Umgestaltung bestehender Fertigungsanlagen für Honeywell

Honeywell modernisierte seine veralteten Halbleiteranlagen ohne teure OEM-Upgrades oder Produktionsausfallzeiten mithilfe der intelligenten Fabriklösungen von Einnosys.

Mit EIGEMBox ermöglichte Einnosys eine nicht-invasive SECS/GEM-Konnektivität für SPTS Dry Etch- und Novellus-Systeme über vorhandene Monitor-, Tastatur- und Mausanschlüsse – wodurch die Notwendigkeit aufwändiger Hardwaremodifikationen entfiel.

Einnosys implementierte außerdem:

• EIStationController - für die automatisierte Rezeptverwaltung und die Echtzeit-Datenerfassung in FDC
• SeherSight - KI-gestützte FDC für prädiktive Analysen und intelligente Geräteüberwachung
• XPump - KI-Überwachung für die vorausschauende Wartung von Vakuumpumpen
• EIGaugeMonitor - zur Umwandlung analoger Messwerte in digitale Prozessdaten

Schlüsselergebnisse

• Reduzierter Ausschuss und Fehler bei manuellen Prozessen
• Vorausschauende Wartung mit Echtzeitüberwachung ermöglicht
• Implementierung ohne Ausfallzeiten erreicht
• Hohe OEM-Upgrade-Kosten vermieden
• Verbesserte Transparenz im gesamten Werk durch einheitliche SCADA/FDC-Dashboards