Zentralisierte Rezepturverwaltung für die Halbleiterfertigung
Verhindert die fehlerhafte Ausführung von Rezepten – sichert den Ertrag und vermeidet kostspielige Fehler.
Zentrale Rezeptursteuerung für alle Werkzeuge – für einheitliche Ergebnisse im gesamten Betrieb.
Vollständige Rückverfolgbarkeit und Prüfprotokolle – vereinfachen Compliance- und Qualitätsprüfungen.
Verringert die Abhängigkeit vom Bediener – eliminiert Risiken der manuellen Auswahl.
Reduziert Ausschuss und Nacharbeit – verbessert die Gesamtproduktionseffizienz.
Standardisiert Prozesse – gewährleistet eine einheitliche Durchführung über alle Schichten und Standorte hinweg.
Rezeptverwaltungssystem für Halbleiterfabriken und ATM/OSAT
EIRMS ist eine umfassende Software zur Verwaltung von Fertigungsrezepten, die Fabriken und Geldautomatenanlagen dabei hilft, Ausbeute, Konstruktionseffizienz, Gesamtanlageneffektivität (OEE) und Zykluszeit zu verbessern.
Es ermöglicht die vollständige Kontrolle über Geräterezepte, einschließlich Versionsverwaltung. Unterstützung für das goldene Rezeptund die Rückverfolgbarkeit jeder Änderung. EIRMS integriert sich nahtlos in SECS/GEM-fähige Anlagen und kann für Anlagen ohne SECS/GEM-Unterstützung angepasst werden, um eine konsistente Rezepturausführung und die Einhaltung der Vorschriften über alle Produktionslinien hinweg zu gewährleisten.
Workflow des Rezeptverwaltungssystems (EIRMS)
Systemintegration
EIRMS lässt sich nahtlos integrieren mit:
- SECS/GEM-fähige Geräte
- Fabrik-Hostsysteme
- MES-Umgebungen
- Zentralisierte Produktionssteuerungsplattformen
Für Nicht-SECS/GEM-Tools sind kundenspezifische Lösungen erhältlich, um maximale Flexibilität zu gewährleisten.
Unterstützte Toolsets
EIRMS unterstützt verschiedene Halbleiter-Werkzeugsätze, darunter:
- Canon i5+, i5 und i4 Stepper
- Matrix System One Trockenätzen
- SPEC Nassbank
- IVS-Overlay-Metrologie
- Ultratech-Wafermessung
Einsatz
EIRMS unterstützt:
- SECS/GEM-Kommunikation
- Zentraler Rezeptserver
- Versionskontrollverwaltung
- Betrieb auf Unternehmensebene
Geeignet für kleine und große Anlagen.
| Funktion | Handbuch | EIRMS |
|---|---|---|
| Versionskontrolle | ❌ | ✅ |
| Genehmigungsworkflow | ❌ | ✅ |
| Buchungskontrolle | ❌ | ✅ |
| SECS/GEM-Integration | ❌ | ✅ |
| Zentrales Repository | ❌ | ✅ |
| Unterstützung für Multifunktionswerkzeuge | ❌ | ✅ |
Warum Einnosys wählen?
EIRMS wurde von Einnosys entwickelt, einem Spezialisten für Halbleiterautomatisierung und Software mit Expertise in folgenden Bereichen:
- SECS/GEM-Integration
- Fabrikautomation
- Intelligente Fertigungslösungen
- Fortschrittliche Fertigungssysteme
Einnosys bietet zuverlässige und skalierbare Softwarelösungen für das Halbleiter-Rezepturmanagement, die speziell auf Fabrik- und Geldautomatenumgebungen zugeschnitten sind.
Anwendungsfälle und Anwendungen
Halbleiterfertigung
Verbinden Sie Fertigungsanlagen mit MES-Systemen, ermöglichen Sie die Einhaltung der 200-mm-/300-mm-Norm und unterstützen Sie Initiativen zur fortschrittlichen Prozesssteuerung.
Smart Factory-Integration
Verknüpfen Sie veraltete Anlagen mit modernen Industrie 4.0-Plattformen, IoT-Systemen und cloudbasierten Analysen.
Manufacturing Execution Systems (MES)
Ermöglichen Sie einen nahtlosen Datenfluss zwischen Produktionsanlagen und unternehmensweiten MES-Plattformen.
Industrial Automation
Integration von SPSen, SCADA-Systemen und industriellen Steuerungen mit SECS/GEM-Hostsystemen.
Multi-Vendor-Umgebungen
Schaffung einer einheitlichen Kommunikation zwischen Geräten verschiedener Hersteller unter Verwendung unterschiedlicher Protokolle.
Cloud- und Edge-Computing
Industrieanlagen werden mit Cloud-Plattformen und Edge-Computing-Infrastruktur für fortschrittliche Analysen verbunden.
Case Studies
90 % schnellere Rezeptverteilung
Die Verwaltung von Prozessrezepten über mehrere Halbleiterfertigungsanlagen hinweg wurde aufgrund manueller Übertragungen und fehlender Versionsnummern zunehmend komplexer…
Vermeidung menschlicher Fehler: Standardisierung der Rezeptverwaltung durch automatisierte Versionskontrolle
Verlieren Ihre Backend-Prozesse Ertrag durch manuelle Dateneingabefehler und Versionskonflikte bei Rezepten? Entdecken Sie, wie unser Service Ihnen helfen kann…
Bereit für höhere Erträge, mehr Effizienz in der Anlagentechnik und eine gesteigerte Gesamtanlageneffektivität (OEE)?
Implementieren Sie EIRMS – das zentrale und konforme Rezepturmanagementsystem für Halbleiterfabriken und Geldautomaten.
Whitepaper
KI/ML-gestützte prädiktive Analysen und intelligente Fehlererkennung für die Fertigung der nächsten Generation
Erschließen Sie sich die Zukunft der intelligenten Fabrikautomation mit xPump, dem KI/ML-basierten Framework von Einnosys für vorausschauende Wartung und intelligente Fehlererkennung…
Ein technischer Überblick über die automatisierte Messwerterfassung und Datenintegration
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EIStationController fungiert als robuste Entwicklungsplattform für Stationssteuerungen und ermöglicht eine nahtlose Kommunikation…
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X-Pumpe
xPump – KI-basiertes System für vorausschauende Wartung KI-gestützte Echtzeitüberwachung für Pumpen, Motoren,…
Häufig gestellte Fragen.
Was ist ein Rezeptverwaltungssystem?
Ein Rezeptmanagementsystem ist ein Werkzeug zur Verwaltung, Überwachung und Sicherstellung der Genauigkeit von Rezepten in der Halbleiterfertigung. Es unterstützt Halbleiterfabriken und Anlagen zur Herstellung von Geldautomaten (Montage, Test und Verpackung) bei der Verbesserung von Ausbeute, Gesamtanlageneffektivität (OEE) und Engineering-Effizienz.
Wie kann ein Rezeptverwaltungssystem Ertrag und Effizienz verbessern?
Indem sichergestellt wird, dass die Produktionschargen stets mit der korrekten Rezepturversion abgewickelt werden, reduziert das System Fehler, optimiert die Maschinenleistung und minimiert Ausfallzeiten.
Ist das Rezeptverwaltungssystem mit allen Geräten kompatibel?
Ja, es funktioniert mit allen Geräten, die über SECS/GEM-Funktionalität verfügen. Kundenspezifische Lösungen können auch für Geräte ohne SECS/GEM-Funktionalität entwickelt werden.
Was ist SECS/GEM und warum ist es wichtig für Rezeptverwaltungssysteme?
SECS (SEMI Equipment Communication Standard) und GEM (Generic Equipment Model) sind Protokolle, die eine nahtlose Kommunikation zwischen Produktionsanlagen und Hostsystemen ermöglichen. Diese Protokolle sind unerlässlich für die Automatisierung und ein effizientes Rezepturmanagement.
Wie gewährleistet das Rezeptverwaltungssystem die Genauigkeit der Rezepte?
Es gleicht die Rezeptversion mit den Anforderungen der Produktionscharge ab und stellt sicher, dass stets das richtige Rezept verwendet wird, wodurch das Risiko menschlicher Fehler reduziert wird.
Kann das System mehrere Gerätetypen in einer Fabrik verwalten?
Ja, das System ist so konzipiert, dass es alle Gerätetypen unterstützt und einen zentralisierten und effizienten Rezeptverwaltungsprozess gewährleistet.
Wie spart das System Entwicklungszeit?
Durch die Automatisierung von Rezeptaktualisierungen, Validierungen und Versionskontrolle spart das System jährlich wochenlange Entwicklungsarbeit, die sonst für manuelle Anpassungen und Überwachung aufgewendet werden müsste.
Welche Daten erfasst das Rezeptverwaltungssystem?
RMS erfasst Daten wie alle Rezepte mit einer bestimmten Version und einem Änderungsdatum sowie den Benutzer, der die Version hochgeladen oder heruntergeladen hat.
Lässt sich das System in bestehende MES-, FactoryHost- oder StationController-Systeme integrieren?
Ja, das Rezeptverwaltungssystem kann mit MES, factoryHost oder StationController integriert werden, um einen reibungslosen Betrieb und Datenfluss im gesamten Fertigungsprozess zu gewährleisten.
Ist das System für große Produktionsstätten oder Standorte mit mehreren Niederlassungen skalierbar?
Absolut. Das System ist für den Betrieb von Großanlagen und mehreren Standorten ausgelegt und gewährleistet eine einheitliche Rezeptverwaltung an allen Standorten.
Welche Vorteile bietet die Implementierung eines Rezeptverwaltungssystems?
Zu den wichtigsten Vorteilen gehören eine höhere Ausbeute, kürzere Zykluszeiten, eine verbesserte Gesamtanlageneffektivität (OEE), eine konsistente Rezepturausführung, weniger menschliche Fehler und eine erhebliche Zeitersparnis für die Entwicklungsteams.
Wie handhabt das System die Versionskontrolle von Rezepten?
Das System verwaltet eine Versionshistorie aller Rezepte und stellt sicher, dass während der Produktion nur die genehmigte Version eingesetzt wird, wobei Aktualisierungen verfolgt und protokolliert werden.
Wie wird das Rezeptverwaltungssystem eingesetzt?
Die Implementierung umfasst die Integration des Systems in die Anlagen und Hostsysteme der Fabrik, die Konfiguration von Rezepturen sowie die Schulung von Bedienern und Ingenieuren in dessen Anwendung.
Kann das System eine Echtzeitüberwachung ermöglichen?
Ja, es bietet eine Echtzeitüberwachung der Rezeptausführung und des Gerätestatus, um einen reibungslosen Ablauf zu gewährleisten.
Welche Branchen können von einem Rezeptverwaltungssystem profitieren?
Es wird hauptsächlich in der Halbleiterfertigung eingesetzt, kann aber auch in anderen Branchen, die eine präzise Rezeptur- oder Prozesskontrolle erfordern, wie der Pharmaindustrie und der Elektronikmontage, von Nutzen sein.