Zusammenfassung

  • Die SECS/GEM-Funktion wird mit der Funktion „SECS/GEM“ kombiniert.
  • 이호스트/제조 실행 스템(MES)이 현비의 비(툴)와 통신할 수 있도록 구조화된 방식을 정의합니다.
  • Eine Reihe von Produkten, die sich auf die Entwicklung und den Einsatz von Produkten spezialisiert haben, sind für den Einsatz in der Industrie, für die EDA-Versicherung und für die EDA-Bestimmung zuständig 밙은 핵심 자동화 작업을 지원합니다.
  • Daten (Stream), Daten (Funktion), Daten (Variable) und die Daten des Benutzers sind nicht verfügbar Herstellergarantie (OEM).
  • SECS/GEM 처리량.
  • Ich habe SEMI (die Zeit, in der ich mich aufhielt) und die Zeit, in der ich mich aufhielt, in den Ruhestand geschickt.

Einleitung

정밀성과 복잡성이 극도로 높은 반도체 제조에서는 공장 바닥의 모든 장비를 완벽하게 제어하는 것이 필수적입니다. SEMI(2024) wurde für 2030 und 1450 Tage vor der Premiere veröffentlicht 예상됩니다. 이는 첨단 하비에 대한 막대한 투자를 의미하지만, 진비의 진정한 가치는 단순한 처리 Die aktuelle Version des Servers (MES/Host) und die aktuelle Version des Servers sind nicht verfügbar.

Die Verwendung von SECS/GEM ist nicht möglich.
SECS/GEM-Fehlerbehebung 사용되는 표준입니다. Die Verwendung von CVD-Geräten, Geräten, Geräten und Geräten mit SECS/GEM-Funktionen ist nicht möglich 예측 가능한 언어로 통신할 수 있습니다. 이 표준이 없다면 자동화는 커스텀 코드를 작성해야 하는 혼란스러운 환경이 되었을 것입니다.

Wählen Sie die gewünschte Option aus, stellen Sie sicher, dass Sie die erforderlichen Einstellungen für SECS/GEM vorgenommen haben 필수입니다. 이 이 이드는 프로토콜의 기본 개념과 구조를 명확하게 설명합니다.

SECS/GEM-Einstellungen: Die aktuelle Version ist nicht verfügbar

Die SECS/GEM-Funktion ist für den SEMI-Test geeignet. Die aktuelle Version von SECS ist ein GEM-Gerät.

SECS: 커뮤니케이션 파이프라인

Die SECS-Richtlinie (Semiconductor Equipment Communication Standards) ist eine neue Richtlinie. 이는 이비와 호스트 간 메지지가 전송되는 물리적/메지 기반 계층을 정의합니다.

  • SECS-I(E4): RS-232-Verbindung zum Netzwerk
  • SECS-II(E5): 실제 메조지 구조와 내용을 정의
  • HSMS(E37): Die Funktion „TCP/IP-Verbindung“ und „TCP/IP-Verbindung“ ist nicht verfügbar

Die neue Version des HSMS/SECS-II-Protokolls wurde entwickelt

GEM: 필수 행동 모델

GEM (Generic Equipment Model) ist eine Kombination aus 3D- und 3D-Modellen und einem 3D-Drucker (E30).
GEM ist die erste Wahl, die es braucht.

Die Funktion „SECS/GEM“ wird mit der Funktion „SECS/GEM“ verbunden, um die Sicherheit zu gewährleisten 표준화된 형태로 수행할 수 있습니다.

Das ist GEM

모든 GEM:

  • Status Data Collection (SDC): 변수/트레이스/이벤트 기반 데이터 수집
  • Alarmverwaltung: 알람 보고
  • Rezeptverwaltung: 업로드/다운로드/검증
  • Fernbedienung: 온라인/오프라인, 보작/정지 제어
  • Ausrüstungsstatus: 상태 조회 가능

커뮤니케이션 툴킷: 스트림, 함수 및 변수

SECS/GEM unterstützt die Stream-Function(S/F)-Funktion.

Das ist alles, was Sie brauchen

  • Stream (S): 메지 카테고리
  • Funktion (F): 특정 메지의 종류
  • 응본 구조는 항상 요청(홀수 번호) → 응답(짝수 번호)

사용 중인 키 스트림/함수 쌍

 

 

Stream / Funktion Anleitung Beschreibung Zweck
S1F1 Host → Ausrüstung Bist du da 연결 상태 확인 (Überprüfung des Verbindungsstatus)
S1F2 Ausrüstung → Host Online-Daten S1F1 응답 (Antwort auf S1F1)
S6F11 Ausrüstung → Host Ereignisbericht senden 이벤트 발생 보고 (Ereignisereignisse melden)
S7F1 Host → Ausrüstung Anfrage zum Laden des Prozessprogramms 레Լ피 로드 요청 (Anfrage zum Laden eines Rezepts/Prozessprogramms)
S5F1 Host → Ausrüstung Alarm aktivieren 특정 알람 활성화 (Bestimmte Alarme aktivieren)

 

상태 변수 및 데이터 ID

  • ECs (Equipment Constants): Hier finden Sie weitere Informationen
  • SVs (Statusvariablen): Weitere Informationen
  • DVs (Datenvariablen): Weitere Informationen finden Sie hier
  • CEIDs (Sammlungsereignis-IDs): Hier finden Sie die ID

Die SECS/GEM-Funktion wird mit der Funktion „SECS/GEM“ verknüpft und mit der Funktion „SECS/GEM“ aktiviert.

SECS/GEM-Funktionsumfang: 100 % und 100 % des Werts

서버 역할

서비(툴)는 HSMS 서버 역할을 하며 다음을 수행해야 합니다.

  • GEM(E30) ist nicht verfügbar
  • Verwenden Sie die Option SECS/GEM, um die Einstellungen zu ändern
  • SV/DV/CEID/EC-Link zum GEM-Schnittstellenhandbuch

호스트 측(클라이언트 역할)

MES und Cell Controller sowie HSMS-Produktfamilie.

Weitere Informationen:

  • S1F13/S1F14: Neues Video
  • S7F1/S7F2: Neue Version
  •  S3F19/S3F20: Los geht's los
  • S6F3/S6F4: Neue Version
  • 데이터 수집/제조 흐름 제어

이 준화된 방식으로 운영할 수 있습니다.

Längengrad: SECS/GEM-Wert

수비 데이터 수집(EDA 또는 인터페이스 A, E120/E125/E134)

Die EDA-Funktion SECS/GEM ist für den Zugriff auf die Software zuständig.

  • SOAP/HTTPS-Verbindung ist nicht verfügbar
  • Die SECS/GEM-Funktion wird aktiviert
  • 고주파수(밀리초 단위) 데이터 수집 가능
  • 머신러닝 및 고급 분석에 필수

인증 및 규정 준수의 중요성

제조사는 아래 SEMI 표준에 맞춰야 합니다.

  • E30 (GEM)
  • E87 (Carrier Management)
  • E40 (Prozessmanagement)

팹에서는 이를 기반으로 팹에서는 적합성을 검증합니다.

Fazit

Die SECS/GEM-Funktion wird mit der Funktion „SECS/GEM“ verknüpft und mit der Funktion „SECS/GEM“ aktiviert.
자동화 및 데이터 기반 운영의 토대를 제공합니다.
Die aktuelle Version der OEM-Version von SECS/GEM ist die neueste Version von SECS/GEM 첫 단계입니다.

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