Wie die Analyse historischer Alarme einer Halbleiterfabrik half, wiederkehrende CMP-Prozessalarme zu eliminieren

Ein führender Halbleiterhersteller hatte Schwierigkeiten, wiederkehrende CMP-Prozessalarme zu validieren, da sein veraltetes Alarmsystem keine historische Datenanalyse ermöglichte. Mithilfe des eInnoSys Alarmmanagementsystems (AMS) analysierten die Ingenieure historische Alarmtrends, identifizierten wiederkehrende Prozessabweichungen an einer einzelnen Maschine, sicherten die Genehmigung für eine Rezepturänderung und beseitigten durch datengestützte Entscheidungsfindung erfolgreich die wiederkehrende Alarmspitze am Nachmittag.

Schlüsselergebnisse

• 80 % schnellere Ursachenanalyse
• 50 % Reduzierung wiederkehrender Prozessalarme
• 100%ige Transparenz des Alarmverlaufs
• 90 % mehr datengestützte technische Entscheidungen
• Schnellere Genehmigung von Prozessrezeptänderungen