Client: Führende Halbleiterfabrik, Philippinen
Industrie: Halbleiterfertigung
Verwendetes Produkt: EIGEMBox von eInnoSys
Ausrüstung: Disco DFG8560 Rückenschleifmaschine. Der Kunde, ein führender Halbleiterhersteller auf den Philippinen, stand vor einem kritischen Automatisierungsengpass. Seine Disco DFG8560 Rückenschleifmaschine, ein Hochleistungs-Wafer-Dünnungswerkzeug, verfügte nicht über native SECS/GEM-Kommunikationsfunktionen. Diese Einschränkung behinderte die Integration in das MES (Manufacturing Execution System) und das AMHS (Automated Material Handling System) der Fabrik, was folgende Folgen hatte:

  • Manuelle Datenerfassung und Rezeptverwaltung
  • Erhöhtes Risiko menschlicher Fehler
  • Begrenzte Fernüberwachung und -steuerung
  • Verringerte Gesamtanlageneffektivität (OEE)

Eine Modernisierung der Geräte oder ein Austausch gegen neuere Modelle war finanziell nicht rentabel, da die geschätzten Kosten 3 Millionen Dollar überstiegen.

Lösung

Der Hersteller hat sich mit eInnoSys zusammengetan, um EIGEMBox einzuführen. Diese patentierte Plug-and-Play-Lösung erweitert ältere Geräte um SECS/GEM-Funktionalität, ohne dass Hardware oder Software auf dem Gerät selbst installiert werden muss.

EIGEMBox nutzte ausschließlich den Bildschirmausgang (HDMI) und optional die Anschlüsse für Tastatur und Maus, um die grafische Benutzeroberfläche des Rechners zu erfassen und in SECS/GEM-kompatible Signale umzuwandeln. Dies ermöglichte Folgendes:

  • Vollständige Host-Kommunikation
  • Fernstart/-stopp und Rezept-Download
  • Echtzeit-Datenerfassung und Fehlererkennung
  • Nahtlose AMHS-Integration mittels E84/E87-Protokollen

Die Einrichtung dauerte weniger als eine Stunde, ohne Ausfallzeiten oder Risiken für den Betrieb der Mühle.

Testen und Validieren

Die Integration wurde durch eine Reihe strenger Tests validiert:

  • Rezeptverwaltung: Verifizierter Download und Ausführung des Remote-Rezepts.
  • Datenerfassung: Bestätigter Parameteraustausch in Echtzeit und Erfassung historischer Daten.
  • Automation: Fernstart/-stopp und Alarmüberwachung aktiviert.
  • AMHS-Kompatibilität: Erfolgreich in das E84/E87-basierte Materialflusssystem der Fabrik integriert.

Alle Tests wurden mit hoher Zuverlässigkeit bestanden, und es wurden keine negativen Auswirkungen auf die Leistung der Mühle festgestellt.

Ergebnisse

  • 100%ige SECS/GEM-Konformität wurde mit einem zuvor nicht konformen Tool erreicht.
  • Keine Geräteausfallzeiten während des Einsatzes.
  • Verbesserte Gesamtanlageneffektivität durch Automatisierung und reduzierten manuellen Eingriff.
  • Kosteneinsparungen: Über 3 Millionen Dollar wurden durch den Verzicht auf Geräteersatz eingespart.
  • Erhöhte Ausbeute: Durch verbesserte Prozesskontrolle konnte die Ausschussquote von ca. 194 Wafern pro Jahr gesenkt werden.

Kunden-Bewertungen

„EIGEMBox hat unsere alte Disco DFG8560 in weniger als einer Stunde in ein vollautomatisiertes, SECS/GEM-konformes Werkzeug verwandelt. Die Integration verlief reibungslos, und die Effizienzsteigerung in unserer Fertigung war sofort spürbar. Wir führen die Lösung nun auch für andere ältere Werkzeuge ein.“

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