Lösungsübersicht
eInnoSys bietet fortschrittliche Lösungen zur Ertragssteigerung in der Halbleiterfertigung. Diese optimieren Produktionsprozesse, reduzieren Fehlprozesse und verbessern die Produktqualität. Unsere Strategie zur Ertragssteigerung kombiniert Automatisierung, Datenkorrelation und intelligente Prozesssteuerung, um messbare Verbesserungen in der Fertigung zu erzielen.
Unsere Softwarelösungen zur Ertragssteigerung
Mit unserem zum Patent angemeldeten Produkt EIGEMBox können Sie bestehende oder ältere Anlagen um SECS/GEM-Automatisierungsfunktionen erweitern. Dies ermöglicht die Automatisierung und Prozessdatenerfassung von Anlagen, die bisher keine Kommunikationsmöglichkeiten besaßen.
Advanced Process Control (APC)
Mit jahrzehntelanger Erfahrung in der Halbleiterfertigung und -montage hat eInnoSys fortschrittliche Prozesskontrolllösungen entwickelt, die Messdaten erfassen und analysieren sowie Prozessrezepte und -parameter automatisch anpassen, um die Halbleiterausbeute zu verbessern.
Fehlererkennung und -klassifizierung (FDC)
eInnoSys hat erfolgreich mehrere Projekte zur Fehlererkennung und -klassifizierung in verschiedenen Fabriken implementiert, um Prozessabweichungen zu identifizieren und Ertragsverluste zu verhindern.
Branchenherausforderungen
Branchenherausforderungen, die wir lösen
Halbleiterfertigungsanlagen stehen häufig vor Herausforderungen im Zusammenhang mit der Ausbeute, wie zum Beispiel
- Fehlverarbeitung von Wafern
- Begrenzte Transparenz der Prozessdaten
- Mangelnde Automatisierung in älteren Anlagen
- Schwierigkeiten bei der Korrelation von Wafer-End-to-End-Daten
- Fehler bei der manuellen Rezeptauswahl
- Inkonsistente Prozesssteuerung
- Herausforderungen bei der Überwachung von Gerätealarmen
- Qualitäts- und Ertragsverluste
Lösungskategorien / Anwendungsfallbasierte Lösungen
Lösungen für Ertragsmanagement
- Host-Anwendungen oder Stationssteuerungen, die Rezepte per Barcode- oder RFID-Scanning von Chargenkartons herunterladen oder auswählen und Prozesse ferngesteuert starten
- Erfassung und Analyse von Alarmen, Ereignissen und kritischen Prozessparametern von Anlagen mittels SECS/GEM oder anderer Integrationsmethoden
- Korrelation von Gerätedaten mit MES- und anderen Gerätedaten
- End-to-End-Waferdatenkorrelation von Epitaxieprozessen bis zum Endtest
- Integration von Feedback- und Feedforward-Messdaten in Prozessanlagen zur Ertragssteigerung
Hauptmerkmale unserer Softwarelösungen
SECS/GEM Automatisierungsintegration
Metrologie-Datenerfassung und -analyse
End-to-End-Wafer-Datenkorrelation
Automatisierung der Rezeptverwaltung
Fehlererkennung und -klassifizierungsüberwachung
Chargenverfolgung auf Barcode- und RFID-Basis
Alarm- und Ereignisüberwachung
MES-Integrationsfähigkeiten
Wichtigste Vorteile der Ertragssteigerung
Verbesserung der Halbleiterausbeute
Prozessvariabilität und Fehlverarbeitungsereignisse reduzieren.
Reduzieren Sie Fertigungsfehler
Automatisierte Rezeptauswahl und Prozesssteuerung.
Prozesstransparenz verbessern
Erhalten Sie einen vollständigen Einblick in die Geräte- und Wafer-Level-Daten.
Automatisierung bestehender Anlagen ermöglichen
Fügen Sie Automatisierungsfunktionen über EIGEMBox hinzu.
Reduzierung der Betriebskosten
Die Produktionseffizienz steigern und Abfall reduzieren.
Qualität und Zuverlässigkeit verbessern
Gewährleisten Sie eine gleichbleibende Fertigungsleistung.
Industrien, die wir bedienen
Halbleiterfertigung
Wafer-FABs
Montage-, Test- und Verpackungsanlagen
Elektronikfertigung
Unsere Kernkompetenz
Sicherheit & Compliance
- Rollenbasierte Zugriffssteuerung
- Sichere Gerätedatenkommunikation
- Zuverlässige Alarm- und Ereignisverfolgung
- Datenprotokollierungs- und Prüffunktion
- Unterstützung bei der Einhaltung von Vorschriften im Bereich der industriellen Automatisierung
Integrationsfähigkeit
- MES-Systeme
- SECS/GEM-fähige Geräte
- Legacy-Geräte über EIGEMBox
- Messwerkzeuge
- Fabrikautomatisierungsplattformen
Implementierungs- und Bereitstellungsprozess
Ertragsanalyse & Bedarfsstudie
Lösungsdesign & Architekturentwicklung
Automatisierung und Softwareimplementierung
Integration mit Anlagen und MES
Testen und Validieren
Bereitstellung und Optimierung
Kontinuierliche Unterstützung und Weiterentwicklung
Technologie & Expertise
EinnoSys verfügt über umfassende Expertise im Halbleiterbereich.
einschließlich
-
SECS/GEM & Expertise in Fabrikautomation
-
Fortgeschrittene Prozesssteuerungsentwicklung
-
Fehlererkennungs- und Klassifizierungssysteme
-
Ertragsdatenanalyse & Korrelation
-
Intelligente Fertigungsautomatisierung
-
Umsetzung der Strategie zur Steigerung der Halbleiterausbeute
Systemarchitektur / Technischer Ansatz
Unsere Lösungsarchitektur zur Ertragssteigerung unterstützt
-
Datenerfassung von Geräten mittels SECS/GEM
-
Integration mit MES- und Fertigungssystemen
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Metrologie-Datenanalyse und Korrelation
-
Automatisierte Prozesssteuerung und Rezeptoptimierung
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Feedback- und Feedforward-Automatisierungsstrategien
Unterstützung & Wartung
EinnoSys bietet umfassenden Support über den gesamten Lebenszyklus hinweg, einschließlich
-
Technischer Support
-
Software Updates
-
Leistungsüberwachung
-
Automatisierungsoptimierung
-
Schulung und Dokumentation
Steigern Sie die Halbleiterausbeute mit den Automatisierungslösungen von eInnoSys.
Steigern Sie die Fertigungseffizienz, reduzieren Sie Produktionsverluste und optimieren Sie die Prozesssteuerung mit fortschrittlichen Technologien zur Ertragssteigerung.
Warum eInnoSys wählen?
Jahrzehntelange Erfahrung in der Halbleiterfertigung
Bewährte Strategie zur Ertragssteigerung
Starke Expertise in Automatisierung und Datenanalyse
Patentierte Automatisierungsprodukte
Kundenspezifische Software & Integrationsmöglichkeiten
Vereinbaren Sie eine kostenlose technische Beratung
Setzen Sie sich mit unseren Experten in Verbindung, um Ihre OEM- und FAB/ATP-Anforderungen zu besprechen und die passende Lösung für Ihre Betriebsabläufe zu finden.
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MEHR LESENHäufig gestellte Fragen (FAQ)
Was versteht man unter Halbleiterausbeuteverbesserung?
Bei der Ertragssteigerung in der Fertigung liegt der Fokus auf der Optimierung von Produktionsprozessen, um Fehler zu reduzieren und die Produktqualität zu verbessern.
Sind Lösungen zur Ertragssteigerung auch mit älteren Anlagen kompatibel?
Ja, EIGEMBox ermöglicht die Automatisierung und Datenerfassung von älteren Halbleiteranlagen.
Unterstützen Sie die durchgängige Wafer-Datenanalyse?
Ja, die Lösungen von eInnoSys korrelieren Waferdaten von der Epitaxieverarbeitung bis zur Endprüfung.
Sind Ihre Lösungen mit MES kompatibel?
Ja, unsere Lösungen unterstützen die Integration von MES- und Fabrikautomatisierungssystemen.



