Kundenübersicht

Ein führender Halbleiterhersteller sah sich mit Produktionsineffizienzen bei seinem veralteten SCREEN-Scrubber AS-2000 konfrontiert, einem wichtigen Werkzeug zur Waferreinigung. Das Gerät verfügte nicht über SECS/GEM-Konnektivität, wodurch die Bediener gezwungen waren, Prozessdaten manuell zu erfassen – was zu Verzögerungen, Fehlern und Compliance-Risiken in seiner für Industrie 4.0 vorbereiteten Fabrik führte.

Herausforderung

Betriebliche Engpässe eingeschlossen:

Keine Echtzeitüberwachung: Die manuelle Datenerfassung führte zu Verzögerungen bei der Fehlererkennung.

Nicht-Standardprotokoll: Der Scrubber verwendete eine proprietäre Schnittstelle, die mit dem SEMI E84/E87-basierten MES der Fabrik inkompatibel war.

Compliance-Risiken: Unfähigkeit zur Automatisierung der Datenerfassung für FDA/ISO-Audits.

Ausfallkosten: Mehr als 15 Minuten pro Schicht werden mit manuellen Kontrollen verschwendet.

Feature-Highlights:

Keine Codeänderungen: An der Originalsoftware des Scheuersauggeräts wurden keine Änderungen vorgenommen.

FDC-Integration: Fehlererkennung für Ausreißer in der Partikelzählung aktiviert.

Rezeptsynchronisierung: Automatisierter Download von E87-Rezepten aus MES.

Lösung

Der Kunde setzte EIGEMBox, ein Plug-and-Play-SECS/GEM-Kommunikationsgateway, zur Nachrüstung des Scrubbers ein:

SEMI E30/GEM-Konformität

E84/E87 Rezepturverwaltung

Echtzeit-Geräteverfolgung

Wichtige Implementierungsschritte:

Protokollanalyse: Die Ingenieure von EIGEMBox haben die proprietäre Schnittstelle des Scrubbers durch Reverse Engineering analysiert.

Hardware-Integration: Zur Überbrückung der Kommunikation wurde ein nicht-invasives Edge-Modul installiert.

GEM-Skripterstellung: Konfigurierte Ereignisberichte (z. B. Prozessstart/-ende, Alarme) gemäß SEMI-Standards.

MES-Test: Validierter Datenfluss mit dem Applied Materials MES des Kunden.

ROI in 4 Monaten erzielt

Kunden-Bewertungen

„EIGEMBox hat unseren AS-2000 von einem Daten-Blackout in ein intelligentes, konformes Werkzeug verwandelt. Wir haben manuelle Protokollierungsfehler eliminiert und unsere Roadmap für intelligente Fabriken beschleunigt.“

— Prozessingenieur