Lösungsübersicht

Lösung zur Ertragssteigerung in der Halbleiterfertigung

eInnoSys bietet fortschrittliche Lösungen zur Ertragssteigerung in der Halbleiterfertigung. Diese optimieren Produktionsprozesse, reduzieren Fehlprozesse und verbessern die Produktqualität. Unsere Strategie zur Ertragssteigerung kombiniert Automatisierung, Datenkorrelation und intelligente Prozesssteuerung, um messbare Verbesserungen in der Fertigung zu erzielen.

Unsere Softwarelösungen zur Ertragssteigerung

Fügen Sie SECS/GEM auf älteren Geräten über EIGEMBox hinzu.

Mit unserem zum Patent angemeldeten Produkt EIGEMBox können Sie bestehende oder ältere Anlagen um SECS/GEM-Automatisierungsfunktionen erweitern. Dies ermöglicht die Automatisierung und Prozessdatenerfassung von Anlagen, die bisher keine Kommunikationsmöglichkeiten besaßen.

Fügen Sie SECS/GEM auf älteren Geräten über EIGEMBox hinzu.
Advanced Process Control (APC)

Advanced Process Control (APC)

Mit jahrzehntelanger Erfahrung in der Halbleiterfertigung und -montage hat eInnoSys fortschrittliche Prozesskontrolllösungen entwickelt, die Messdaten erfassen und analysieren sowie Prozessrezepte und -parameter automatisch anpassen, um die Halbleiterausbeute zu verbessern.

Fehlererkennung und -klassifizierung (FDC)

eInnoSys hat erfolgreich mehrere Projekte zur Fehlererkennung und -klassifizierung in verschiedenen Fabriken implementiert, um Prozessabweichungen zu identifizieren und Ertragsverluste zu verhindern.

Fehlererkennung und -klassifizierung (FDC)

Branchenherausforderungen

Branchenherausforderungen, die wir lösen

Halbleiterfertigungsanlagen stehen häufig vor Herausforderungen im Zusammenhang mit der Ausbeute, wie zum Beispiel

  • Fehlverarbeitung von Wafern
  • Begrenzte Transparenz der Prozessdaten
  • Mangelnde Automatisierung in älteren Anlagen
  • Schwierigkeiten bei der Korrelation von Wafer-End-to-End-Daten
  • Fehler bei der manuellen Rezeptauswahl
  • Inkonsistente Prozesssteuerung
  • Herausforderungen bei der Überwachung von Gerätealarmen
  • Qualitäts- und Ertragsverluste

Lösungskategorien / Anwendungsfallbasierte Lösungen

Lösungen für Ertragsmanagement

  • Host-Anwendungen oder Stationssteuerungen, die Rezepte per Barcode- oder RFID-Scanning von Chargenkartons herunterladen oder auswählen und Prozesse ferngesteuert starten
  • Erfassung und Analyse von Alarmen, Ereignissen und kritischen Prozessparametern von Anlagen mittels SECS/GEM oder anderer Integrationsmethoden
  • Korrelation von Gerätedaten mit MES- und anderen Gerätedaten
  • End-to-End-Waferdatenkorrelation von Epitaxieprozessen bis zum Endtest
  • Integration von Feedback- und Feedforward-Messdaten in Prozessanlagen zur Ertragssteigerung

Hauptmerkmale unserer Softwarelösungen

SECS/GEM Automatisierungsintegration

01

Metrologie-Datenerfassung und -analyse

02

End-to-End-Wafer-Datenkorrelation

03

Automatisierung der Rezeptverwaltung

04

Fehlererkennung und -klassifizierungsüberwachung

05

Chargenverfolgung auf Barcode- und RFID-Basis

06

Alarm- und Ereignisüberwachung

07

MES-Integrationsfähigkeiten

08

Wichtigste Vorteile der Ertragssteigerung

Verbesserung der Halbleiterausbeute

Prozessvariabilität und Fehlverarbeitungsereignisse reduzieren.

Reduzieren Sie Fertigungsfehler

Automatisierte Rezeptauswahl und Prozesssteuerung.

Prozesstransparenz verbessern

Erhalten Sie einen vollständigen Einblick in die Geräte- und Wafer-Level-Daten.

Automatisierung bestehender Anlagen ermöglichen

Fügen Sie Automatisierungsfunktionen über EIGEMBox hinzu.

Reduzierung der Betriebskosten

Die Produktionseffizienz steigern und Abfall reduzieren.

Qualität und Zuverlässigkeit verbessern

Gewährleisten Sie eine gleichbleibende Fertigungsleistung.

Industrien, die wir bedienen

in 1

Halbleiterfertigung

in 2

Wafer-FABs

in 3

Montage-, Test- und Verpackungsanlagen

in 4

Elektronikfertigung

Unsere Kernkompetenz

Sicherheit & Compliance

  • Rollenbasierte Zugriffssteuerung
  • Sichere Gerätedatenkommunikation
  • Zuverlässige Alarm- und Ereignisverfolgung
  • Datenprotokollierungs- und Prüffunktion
  • Unterstützung bei der Einhaltung von Vorschriften im Bereich der industriellen Automatisierung

Integrationsfähigkeit

  • MES-Systeme
  • SECS/GEM-fähige Geräte
  • Legacy-Geräte über EIGEMBox
  • Messwerkzeuge
  • Fabrikautomatisierungsplattformen

Implementierungs- und Bereitstellungsprozess

01
Ertragsanalyse & Bedarfsstudie

Ertragsanalyse & Bedarfsstudie

02
Lösungsdesign & Architekturentwicklung

Lösungsdesign & Architekturentwicklung

03
Automatisierung und Softwareimplementierung

Automatisierung und Softwareimplementierung

04
Integration mit Anlagen und MES

Integration mit Anlagen und MES

05
Testen und Validieren

Testen und Validieren

06
Bereitstellung und Optimierung

Bereitstellung und Optimierung

07
Kontinuierliche Unterstützung und Weiterentwicklung

Kontinuierliche Unterstützung und Weiterentwicklung

Technologie & Expertise

EinnoSys verfügt über umfassende Expertise im Halbleiterbereich.
einschließlich

  • aus der Ferne überprüfen SECS/GEM & Expertise in Fabrikautomation
  • aus der Ferne überprüfen Fortgeschrittene Prozesssteuerungsentwicklung
  • aus der Ferne überprüfen Fehlererkennungs- und Klassifizierungssysteme
  • aus der Ferne überprüfen Ertragsdatenanalyse & Korrelation
  • aus der Ferne überprüfen Intelligente Fertigungsautomatisierung
  • aus der Ferne überprüfen Umsetzung der Strategie zur Steigerung der Halbleiterausbeute

Systemarchitektur / Technischer Ansatz

Unsere Lösungsarchitektur zur Ertragssteigerung unterstützt

  • aus der Ferne überprüfen Datenerfassung von Geräten mittels SECS/GEM
  • aus der Ferne überprüfen Integration mit MES- und Fertigungssystemen
  • aus der Ferne überprüfen Metrologie-Datenanalyse und Korrelation
  • aus der Ferne überprüfen Automatisierte Prozesssteuerung und Rezeptoptimierung
  • aus der Ferne überprüfen Feedback- und Feedforward-Automatisierungsstrategien

Unterstützung & Wartung

EinnoSys bietet umfassenden Support über den gesamten Lebenszyklus hinweg, einschließlich

  • aus der Ferne überprüfen Technischer Support
  • aus der Ferne überprüfen Software Updates
  • aus der Ferne überprüfen Leistungsüberwachung
  • aus der Ferne überprüfen Automatisierungsoptimierung
  • aus der Ferne überprüfen Schulung und Dokumentation

Steigern Sie die Halbleiterausbeute mit den Automatisierungslösungen von eInnoSys.

Steigern Sie die Fertigungseffizienz, reduzieren Sie Produktionsverluste und optimieren Sie die Prozesssteuerung mit fortschrittlichen Technologien zur Ertragssteigerung.

Case Studies

Warum eInnoSys wählen?

Jahrzehntelange Erfahrung in der Halbleiterfertigung

Bewährte Strategie zur Ertragssteigerung

Starke Expertise in Automatisierung und Datenanalyse

Patentierte Automatisierungsprodukte

Kundenspezifische Software & Integrationsmöglichkeiten

Vereinbaren Sie eine kostenlose technische Beratung

Setzen Sie sich mit unseren Experten in Verbindung, um Ihre OEM- und FAB/ATP-Anforderungen zu besprechen und die passende Lösung für Ihre Betriebsabläufe zu finden.

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    Häufig gestellte Fragen (FAQ)

    Was versteht man unter Halbleiterausbeuteverbesserung?

    Bei der Ertragssteigerung in der Fertigung liegt der Fokus auf der Optimierung von Produktionsprozessen, um Fehler zu reduzieren und die Produktqualität zu verbessern.

    Sind Lösungen zur Ertragssteigerung auch mit älteren Anlagen kompatibel?

    Ja, EIGEMBox ermöglicht die Automatisierung und Datenerfassung von älteren Halbleiteranlagen.

    Unterstützen Sie die durchgängige Wafer-Datenanalyse?

    Ja, die Lösungen von eInnoSys korrelieren Waferdaten von der Epitaxieverarbeitung bis zur Endprüfung.

    Sind Ihre Lösungen mit MES kompatibel?

    Ja, unsere Lösungen unterstützen die Integration von MES- und Fabrikautomatisierungssystemen.