Wie wir einem globalen Hersteller geholfen haben, die Fehler bei der Rezepturauswahl um 99.9 % zu reduzieren

Fertigungsfehler aufgrund falscher Rezeptauswahl können zu erheblichem Wafer-Ausschuss, Produktionsverzögerungen und erhöhten Betriebskosten führen. Ein führender globaler Halbleiterhersteller stand vor genau diesen Herausforderungen, da er bei veralteten Produktionsanlagen auf manuelle Chargenzuordnung und bedienergesteuerte Rezeptauswahl setzte.

Um das Problem zu lösen, implementierte Einnosys Technologies den EIStation Controller, eine fortschrittliche SECS/GEM-Automatisierungslösung, die sich nahtlos in die bestehenden Fabriksysteme des Kunden integrieren ließ. Durch die Automatisierung der manuellen Chargenzuordnung, die Validierung der Rezepturauswahl in Echtzeit und die Ermöglichung intelligenter Gerätekommunikation eliminierte die Lösung die Abhängigkeit von Bedienern und standardisierte Produktionsabläufe.

Die Ergebnisse waren umwälzend:

• 99.9 % Reduzierung der Fehler bei der Rezeptauswahl
• 75 % schnellere Werkzeugeinrichtung und Chargenwechsel
• Nahezu kein Wafer-Ausschuss aufgrund fehlerhafter Prozessrezepte
• Verbesserte Anlagenauslastung und höhere Produktivität der Bediener
• Verbesserte Rückverfolgbarkeit, Prozesskonsistenz und MES-Integration
• Schnellere Amortisation ohne Austausch der vorhandenen Ausrüstung

Diese Fallstudie zeigt, wie moderne SECS/GEM-Automatisierung die Möglichkeiten von Industrie 4.0 für ältere Halbleiteranlagen erschließen kann und Herstellern hilft, die Qualität zu verbessern, den Durchsatz zu erhöhen und die Herstellungskosten zu senken, während gleichzeitig der Wert der vorhandenen Produktionsanlagen maximiert wird.