Der schnellste Weg zur Digitalisierung von Altanlagen für MES, Rückverfolgbarkeit und Industrie 4.0
Vollständig SEMI E30, E37, E5, E4, E23, E39, E40, E84, E87, E90, E94 & E116 kompatibel.
Spart Millionen an Kosten für die Modernisierung der Ausrüstung.
Geringe Ausfallzeit – Nur wenige Stunden Geräteausfallzeit über einige Wochen hinweg erforderlich.
Enorme Zeitersparnis bei der Entwicklung – Rezepturen müssen nicht neu qualifiziert werden, da keine Änderungen an der Ausrüstung vorgenommen werden.
Ermöglicht Ferndiagnose und spart jährlich Hunderte von Ingenieurstunden.
Spart Tausende an zusätzlichen Softwarelizenzkosten – automatisches Speichern von Wafer-Maps oder anderen Diagrammen vom Gerätebildschirm.
Jetzt erweitert um OEE – E10-basierte Echtzeit-Transparenz der Anlagenleistung
Jetzt erweitert um AMS – SECS/GEM-gesteuertes intelligentes Alarmmanagement und Automatisierung
Erfolgreich implementiert auf über 80 FAB- und OSAT-Anlagen
Geräte-Upgrade mit EIGEMBox
Dies ist eine Teilliste der für SECS/GEM aufgerüsteten Geräte. EIGEMBox Eine vollständige Liste finden Sie hier. Jetzt kontaktieren
Teilweise Ausrüstungsliste - FAB
- KLA Surfscan
- Varian 3290
- Takatori
- Ebara
- Plasma Therm
- MRC Eclipse
- KLA Therma-wave
- Sidea PT-903
- CDE Resmap
- Accretech PG300RM
- TEL Alpha 8 SE
- ASM E2000
- SPTS
- Hitachi M-511AE
Teilweise Ausrüstungsliste – Montage & Verpackung
- Disco 651/641
- Blue M Backofen
- Towa Y1
- Asterion
- Budatec
- Orthodyne
- Essentec Fuchs & Paraguda
- Takatori Geldautomat 8200A
- ASM AD898
- Ismeca SL
- Hexa Max
- Centrotherm CP6202
SECS/GEM-, Modbus- und OPC-Integration ohne Geräteänderung
EIGEMBox ist eine Plug-and-Play-Lösung, die ältere Halbleiteranlagen um SECS/GEM-, Modbus- oder OPC-Funktionalität erweitert – ohne dass Software oder Hardware auf dem Gerät selbst installiert werden muss. Durch einfaches Anschließen des Displaykabels (VGA, DVI oder HDMI) und optional der Tastatur-/Mausanschlüsse (USB oder PS/2) ermöglicht EIGEMBox die vollständige Host-Kommunikation und Fernsteuerung. Die Lösung wurde bereits erfolgreich in verschiedenen Szenarien eingesetzt, unter anderem zur Verbesserung der SECS/GEM-Kommunikation mit vollständigem Parameteraustausch und reduzierter Latenz sowie zur Ermöglichung von AMHS (84/87) Integration in 200-Millionen-Fabrikationen und Extraktion nicht standardisierter Daten jenseits traditioneller SECS/GEM-Beschränkungen zur Unterstützung fortschrittlicher Überwachungs- und Automatisierungsfunktionen.
Jetzt verbessert mit OEE (Gesamtanlageneffektivität) & AMS (Alarmmanagementsystem)
Echtzeit-OEE-Einblicke und intelligente Alarmsteuerung für maximale Anlagenleistung.
Hinweis zur Automatisierungskonformität 2026: EIGEMBox ist vollständig optimiert für die Unterstützung moderner Hochdurchsatzfertigungen und ermöglicht die unterbrechungsfreie Integration älterer Anlagen, die eine sofortige Einhaltung der SEMI E84- und E87-Standards ohne interne Softwareänderungen erfordern.
Modernisierung veralteter Tools mit vollständiger SECS/GEM- und GEM300-Konformität
Modernisierung veralteter Anlagen mit SECS/GEM- und GEM300-Konformität: Modernisierung von Halbleiteranlagen und Ermöglichung nahtloser Fabrikautomation und Anlagenvernetzung.
Sehen Sie, wie EIGEMBox die SECS/GEM-Integration vereinfacht und die Einführung intelligenter Fabriken beschleunigt.
Case Studies
Katastrophale Schleiffehler vermeiden: Auf dem Weg zu 0 % Waferverlust
Wafer-Ausschuss eliminieren. Anlagenzuverlässigkeit verbessern. Erfahren Sie, wie ein führender Halbleiterhersteller in Taiwan Waferverluste von 0 % erreicht hat…
Unterstützung bei der Einhaltung der Liefertermine bei einem der größten OSAT-Unternehmen der Welt
Durch die vollständige Einhaltung der SECS/GEM-Richtlinien wurde die termingerechte Lieferung bei einem führenden OSAT ermöglicht, die Produktivität verdoppelt, Rezepturfehler beseitigt und…
Ertragssteigerung bei Honeywell
Durch die Ermöglichung von Echtzeitüberwachung und vorausschauender Wartung konnten wir Ausschuss reduzieren, kostspielige Modernisierungen vermeiden und den Betrieb von reaktiv… transformieren.
Vereinbaren Sie eine technische Beratung
Setzen Sie sich mit unseren Experten in Verbindung, um Ihre OEM- und FAB/ATP-Anforderungen zu besprechen und die passende Lösung für Ihre Betriebsabläufe zu finden.
Whitepaper
KI/ML-gestützte prädiktive Analysen und intelligente Fehlererkennung für die Fertigung der nächsten Generation
Erschließen Sie sich die Zukunft der intelligenten Fabrikautomation mit xPump, dem KI/ML-basierten Framework von Einnosys für vorausschauende Wartung und intelligente Fehlererkennung…
Ein technischer Überblick über die automatisierte Messwerterfassung und Datenintegration
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Häufig gestellte Fragen.
Was ist EIGEMBox?
EIGEMBox ist eine Plug-and-Play-Hardware- und Softwarelösung für die SECS/GEM-Kommunikation, die es Halbleiter- oder FPD-Geräten ermöglicht, sich nahtlos mit den Host-Systemen der Fabrik zu verbinden.
Welche SEMI-Standards unterstützt EIGEMBox?
EIGEMBox unterstützt die SEMI-Standards E30, E37, E5 und E4 vollständig und gewährleistet so die vollständige GEM- und SECS-II-Konformität für eine zuverlässige Kommunikation zwischen Gerät und Host.
Lässt sich EIGEMBox in ältere oder Legacy-Systeme integrieren?
Ja. EIGEMBox wurde entwickelt, um ältere Werkzeuge ohne integrierte SECS/GEM-Kommunikation nachzurüsten und sie so an die Anforderungen moderner Fabrikautomation anzupassen.
Ist EIGEMBox mit GEM300- oder 300-mm-Geräten kompatibel?
Ja. EIGEMBox kann so konfiguriert werden, dass es die GEM300-Kommunikationsstandards unterstützt, einschließlich SEMI E87, E90, E94 und E116, für 300-mm-Wafer-Handling-Systeme.
Welche Vorteile bietet die Verwendung von EIGEMBox für die SECS/GEM-Kommunikation?
EIGEMBox vereinfacht die Integration, beschleunigt die SECS/GEM-Konformität, verkürzt die Entwicklungszeit und gewährleistet eine stabile und zuverlässige Host-Kommunikation mit Tier-1-Halbleiterfabriken weltweit.
Bietet eInnoSys Support- und Installationsdienstleistungen für EIGEMBox an?
Ja. eInnoSys bietet umfassende Unterstützung bei Implementierung, Tests und Zertifizierung, um sicherzustellen, dass Ihre Geräte die SECS/GEM-Konformitätsanforderungen erfüllen.
Kann EIGEMBox mit OHT-, AGV- oder RGV-Systemen verbunden werden?
Ja. In Kombination mit E84 I/O-Modulen ermöglicht EIGEMBox die Kommunikation mit Materialflusssystemen wie OHT, AGV und RGV zur automatisierten Chargenlieferung.
Benötigt EIGEMBox eine Softwareinstallation auf meinem Gerät?
Nein. EIGEMBox ist vollständig Plug-and-Play-fähig und erfordert keinerlei Software- oder Hardwareinstallation auf dem Gerät selbst. Es wird lediglich an den Bildschirmausgang (VGA/DVI/HDMI) und optional an die Anschlüsse für Tastatur und Maus angeschlossen. Die Gerätesteuerung wird nicht verändert und funktioniert weiterhin genau wie vorgesehen – ohne Firmware-Updates, Treiber oder Software-Agenten.
Wird EIGEMBox irgendwelche Nebenwirkungen wie Verlangsamungen oder Abstürze auf meiner Hardware verursachen?
Nein. EIGEMBox greift niemals auf die Gerätesteuerung zu und verbindet sich ausschließlich über externe Display- und Eingangsanschlüsse. Daher treten keine Nebenwirkungen, Abstürze, Leistungseinbußen, Timing-Probleme oder Störungen des normalen Gerätebetriebs auf. Das Tool verhält sich wie gewohnt.
Mit welchen Gerätetypen ist EIGEMBox kompatibel?
EIGEMBox ist mit nahezu allen Halbleiteranlagen mit Displayausgang kompatibel, unabhängig von Hersteller, Alter oder Betriebssystem. Es ist weltweit auf über 80 Anlagen im Einsatz, darunter Messtechnik (KLA, Therma-wave), Beschichtungsanlagen (ASM, MRC), Ätzanlagen (Plasma-Therm, SPTS), Ionenimplantationsanlagen (Varian) und Materialhandhabungssysteme (Takatori). Anlagen mit DOS, Windows 3.1, Linux, Solaris oder proprietären Systemen werden vollständig unterstützt.
Benötige ich die Erlaubnis oder Unterstützung des Originalgeräteherstellers (OEM)?
Nein. EIGEMBox benötigt weder OEM-Lizenzen noch Upgrade-Kits, Supportverträge oder Berechtigungen. Dies ist besonders vorteilhaft für Tools, deren Hersteller fusioniert, übernommen wurden oder nicht mehr existieren. Sie behalten die volle Kontrolle über Integration und Bereitstellung, ohne von OEMs abhängig zu sein.
Wie lange dauert die Installation und Einrichtung?
Die physische Installation dauert je nach Komplexität des Geräts etwa mehrere Stunden und erfordert einfache Video- sowie optionale Tastatur-/Mausverbindungen. Die Erstkonfiguration über die EIGEMBox-Weboberfläche dauert in der Regel einige Stunden bis 1–2 Tage, abhängig von der Komplexität der Geräte und den Datenanforderungen. Die meisten Kunden können innerhalb von Tagen, nicht Monaten, mit der Erfassung von Echtzeitdaten und der Kommunikation mit ihrem MES beginnen.