Die SECS-Norm (S Communication Standards for EMI Devices) und die GEM-Norm (Generic Model for Communication and Control of Manufacturing Equipment) werden von SEMI.org veröffentlicht und gepflegt . SEMI ist eine internationale Organisation von Halbleiterherstellern, die Standards für die Halbleiterfertigung festlegt.

Es handelt sich um das primäre Kommunikationsprotokoll für die Automatisierung der (ursprünglich) Halbleiter-/Elektronikindustrie. Heute findet es jedoch auch breite Anwendung in der Photovoltaik- und SMT-Industrie.

Es stellt eine Kommunikationsschnittstelle zwischen Geräten und Hostsystemen bereit.

Im Gegensatz zu anderen Kommunikationsprotokollen wie SPSen können Geräte verschiedener Hersteller mit unterschiedlichen Arten von Hostsystemen über ein standardisiertes und konsistentes Protokoll kommunizieren.

Um die SECS/GEM-Standards zu verstehen , müssen Sie die folgenden drei grundlegenden Standards von SEMI erwerben:

SEMI E30 GEM-Standard – Dies ist das „Gehirn“, das das Verhalten von Geräten (Geschäftsregeln), Zustandsautomaten und bestimmte Regeln definiert, z. B. welche SECS-II-Nachrichten in welchen Situationen verwendet werden und welche Aktionen sich daraus ergeben. Es definiert außerdem Funktionen wie Statusdatenerfassung, Trace-Datenerfassung, Alarmmanagement, Spooling, Fernsteuerung usw.

SEMI E5 SECS-II – Definiert die Details der Interpretation von Nachrichten (APIs), die zwischen Geräten eines Hosts ausgetauscht werden. Es definiert außerdem die Datenstruktur von Nachrichteneingaben/-ausgaben, das Datenelementformat, Bestätigungscodes usw.

SEMI E37 HSMS – High-Speed ​​SECS Messaging Services. Dies ist eine Transportschicht basierend auf dem TCP/IP-Protokoll und der Nachfolger des vorherigen SEMI E4 SECS-I-Standards, der auf serieller Kommunikation basierte. Auf dieser Schicht werden SECS-II-Nachrichten im HSMS-Nachrichtenformat kodiert.

Zu den Fähigkeiten, die der SECS/GEM-Standard bietet, gehören:

  • Damit ein Fab-Host die Verarbeitung starten und stoppen kann
  • Für einen fabelhaften Gastgeber, um Rezepte von/auf die Ausrüstung auszuwählen, herunterzuladen und hochzuladen
  • Für einen Fab-Host, um die Ausrüstung nach Werten verschiedener Prozessparameter und Ausrüstungskonfigurationen abzufragen
  • Für einen Fab-Host, um Gerätekonfigurationsparameterwerte einzustellen
  • Damit Geräte Alarme an den Fab-Host senden können
  • Für einen Fab-Host, um Berichte verschiedener Variablen zu definieren und sie Ereignisse wie Losstart oder Waffel komplett zuzuordnen
  • Damit verschiedene Geräte verschiedene Ereignisse und zugehörige Berichte an den Fab-Host senden könnenSECS/GEM SDK & Implementierungsdienste
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