Unser Kunde, ein renommiertes Halbleiterunternehmen mit Sitz auf den Philippinen, ist auf die Herstellung hochwertiger Halbleiterkomponenten für den Weltmarkt spezialisiert. Die Produktionsstätte des Unternehmens ist mit modernsten Anlagen ausgestattet, darunter der Fotolackentwickler DNS SKW-80A-BVP, der für den Fotolithografieprozess unerlässlich ist.

Challenges:

Der Kunde stand vor erheblichen Herausforderungen bei der Integration seines DNS-Tools SKW-80A-BVP in sein bestehendes Factory Host- und Manufacturing Execution System (MES) unter Verwendung der SECS/GEM-Standards. Zu den wichtigsten Problemen zählten:

Mangelnde Automatisierung: Manuelle Datenerfassungsprozesse führten zu Ineffizienzen und Verzögerungen bei der Entscheidungsfindung.

Eingeschränkte Werkzeugkompatibilität: Die native Schnittstelle des Tools verfügte nicht über integrierte SECS/GEM-Funktionen, was die Kommunikation mit den zentralen Systemen des Werks erschwerte.

Operative Ineffizienzen: Manuelle Eingriffe verlängerten die Zykluszeiten und beeinträchtigten somit die Gesamtproduktivität und den Ertrag.

Um in der Halbleiterindustrie wettbewerbsfähig zu bleiben, erkannte der Kunde die Notwendigkeit eines nahtlosen SECS/GEM-Kommunikationsprotokolls, um die Automatisierung zu verbessern, die Prozesssteuerung zu optimieren und datengestützte Entscheidungen zu ermöglichen.

Lösung

Einnosys schlug den Einsatz seiner EIGEMBox, einer Plug-and-Play-Lösung für SECS/GEM, vor, um die Kompatibilitätslücke zwischen dem DNS-Tool SKW-80A-BVP und dem MES des Kunden zu schließen. Der Implementierungsprozess umfasste die folgenden Schritte:

Kundenspezifische Integration:

Die EIGEMBox wurde so konfiguriert, dass sie wichtige Betriebsdaten von der nativen Schnittstelle des Tools erfasst und in das SECS/GEM-Protokoll konvertiert.

Parameter wie Schleuderdrehzahl, Temperatur und Dicke der Fotolackschicht wurden für eine nahtlose Datenübertragung an das MES erfasst.

Einrichtung der automatisierten Kommunikation:

Die EIGEMBox ermöglichte Echtzeitüberwachung und bidirektionale Kommunikation zwischen dem Werkzeug und dem MES und unterstützte sowohl Datenprotokollierung als auch Fernsteuerungsbefehle.

Kritische Alarme und Benachrichtigungen wurden integriert, um die Bediener auf Abweichungen aufmerksam zu machen und so ein schnelles Eingreifen zu gewährleisten.

Bedienerfreundliche Schnittstelle:

Für die Bediener wurde ein benutzerfreundliches Dashboard bereitgestellt, mit dem sie die Leistung der Werkzeuge visualisieren und effizient auf Diagnoseinformationen zugreifen können.

Für die Bediener wurde ein benutzerfreundliches Dashboard bereitgestellt, mit dem sie die Leistung der Werkzeuge visualisieren und effizient auf Diagnoseinformationen zugreifen können.

Test und Validierung

Um die Robustheit der Integration zu gewährleisten, wurden folgende Prozesse durchgeführt:

Simulationstests: Vor der Implementierung wurde das SECS/GEM-Kommunikationsprotokoll in einer simulierten Umgebung gründlich getestet, um seine Kompatibilität und Zuverlässigkeit zu validieren.

Leistungsüberwachung: Die EIGEMBox wurde während der ersten Betriebsphase überwacht, um etwaige Engpässe zu erkennen und zu beheben.

Betreiber-Feedback: Für das Team des Kunden wurden umfassende Schulungen durchgeführt, in deren Rahmen das Feedback zur Verbesserung des Systems genutzt wurde.

Ergebnisse

Der Einsatz der EIGEMBox führte zu bahnbrechenden Ergebnissen für den Kunden:

Verbesserte Effizienz: Die Automatisierung reduzierte die Zykluszeiten um 25 % und verbesserte so den Durchsatz deutlich.

Verfügbarkeit von Daten in Echtzeit: Das Tool kommuniziert nun nahtlos mit dem MES und liefert Echtzeit-Prozessdaten, die für die Qualitätskontrolle von entscheidender Bedeutung sind.

Verbesserter Ertrag: Durch die Ermöglichung einer präzisen Überwachung und Steuerung konnte der Kunde eine Verbesserung der Prozessausbeute um 15 % feststellen.

Einfache Bedienung: Das intuitive Bedienfeld minimierte den Lernaufwand für die Bediener und steigerte so die Produktivität.

Skalierbarkeit: Dank der Plug-and-Play-Funktionalität der EIGEMBox konnte der Kunde die Lösung mit minimalem Aufwand auf andere Tools übertragen.

Rückmeldung

Der Kunde äußerte seine Zufriedenheit mit dem EIGEMBox-Lösungund hoben dabei die Auswirkungen auf ihren Herstellungsprozess hervor.

„Die Integration von EIGEMBox war für uns ein echter Durchbruch. Sie hat die Lücke zwischen unserem DNS-Tool und dem MES nahtlos geschlossen und damit ein neues Maß an Automatisierung und Effizienz ermöglicht. Besonders beeindruckt hat uns die schnelle Implementierung und der Support des Einnosys-Teams“, so der Betriebsleiter des Halbleiterwerks.