Die Verwaltung von Prozessrezepten über verschiedene Halbleiterfertigungsanlagen hinweg wurde aufgrund manueller Übertragungen, fehlender Versionshistorie und unzureichender Genehmigungsmechanismen zunehmend komplexer. Durch die Implementierung von EIRMS zentralisierte Einnosys die Rezeptverwaltung, automatisierte Genehmigungen und gewährleistete die vollständige Rückverfolgbarkeit der Rezepte durch die SECS/GEM-Integration. Die Lösung verbesserte die betriebliche Effizienz signifikant, reduzierte das Risiko fehlerhafter Rezept-Downloads und ermöglichte schnellere Ursachenanalysen und Compliance-Audits.
Überwindung der Risiken dezentraler Rezepturen und der USB-Abhängigkeit
Ein führender Anbieter fortschrittlicher Verpackungstechnologien für die Halbleiterindustrie in Arizona, USA, hatte mit einem fragmentierten und weitgehend manuellen Workflow für Prozessrezepte zu kämpfen. Die Prozessrezepte wurden lokal auf den einzelnen Fertigungsanlagen gespeichert, was die Bediener zwang, Dateien manuell über risikobehaftete USB-Sticks und externe Speichermedien zu übertragen. Diese manuelle Vorgehensweise bot keine Versionskontrolle, sodass ältere Konfigurationen bei jeder Änderung dauerhaft überschrieben wurden. Ohne zentrale Nachverfolgung oder ein Genehmigungssystem konnten die Bediener Rezepte ohne technische Prüfung direkt in die Anlagen laden, was erhebliche Risiken für die falsche Verwendung von Rezepten, Produktverluste und eingeschränkte Rückverfolgbarkeit bei Compliance-Audits mit sich brachte.
Einführung von EIRMS mit integrierter SECS/GEM-Automatisierung
Um diese Governance- und Effizienzprobleme zu lösen, implementierte eInnoSys die Enterprise-Lösung. Rezeptverwaltungssystem (EIRMS)EIRMS ist eine zentrale, webbasierte Plattform, die speziell für die Halbleiterfertigung entwickelt wurde. Durch die Integration der Standardprotokolle SECS/GEM ersetzt EIRMS physische Datenträger durch ein sicheres, zentrales Rezeptarchiv. Die Plattform bietet eine vollständige Versionskontrolle zur Speicherung von Revisionshistorien, eine automatisierte Rezeptvergleichsfunktion zur sofortigen Erkennung von Parameteränderungen sowie konfigurierbare Genehmigungsworkflows. Kritische Rezept-Downloads werden sicher weitergeleitet und autorisiert, bevor sie über branchenübliche Kommunikationsschichten direkt an die Produktionsanlagen übertragen werden.
90 % schnellere Distribution und verbesserte Fertigungssteuerung
Die Implementierung von EIRMS transformierte das Fertigungsökosystem des Kunden und brachte unmittelbare operative und Compliance-Vorteile:
- 90 % schnellere Rezeptverteilung: Durch den zentralisierten digitalen Zugriff entfielen manuelle USB-basierte Datenübertragungen vollständig, wodurch sich die Bereitstellungszeit von Stunden auf wenige Sekunden verkürzte.
- Optimierte Ursachenanalyse: Ingenieure können nun automatisierte Versionsvergleiche durchführen, wodurch sich die Fehlersuche bei Prozessabweichungen deutlich beschleunigt.
- Keine unautorisierten Downloads: Konfigurierbare Genehmigungsworkflows gewährleisten, dass nur validierte Rezepturen die kritischen Produktionslinien erreichen, wodurch menschliche Fehler drastisch reduziert werden.
- Auditbereite Compliance: Umfassende End-to-End-Audit-Protokolle erfassen automatisch jeden Upload, Download, jede Genehmigung und jeden Benutzerzeitstempel für interne und externe Überprüfungen.
- Entspricht Industriestandards: Das System unterstützt nahtlos globale Standards für die Fabrikautomation, darunter SEMI E5 (SECS-II), SEMI E30 (GEM) und SEMI E37 (HSMS).
