Unsere Kerndienstleistungen im Bereich Halbleiter- und Fabrikautomatisierung
Wir schließen die Lücke zwischen komplexer Hardware für die Halbleiterproduktion und unternehmensweiten Ausführungssystemen.
1. Werkzeugvernetzung und Anlagenautomatisierung
Vollständige Integration Ihrer Fertigungsanlagen in die Werkssysteme gemäß den globalen SEMI-Standards. Wir sind spezialisiert auf die Implementierung von Hochleistungssystemen. SECS/GEM, GEM300 und PV2 Schnittstellen zu verschiedenen Werkzeugtypen (Trennsägen, Sputteranlagen, Messtechnik und Tester) ermöglichen die automatisierte Datenverarbeitung.
2. Werkweite MES- und Host-Integration
Durchgängige Abstimmung Ihrer Fertigungshallenhardware mit der Manufacturing Execution System (MES)Unsere Lösungen gewährleisten eine nahtlose Nachverfolgung von Wafer-Chargen über ihren gesamten Lebenszyklus hinweg und sichern so die vollständige Rückverfolgbarkeit der Daten, eine dynamische Produktionsplanung und strenge Qualitätssicherungsprotokolle.
3. Nachrüstung älterer Tools und Gateways
Lassen Sie Ihre Smart-Factory-Initiativen nicht durch veraltete Infrastruktur ausbremsen. Wir implementieren maßgeschneiderte Hardware-Software-Kommunikationsgateways, um ältere serielle Schnittstellen zu konvertieren. RS-232 (SECS-I) Werkzeuge in moderne Ethernet-basierte TCP/IP (HSMS) Kommunikationskanäle ohne Änderung der Kernsoftware.
Neben der erfolgreichen Implementierung konventioneller Automatisierung bei weit über 300 Geräteherstellern und -modellen haben wir mehrere hundert innovative Anwendungen entwickelt, um Fabriken zu unterstützen bei –
Wie lassen sich Systeme und Berichte entwickeln, die Daten aus verschiedenen Anlagen und anderen Fabrikdatenquellen wie MES, ERP usw. kombinieren, um die Effizienz (Ausbeute, Zykluszeit, Gesamtanlageneffektivität usw.) in Fabriken zu steigern und die Kosten durch innovative Automatisierung zu senken?
Wie man Daten von Geräten sammelt und sogar Rezepte darauf herunterlädt, die nicht SECS/GEM-fähig sind
Fachgebiete der Fabrikautomatisierung
Ertragsverbesserung
APC – Erweiterte Prozesssteuerung
Produktivitätssteigerungen
Zykluszeit- und OEE-Verbesserungen
FDC – Fehlererkennung und -klassifizierung
Systeme zur Vereinfachung der Fehlersuche bei komplexen Problemen
Kostenmanagement
Maßgeschneiderte Lösungen
eInnoSys bietet außerdem sofort einsatzbereite Systeme für folgende Fabriken an:
EIGEMBOX – Patentierte Plug-and-Play SECS/GEM-Box
- Patentiertes, Plug-and-Play SECS/GEM für ältere Geräte.
- Keine Hardware-/Softwareinstallation erforderlich, nichts vom Originalhersteller wird benötigt.
- Weltweit erfolgreich im Einsatz mit über 80 Geräten.
XPUMP – KI/ML-basierte Pumpenüberwachung und vorausschauende Wartung
- KI/ML-basiertes System zur Überwachung des Zustands von Pumpen und Motoren sowie zur vorausschauenden Wartung.
- Benachrichtigt die Techniker Wochen vor einem Pumpen-/Motorausfall per E-Mail oder SMS.
- Ausgestattet mit den erforderlichen Sensoren zur Messung von Vibrationen, Geräuschpegel, Temperatur, Stromstärke usw.
SEERSIGHT – KI/ML-basierter intelligenter FDC
- Intelligentes FDC mit KI/ML-basierter prädiktiver Analytik
- Erstellen Sie in wenigen Minuten Dashboards mit Diagrammen, die Daten von beliebigen Geräten oder Sensoren enthalten – ganz ohne Programmierung.
- Analysieren Sie Daten, erkennen und beheben Sie außer Kontrolle geratene Prozesszustände allein durch Konfiguration.
EIGaugeMonitor – Analoges Messgeräteüberwachungssystem
- Überwacht analoge Druckwerte oder andere Messgeräte in Echtzeit über die Kamera, ohne dass Upgrades erforderlich sind.
- Eine Kamera kann mehrere Messgeräte zuverlässig auslesen.
EIRMS – Rezeptverwaltungssystem
- Vollständige Rezeptverwaltung auf Geräten, einschließlich Versionsverwaltung, Unterstützung für Golden Recipes und Vergleich von Rezeptversionen
- Workflow-Integration für die Genehmigung
- Rückverfolgbarkeit der vollständigen Rezeptänderungen
- Regelmäßige Sicherung aller Produktionsrezepte
EIStationController – Standard-Host
- Eine standardmäßige Werks-Host- oder Stationssteuerungsanwendung, die es Benutzern ermöglicht, die Charge per Barcode zu scannen und Rezepte an den Geräten auszuwählen, wodurch menschliche Fehler vermieden werden.
- Konfigurieren Sie Datenerfassung, Alarme sowie Ereigniserfassung und -analyse, ohne Code schreiben zu müssen.
EIGEMSIM – SECS/GEM Tester/Simulator
- Anlagen- und Fabrikhost-Simulator-Anwendung für SECS/GEM-Tests und -Charakterisierung
- Intuitive und benutzerfreundliche GUI
- Funktioniert unter Windows, Linux und Raspberry Pi
Vorteile der Fabrikautomatisierung
Erhöhte Produktivität
Durch die Automatisierung sich wiederholender Aufgaben und die Optimierung von Arbeitsabläufen ermöglicht Fab Automation Halbleiterherstellern eine signifikante Steigerung von Produktivität und Durchsatz.
Verbesserte Präzision und Genauigkeit
Automatisierte Systeme gewährleisten eine konsistente und präzise Ausführung der Fertigungsprozesse, was zu qualitativ hochwertigeren Produkten und geringeren Fehlerraten führt.
Verbesserte Transparenz und Nachvollziehbarkeit von Compliance-Prozessen
Durch die Minimierung manueller Eingriffe und die Reduzierung des Fehlerrisikos hilft die Fabrikautomation. Hersteller sparen Lohnkosten und Abfall zu minimieren, was letztendlich zu einer höheren Rentabilität führt.
Verbesserte Time-to-Market
Durch die Fab Automation ermöglichte optimierte Produktionsprozesse und kürzere Zykluszeiten versetzen Halbleiterunternehmen in die Lage, ihre Produkte schneller auf den Markt zu bringen und sich so einen Wettbewerbsvorteil in der Branche zu verschaffen.
Effiziente Betriebsabläufe
Die Automatisierung ermöglicht den 24/7-Betrieb von Fabriken mit minimalem menschlichen Eingriff und maximiert so die Anlagenauslastung und die allgemeine betriebliche Effizienz.
Warum Halbleiterfabriken unsere Automatisierungsstandards vorschreiben
Lösungen für die Fabrikautomation
Roboter-Prozessautomatisierung
Die RPA-Technologie wird in Halbleiterfabriken zur Automatisierung sich wiederholender Aufgaben wie Waferhandling, Materialtransport und Gerätewartung eingesetzt.
Fortschrittliche Gerätesteuerungssysteme
Automatisierte Anlagensteuerungssysteme optimieren die Anlagenauslastung, überwachen die Leistung und ermöglichen vorausschauende Wartung um Ausfallzeiten zu minimieren.
KI-gestützte Fertigungsoptimierung
KI-Algorithmen analysieren riesige Datenmengen, die während des Herstellungsprozesses entstehen, um Muster zu erkennen, Parameter zu optimieren und die Gesamteffizienz zu verbessern.
Automatisierung der Lieferkette
Automatisierte Lieferkettenmanagementsysteme optimieren Beschaffung, Bestandsverwaltung und Logistik und gewährleisten einen reibungslosen Material- und Komponentenfluss zu den Produktionsstätten.
Was ist eine Fabrik in der Fertigung?
In der Fertigung bezeichnet „Fab“ eine Produktionsstätte, typischerweise in der Halbleiterindustrie. Es handelt sich um eine spezialisierte Anlage, in der verschiedene elektronische Bauteile wie integrierte Schaltkreise (ICs) hergestellt werden. Der Begriff kann aber auch allgemeiner für jede Fertigungsanlage verwendet werden, die Produkte mithilfe verschiedener Verfahren wie Bearbeitung, Montage oder sogar Textilproduktion herstellt.
In einer Halbleiterfabrik werden Prozesse wie Fotolithografie, Ätzen und Dotieren eingesetzt, um die komplexen Strukturen auf Siliziumwafern zu erzeugen. Halbleiterfabriken sind hochkontrollierte Umgebungen, die häufig Reinraumstandards erfordern, um Verunreinigungen zu minimieren und die Produktqualität zu gewährleisten.
Was ist ein „Fab“?
Eine Halbleiterfabrik ist eine Hightech-Fertigungsanlage, in der Rohmaterialien (wie Siliziumwafer) in verschiedenen komplexen Schritten zu fertigen Produkten verarbeitet werden, häufig Mikrochips, Halbleiter oder andere elektronische Bauteile. Diese Anlagen verfügen über spezialisierte Ausrüstung und Verfahren wie Fotolithografie, Ätzen, Dotieren, Abscheiden und Testen – zur Herstellung der komplexen und präzisen Bauteile, die für moderne Elektronik wie Computer, Smartphones und medizinische Geräte unerlässlich sind. Halbleiterfertigung (Halbleiterfabrik): In der Halbleiterfertigung bezeichnet der Begriff „Fabrik“ speziell die Anlage, in der integrierte Schaltkreise (ICs), Mikroprozessoren, Speicherchips und andere Halbleiterbauelemente hergestellt werden. Diese Fabriken sind hochspezialisiert und benötigen Reinraumumgebungen, um Verunreinigungen während der Produktion zu vermeiden, da die hergestellten Bauteile extrem klein und empfindlich gegenüber Staub und anderen Verunreinigungen sind.
Fertigung in anderen Branchen: Obwohl der Begriff „Fabrik“ am häufigsten in der Halbleiter- und Mikroelektronikindustrie verwendet wird, kann er sich auch auf Fertigungsanlagen in anderen Sektoren wie der Luft- und Raumfahrt, der Automobilindustrie oder der Materialherstellung beziehen. In diesen Fällen handelt es sich bei der „Fabrik“ jedoch weiterhin um eine Anlage, in der Rohmaterialien mithilfe verschiedener Fertigungsverfahren wie Schweißen, Gießen, Zerspanen oder Montage zu fertigen Bauteilen verarbeitet werden.
Hauptmerkmale einer Fab (Fertigungsanlage)
Reinräume
Kontrollierte Umgebungen frei von Staub und Verunreinigungen sind in Halbleiterfabriken unerlässlich, um die Qualität der hergestellten winzigen und empfindlichen Produkte zu gewährleisten.
Präzisionsgeräte
Zur Bearbeitung von Materialien im mikroskopischen Bereich werden Spezialgeräte wie Fotolithografiemaschinen, Ätzanlagen, Beschichtungskammern und Prüfgeräte eingesetzt.
Komplexe Prozesse
Die Fertigung umfasst zahlreiche Schritte, von der Waferbearbeitung über das Schichtaufbauen, Ätzen und Testen bis hin zur Verpackung, die alle präzise durchgeführt werden müssen.
Automatisierte Systeme
Viele Fabriken sind hochgradig automatisiert und nutzen Roboter und KI-gesteuerte Systeme für Produktion, Inspektion und Prüfung, um Geschwindigkeit, Genauigkeit und Ausbeute zu steigern.
Warum sind Fabs wichtig?
Halbleiterfabriken sind unverzichtbar, da sie die grundlegenden Bausteine für alle modernen Elektronikgeräte herstellen. Die in Halbleiterfabriken gefertigten Chips und Mikroelektronikbauteile werden in allem eingesetzt, von Mobiltelefonen, Computern und Servern bis hin zu Autos, Medizingeräten und Haushaltsgeräten.
Die in einer Fabrik eingesetzte Technologie und die Werkzeuge sind auf dem neuesten Stand der Präzisionstechnik, und der Bau oder die Instandhaltung einer Fabrik erfordert erhebliche Investitionen sowohl in die Infrastruktur als auch in das Fachwissen.
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass eine „Fabrik“ im Fertigungsbereich – insbesondere im Kontext von Elektronik und Halbleitern – eine hochspezialisierte Fabrik ist, in der Rohmaterialien mithilfe fortschrittlicher Technologien und präziser Fertigungstechniken zu fertigen elektronischen Bauteilen verarbeitet werden.
Sind Sie bereit, Ihre Halbleiterfertigungsautomatisierung zu optimieren?
Lassen Sie sich von unseren Automatisierungsarchitekten beraten, um Ihre SECS/GEM-Konnektivität zu optimieren, Ihre Legacy-Tools zu modernisieren und Ihre MES-Hostprotokolle nahtlos zu integrieren.
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Setzen Sie sich mit unseren Experten in Verbindung, um Ihre OEM- und FAB/ATP-Anforderungen zu besprechen und die passende Lösung für Ihre Betriebsabläufe zu finden.
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KontaktHäufig gestellte Fragen.
1. Was versteht man unter Fabrikautomation in der Halbleiterfertigung?
Die Fabrikautomatisierung bezeichnet die Integration von Software, Hardware und Kommunikationssystemen zur Automatisierung von Halbleiterfertigungsprozessen. Sie verbessert die Effizienz, reduziert menschliche Fehler und gewährleistet eine gleichbleibende Produktionsqualität in allen Fabriken.
2. Wie unterstützt eInnoSys die Fabrikautomatisierung?
eInnoSys bietet umfassende Automatisierungslösungen für Halbleiterfabriken, darunter SECS/GEM-Integration, Gerätekonnektivität, Datenerfassung und Smart-Factory-Lösungen, die speziell auf die Bedürfnisse von Halbleiterfabriken, Montage- und Testeinrichtungen zugeschnitten sind.
3. Lässt sich die Fabrikautomatisierung auf bestehenden Halbleiteranlagen implementieren?
Ja, die Fabrikautomation kann auch auf älteren Anlagen mithilfe von Nachrüstlösungen wie der SECS/GEM-Integration umgesetzt werden. Dadurch können ältere Maschinen mit modernen Fabriksystemen kommunizieren, ohne dass die bestehende Infrastruktur ersetzt werden muss.
4. Welche Vorteile bietet die Fabrikautomatisierung?
Die Automatisierung in der Fabrik trägt dazu bei, die Produktivität zu steigern, Ausfallzeiten zu reduzieren, die Anlagenauslastung (OEE) zu verbessern, manuelle Fehler zu minimieren und Echtzeitüberwachung sowie datengestützte Entscheidungsfindung zu ermöglichen.
5. Welche Branchen profitieren von Lösungen zur Fabrikautomatisierung?
Die Fabrikautomatisierung findet breite Anwendung in der Halbleiterfertigung, einschließlich Waferfabriken, Verpackungs-, Montage- und Testeinrichtungen, sowie in verwandten Branchen wie der Elektronikfertigung und der Verarbeitung fortschrittlicher Materialien.