Kundenprofil: Ein führendes Halbleiterfertigungsunternehmen mit Sitz in Singapur, bekannt für seine hochpräzisen Wafer-Testverfahren und sein Engagement für Innovationen in der Halbleiterindustrie.

Branche: Halbleiterfertigung

Challenges:

Der Kunde stieß bei der Automatisierung der Datenkommunikation zwischen seinem bestehenden Wafer-Inspektionssystem ACCRETECH SS20 und dem Manufacturing Execution System (MES) an seine Grenzen. Die manuelle Dateneingabe führte zu Ineffizienzen, verzögerten Entscheidungen und erhöhte das Risiko von Bedienungsfehlern. Darüber hinaus behinderte die fehlende standardisierte SECS/GEM-Integration die Skalierbarkeit seiner Automatisierungsstrategie.

Lösung:

Um diese Herausforderungen zu bewältigen, wurde die EIGEMBox – eine kompakte, sofort einsatzbereite SECS/GEM-Konnektivitätslösung – eingesetzt. Sie ermöglichte eine nahtlose Kommunikation zwischen dem SS20-Tool und dem MES, ohne dass aufwändige Änderungen an der Firmware des Tools erforderlich waren.

Zu den wichtigsten Elementen der Lösung gehörten:

  • Schnelle SECS/GEM-Aktivierung mithilfe des modularen Konfigurationssystems von EIGEMBox
  • Benutzerdefinierte Zuordnung von GEM-Ereignissen und Datenvariablen zur Prozessrückverfolgbarkeit
  • Echtzeitüberwachung und -steuerung des Tools vom Hostsystem aus
  • Minimale Ausfallzeiten während der Bereitstellung, um einen unterbrechungsfreien Betrieb zu gewährleisten

Testen und Validieren:

Der Integrationsprozess folgte einem strukturierten Plan, der Simulation, Validierung und Produktionstests umfasste.

  • Erste Simulation: Ein digitaler Zwilling des SS20 wurde konfiguriert, um GEM-Ereignisse in einer kontrollierten Umgebung zu testen.
  • Feldvalidierung: Die Installation am Werkzeug und die Überprüfung des Handshakes mit dem MES wurden über einen Zeitraum von drei Tagen durchgeführt.
  • Produktionstests: Es wurden reale Arbeitsabläufe überwacht, wobei über 500 Wafer verarbeitet wurden, um die Datengenauigkeit und die Zuverlässigkeit der Kommunikation zu beurteilen.
  • Es wurden keine Unstimmigkeiten beim Nachrichtenaustausch festgestellt, und die Protokolldiagnose bestätigte eine hundertprozentige Transaktionskonsistenz.

Results:

  • 100% SECS/GEM-Konformität: Die vollständige Ausrichtung an den SEMI-Standards ermöglichte es dem Kunden, seine Vorgehensweise auf Industrie 4.0 auszuweiten.
  • 80 % Reduzierung manueller Eingriffe: Die automatisierte Datenerfassung und Auftragsverteilung verbesserten die betriebliche Effizienz.
  • Echtzeit-Sichtbarkeit: Die Ingenieure erhielten aus der Ferne Einblick in die Leistung der Waferinspektion, was die Reaktionsfähigkeit steigerte.
  • Standardisiertes Framework: Mit einer einzigen Integration schuf der Kunde einen Fahrplan für die zukünftige Einführung neuer Tools in all seinen Fabriken.

Kundenfeedback:

„Unser Team war skeptisch, ob eine nicht-invasive Lösung für die SECS/GEM-Integration funktionieren würde, aber EIGEMBox hat sich sowohl in puncto Flexibilität als auch Leistung bewährt. Die reibungslose Einrichtung und die übersichtliche Dokumentation haben eine komplexe Aufgabe unglaublich einfach gemacht. Wir prüfen nun ähnliche Implementierungen für weitere ältere Systeme.“

– Leitender Anlagenmanager, Abteilung Automatisierung