMI E37) die Kommunikationsgeschwindigkeit über TCP/IP?
HSMS steht für High-Speed SECS Message Services. Anstelle langsamer serieller Verbindungen nutzt HSMS Hochgeschwindigkeits-TCP/IP-Ethernet-Netzwerke. Dies ermöglicht eine deutlich höhere Bandbreite, geringere Latenz und massive Skalierbarkeit.
HSMS führt ein strukturiertes Sitzungsmanagement mit definierten Zuständen ein: NICHT VERBUNDEN, VERBUNDEN und AUSGEWÄHLT.
eInnoSys-Integration: Durch die Implementierung fortschrittlicher HSMS-Lösungen wie EIGEMLinkDie Geräte können große Datenmengen über die Standardinfrastruktur einer Fabrik austauschen, ohne dass es zu Skalierungsengpässen kommt.
Was ist GEM (SEMI E30) und wie definiert es das Geräteverhalten?
Während Transportprotokolle Nachrichten weiterleiten, fungiert GEM als grundlegendes Regelwerk, das das Verhalten der Geräte definiert. Es standardisiert vier Hauptfunktionsbereiche:
- Gerätezustandsmodelle: Status der Sendungen (OFFLINE, ONLINE LOKAL, ONLINE REMOTE).
- Ereignisberichterstattung: Erzeugt sofortige, automatisierte Benachrichtigungen für Prozessereignisse.
- Datensammlung: Meldet kritische Gerätevariablen an den Host zurück.
- Standardisierung von Alarm- und Befehlsfunktionen: Führt Fernbefehle wie „Prozess starten“, „Prozess stoppen“ und „Alarme zurücksetzen“ aus.
Wie sind SECS-II-Nachrichten mithilfe von Stream und Funktion (SEMI E5) strukturiert?
Jede Nachricht folgt einer strengen Taxonomie, die auf Stream- (S) und Funktionsbezeichnern (F) (SxFy) basiert:
- Stream (S): Allgemeine Nachrichtenkategorie (z. B. Alarme).
- Funktion (F): Spezifische technische Vorgehensweise.
Der Kommunikationsstack
| Framework-Schicht | Standard | Funktion |
|---|---|---|
| 1. Transportschicht | SECS-I (E4) / HSMS (E37) | Verwaltet die physische Verbindung (seriell/Ethernet). |
| 2. Nachrichtenlayout | SECS-II (E5) | Erzwingt Datenformat/Grammatik (SxFy). |
| 3. Maschinenverhalten | GEM (E30) | Definiert Betriebszustände und die Berichtslogik. |
eInnoSys SECS/GEM-Lösungen, Integration & Schulung
Als weltweit führender Anbieter von Automatisierungslösungen für die Halbleiterindustrie bietet eInnoSys umfassende Lösungen, um Geräteherstellern (OEMs) und Halbleiterfabriken zu vollständiger Konformität und nahtloser Fabrikvernetzung zu verhelfen.
1. Branchenerprobte SECS/GEM SDKs
Beschleunigen Sie Ihre Implementierung mit unserer konformen, leistungsstarken Lösung. SECS/GEM SDK-SoftwareUnsere SDKs sind für eine schnelle Integration konzipiert und unterstützen fortgeschrittene SEMI-Standards mit minimalem Programmieraufwand seitens Ihres internen Teams.
2. Kundenspezifische Automatisierung und Gateway-Integration
Wir verkaufen nicht nur Software, sondern liefern komplette Integrationslösungen. Von der Anbindung älterer serieller RS-232-Geräte mit SECS-I zu HSMS GatewaysVon der Entwicklung kundenspezifischer Fab-Host-Architekturen bis hin zur kompletten technischen Umsetzung übernimmt unser Ingenieurteam die gesamte technische Umsetzung.
3. Berufliche Ausbildung & Zertifizierung
Um sicherzustellen, dass Ihr Team Automatisierungssysteme erfolgreich verwalten und warten kann, bieten wir strukturierte SECS/GEM-Firmenworkshops, praktische Debugging-Sitzungen und virtuelle Schulungen an, die auf Ihre Produktionsziele zugeschnitten sind.
Professionelle SECS/GEM-Schulung und -Zertifizierung
Als führendes Unternehmen im Bereich der Halbleiterautomatisierungstechnologie, eInnoSys bietet umfassende SECS/GEM-Schulungen an. Unsere Programme richten sich an Softwareentwickler, Automatisierungsingenieure, Gerätehersteller (OEMs) und Produktionsleiter. Egal, ob Sie die Grundlagen verstehen oder fortgeschrittene Implementierungen meistern möchten – unsere von Experten geleiteten Schulungen decken alles ab, was Sie benötigen.
Unsere wichtigsten Schulungsmodule umfassen:
- SECS/GEM Grundlagen: Vollständige, detaillierte Auseinandersetzung mit den SEMI-Standards (E4, E5, E30, E37 und HSMS).
- Praktische Anwendung: Praktische Anleitung zur Konfiguration von SECS/GEM SDKs und der Softwarearchitektur.
- Erweiterte Nachrichtenstrukturen: Beherrschung der Stream- und Funktions-(SxFy)-Taxonomie und benutzerdefinierten Nachrichtenzuordnung.
- Fehlerbehebung und Tests: Praxisnahe Szenarien zur Behebung von Verbindungsproblemen zwischen Geräten und Host.
Wir bieten flexible Lernmöglichkeiten, darunter firmeninterne Schulungsworkshops und interaktive virtuelle Klassenzimmersitzungen, die auf die Produktionsziele Ihres Unternehmens zugeschnitten sind.
Sobald die Bereitstellung über ein branchenweit verifiziertes Paket wie das vollständig abgeschlossen ist eInnoSys SECS/GEM SDKHunderte von miteinander verbundenen Maschinen in einer Produktionsanlage können gleichzeitig kommunizieren, Meldungen abgeben und reagieren.
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Wie helfen unsere SECS/GEM-Standarddienstleistungen?
Das eInnoSys Die Automatisierungsplattform vereinfacht die Einhaltung aller acht Kernfunktionen des GEM-Standards und gewährleistet so eine nahtlose Integration zwischen Anlagen und Fabrik-Hostsystemen:
Definiert das Verhalten des Geräts in Bezug auf das Vorhandensein oder Fehlen einer Kommunikationsverbindung zum Host, einschließlich der Vorgehensweise zum Herstellen oder Wiederaufnehmen von Verbindungen mithilfe der Standardnachrichten S1F13/S1F14. eInnoSys SECS/GEM SoftwareDie Werkshosts führen einen zuverlässigen, automatisierten Verbindungsprozess durch.
Das eInnoSys CONTROL Zustandsmodell spezifiziert drei grundlegende Stufen der Wirtskontrolle, die die Fähigkeit des Wirts zur Steuerung des Geräts festlegen:
- OFFLINE: Der Bediener steuert die Maschine manuell über die lokale Konsole. Das Gerät blockiert Host-Befehle und antwortet mit SxF0.
- LOKAL/ONLINE: Der Host ist auf die reine Datenerfassung beschränkt. Er kann weder Gerätekonstanten ändern noch ferngesteuerte physikalische Bewegungen auslösen.
- ONLINE/FERNBEDIENUNG: Höchste Automatisierungsstufe. Der Werksbetreiber hat die volle Berechtigung, die Anlagen über das Netzwerk zu steuern. eInnoSys-Softwareschnittstelle.
Während Prozesszustandsmodelle stark von spezifischen Werkzeugtechnologien und Maschinenkonstruktionen abhängen, eInnoSys-Implementierungsschicht gewährleistet ein standardisiertes Rahmenwerk zur Nachverfolgung des Betriebslebenszyklus über verschiedene Gerätetypen hinweg.
Ermöglicht es dem Werkshost, Anweisungen zu geben. eInnoSys-ermöglichte es Geräten, automatisierte Vorgänge wie START, STOP, PAUSE und RESUME durchzuführen und dabei physische Bedieneraktionen direkt über Software nachzuahmen.
Unser System verwaltet drei kritische Datentypen für die präzise Nachverfolgung:
- Statusvariablen (SV): Schreibgeschützte globale Werte, die während der Verarbeitung dynamisch aktualisiert werden (z. B. Zykluszähler).
- Gerätekonstanten (EC): Lese-/Schreibvariablen, die es dem Host ermöglichen, Betriebsparameter mithilfe geeigneter Betriebsformeln zu modifizieren.
- Datenvariablen (AV): Es werden nur transiente Werte erfasst, die genau in dem Moment angezeigt werden, in dem ein bestimmtes Verarbeitungsereignis eintritt.
Ermöglicht hochgradig individualisierte Berichtskonfigurationen. Mit eInnoSys SDKsFabriken können spezifische Variablen dynamisch mit benutzerdefinierten Erfassungsereignissen verknüpfen, wodurch sichergestellt wird, dass der Host präzise Datensätze ohne zusätzlichen Verarbeitungsaufwand erhält.
Bietet ein sofort einsatzbereites Framework zur Generierung vollständiger GEM-KonformitätserklärungenVariablenlisten und detaillierte SECS-II-Nachrichtenzuordnungen machen Werksaudits unkompliziert.
Ermöglicht es Geräten, den Host sofort zu benachrichtigen, sobald eine Anomalie oder ein Sicherheitsrisiko auftritt oder behoben wird. eInnoSys-Alarm-Framework Gewährleistet die sofortige Verbreitung von Warnungen zum Schutz von Personal, Hardware und Sachwerten.
Vorteile der SECS/GEM-Integration
Verbesserte Geräteleistung
Einer der Hauptvorteile von SECS/GEM-Integration Die deutliche Verbesserung der Anlagenleistung ist ein wesentlicher Vorteil. SECS/GEM ermöglicht die Echtzeitüberwachung und -steuerung der Anlagen und somit die schnelle Anpassung von Prozessparametern. Diese Echtzeitfähigkeit gewährleistet einen optimalen Anlagenbetrieb, reduziert Ausfallzeiten und steigert die Gesamteffizienz.
Verbesserte Datenerfassung und -analyse
SECS/GEM ermöglicht die umfassende Datenerfassung von verschiedenen Anlagenkomponenten. Diese Daten können analysiert werden, um Trends zu erkennen, Anlagenausfälle vorherzusagen und Wartungspläne zu optimieren. Durch die Nutzung der Möglichkeiten der Datenanalyse können Hersteller fundierte Entscheidungen treffen, die Prozessqualität verbessern und die Betriebskosten senken.
Erhöhte Automatisierung und Effizienz
Automatisierung ist ein entscheidender Faktor für Effizienzsteigerungen in der Fertigung. Die Integration von SECS/GEM ermöglicht eine umfassendere Automatisierung, indem sie die nahtlose Kommunikation zwischen Anlagen und Fabrikleitsystemen gewährleistet. Diese Integration unterstützt die automatisierte Rezepturverwaltung, Anlagendiagnose und Prozesssteuerung und führt so zu weniger manuellen Eingriffen, schnelleren Produktionszyklen und höherem Durchsatz.
Verbesserte Geräteauslastung
Mit SECS/GEM können Hersteller die Anlagenauslastung in Echtzeit überwachen, ungenutzte Anlagen identifizieren und Produktionspläne optimieren. Diese Funktion gewährleistet die optimale Auslastung aller Anlagen, maximiert die Kapitalrendite und minimiert Leerlaufzeiten.
Verbesserte Prozesskontrolle
SECS/GEM ermöglicht eine detaillierte Steuerung von Fertigungsprozessen. Bediener können Prozessparameter fernsteuern, Diagnosen starten und Wartungsarbeiten durchführen, ohne physisch mit den Anlagen interagieren zu müssen. Diese präzise Steuerung erhöht die Prozessstabilität, reduziert Schwankungen und verbessert die Produktqualität.
Neueste SECS/GEM-Standards & Smart-Factory-Implementierung (Update 2026)
Mit der Skalierung der Halbleiterfertigung hin zu kleineren Strukturgrößen und fortschrittlichen Gehäusearchitekturen (wie der OSAT/ATMP-Chiplet-Integration) müssen die Kommunikationsstandards der Geräte einen höheren Datendurchsatz und latenzfreie Automatisierung unterstützen. Die Implementierung robuster SECS/GEM und GEM300 Die Einhaltung der Vorschriften gewährleistet eine nahtlose Verbindung zwischen Host und Werkzeug in modernen Smart Factories.
Wichtige GEM300-Standards für die fortschrittliche Fabrikautomation
Um die Anforderungen der Massenproduktion (HVM) in 300-mm-Waferfabriken vollständig zu erfüllen, müssen die Anlagen die Kernkomponenten der GEM300-Standardsuite integrieren:
- SEMI E87 (Carrier Management System): Regelt, wie das Host-Tracking-System Carrier-IDs, Kapazität und Slot-Belegungen am Ladeport verwaltet.
- SEMI E90 (Substratverfolgung): Ermöglicht die Echtzeitverfolgung einzelner Wafer oder Substrate während ihres Durchlaufs durch interne Prozessmodule und Kammern.
- SEMI E94 (Steuerungsauftragsverwaltung): Steuert die Verarbeitungsreihenfolge von Substraten innerhalb eines oder mehrerer Träger und optimiert so die Rezeptausführung.
- SEMI E84 (Trägerübertragung): Optimiert den physischen Handshake zwischen fahrerlosen Transportfahrzeugen (FTF), Hängeförderanlagen (OHT) und der Geräteverladestelle.
Technischer Datenfluss: Host-zu-Geräte-Architektur
Zur Implementierung des standardisierten SECS/GEM-Messaging folgt die Kommunikation einer geschichteten Struktur von der physischen Hardware bis zum Factory Host (MES):
Technischer Datenfluss: Host-zu-Geräte-Architektur
+-------------------------------------------------------------+ | Werkshost / MES (Fertigungsausführung) | +-------------------------------------------------------------+ ^ | SECS-II-Nachrichten (Stream / Funktionen) v +-------------------------------------------------------------+ | HSMS-Protokoll (SEMI E37) über TCP/IP / SECS-I (E4) | +-------------------------------------------------------------+ ^ | Hochgeschwindigkeits-Nachrichten-Handshake v +-------------------------------------------------------------+ | Equipment SECS/GEM SDK / Automatisierungssoftware | +-------------------------------------------------------------+ ^ | Interne Treiber / APIs v +-------------------------------------------------------------+ | Halbleiterwerkzeug / Hardware-SPS-Steuerung | +-------------------------------------------------------------+
Wie die SECS/GEM-Integration implementiert wird
Bewertung Ihrer aktuellen Systeme
Vor der Implementierung von SECS/GEM ist es unerlässlich, Ihre bestehenden Fertigungssysteme und -anlagen zu analysieren. Ermitteln Sie, welche Anlagen die SECS/GEM-Protokolle unterstützen und welchen Integrationsumfang Sie benötigen. Diese Analyse hilft Ihnen, den Implementierungsprozess effektiv zu planen.
Die richtige SECS/GEM-Lösung auswählen
Auf dem Markt sind verschiedene SECS/GEM-Lösungen verfügbar, von Softwarebibliotheken bis hin zu kompletten Integrationsplattformen. Wählen Sie eine Lösung, die Ihren spezifischen Anforderungen, Ihrem Budget und Ihrer bestehenden Infrastruktur entspricht. Berücksichtigen Sie dabei Faktoren wie einfache Integration, Skalierbarkeit und Unterstützung für zukünftige Upgrades.
Test und Validierung
Nach Abschluss der Integration führen Sie gründliche Tests durch, um sicherzustellen, dass die SECS/GEM-Implementierung wie erwartet funktioniert. Validieren Sie die Kommunikation zwischen Geräten und Hostsystemen und vergewissern Sie sich, dass der Datenaustausch korrekt und zuverlässig ist. Beheben Sie etwaige Probleme umgehend, um Produktionsausfälle zu vermeiden.
Planung des Integrationsprozesses
Eine erfolgreiche SECS/GEM-Integration erfordert sorgfältige Planung und Durchführung. Erstellen Sie einen detaillierten Integrationsplan, der die einzelnen Schritte, Zeitpläne und benötigten Ressourcen umfasst. Stellen Sie sicher, dass Ihr Team in den SECS/GEM-Protokollen geschult und mit der gewählten Lösung vertraut ist. Die Zusammenarbeit mit Geräteherstellern und SECS/GEM-Experten kann ebenfalls zu einem reibungslosen Integrationsprozess beitragen.
Kontinuierliche Überwachung und Verbesserung
Die Integration von SECS/GEM ist keine einmalige Aufgabe. Kontinuierliche Überwachung und Optimierung sind unerlässlich, um eine optimale Leistung zu gewährleisten. Überprüfen Sie regelmäßig die Gerätedaten, identifizieren Sie Verbesserungspotenziale und aktualisieren Sie Ihre SECS/GEM-Implementierung bei Bedarf. Proaktives Handeln hilft Ihnen, die langfristigen Vorteile der SECS/GEM-Integration zu nutzen.
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Häufig gestellte Fragen (FAQs)
Was ist das SECS/GEM-Protokoll in der Halbleiterfertigung?
Das SECS/GEM-Protokoll ist ein standardisiertes Kommunikationsframework, das den Datenaustausch zwischen Halbleiterfertigungsanlagen und Produktionssystemen wie MES ermöglicht. eInnoSys bietet branchenzertifizierte, SECS/GEM-konforme Software zur Optimierung der Echtzeit-Datenerfassung, Anlagenverfolgung und vollständigen Werkzeugautomatisierung in Produktionsumgebungen.
Wofür steht SECS/GEM?
SECS steht für SEMI Equipment Communication Standard und GEM für Generic Equipment Model. Gemeinsam definieren sie die Kommunikation zwischen Werkzeugen und Produktionsanlagen. Branchenerprobte Lösungen wie das eInnoSys SECS/GEM SDK implementieren diese Standardnachrichten und Betriebsverhaltensmodelle standardmäßig und ersparen so jahrelange individuelle Programmierung.
Worin besteht der Unterschied zwischen SECS und GEM?
SECS (insbesondere SECS-I und HSMS) definiert das Kerndatentransportprotokoll und das Paketnachrichtenformat, während GEM das Basisverhalten der Geräte und die Zustandsautomatenlogik festlegt. Integrierte Architekturen wie das eInnoSys SECS/GEM SDK kapseln beide Protokollschichten in einer einheitlichen Entwicklerschnittstelle für eine schnellere Bereitstellung.
Was ist HSMS in der SECS/GEM-Kommunikation?
HSMS (High-Speed SECS Message Services), definiert in SEMI E37, ist ein Hochgeschwindigkeits-Kommunikationsprotokoll, das SECS-Nachrichten über TCP/IP-Ethernet-Netzwerke überträgt. Lösungen wie eInnoSys EIGEMLink nutzen HSMS, um im Vergleich zu herkömmlichen seriellen Verbindungen höhere Bandbreite, geringere Latenz und massive Skalierbarkeit zu bieten.
Welche Rolle spielt das GEM CONTROL Zustandsmodell?
Das GEM-Control-Modell legt den Umfang der Autorisierung fest, die ein Werkshost für ein bestimmtes Tool besitzt. Das eInnoSys-CONTROL-Zustandsmodell gliedert dies in drei verschiedene Ebenen: OFFLINE (lokaler manueller Betrieb), ONLINE LOKAL (schreibgeschützte Datenerfassung durch den Host) und ONLINE REMOTE (vollständige Remote-Host-Automatisierung und -Steuerung).
Welche Gerätetypen nutzen SECS/GEM-Lösungen?
SECS/GEM wird weltweit in Lithographieanlagen, Ätzanlagen, Beschichtungssystemen und Inspektionsmaschinen eingesetzt. Für ältere Anlagen oder SPS-basierte Hardware ohne native Kompatibilität bietet eInnoSys spezielle SECS/GEM-Gateway-Lösungen und EIGEM-HMI-Module an, um die Automatisierung ohne Hardwareänderungen zu ermöglichen.
Welche Kernstandards des GEM300-Standards sind für die Automatisierung von 300-mm-Wafern erforderlich?
Moderne 300-mm-Waferfabriken benötigen eine Reihe fortschrittlicher Standards für die Automatisierung großer Produktionsvolumina. Das eInnoSys GEM300 SDK integriert diese nativ, darunter SEMI E87 für das Trägermanagement, SEMI E90 für die Substratverfolgung, SEMI E94 für Steuerungsprozesse und SEMI E84 für den physikalischen Transport-Handshake zwischen AGVs und OHTs.
Wie lässt sich SECS/GEM in Kepware OPC- und OSAT-Umgebungen integrieren?
Während der Kepware OPC Server die generische industrielle SPS-Kennzeichnung übernimmt, fehlen ihm native Halbleiterzustandsmodelle. Die Softwarelösungen von eInnoSys schließen diese Lücke durch die nahtlose Integration von Kepware-Architekturen mit vollständiger SECS/GEM-Konformität. Dadurch können fortschrittliche OSAT-Einrichtungen (Outsourced Semiconductor Assembly & Test) latenzfreie Smart-Factory-Automatisierung realisieren.