Kundenprofil

Kunde: Ein führendes Halbleiterfertigungsunternehmen auf den Philippinen

Branche: Halbleiterfertigung

Challenges

Der Kunde, ein führender Akteur der Halbleiterindustrie, sah sich mit betrieblichen Ineffizienzen seines Applied Materials CENTURA W-CVD_3CH-Systems konfrontiert, einer Schlüsselanlage für die Wolframabscheidung. Die bestehende Systemsoftware wies keine robusten SECS/GEM-Integrationsfunktionen auf, die für eine reibungslose Kommunikation zwischen der Anlage und dem Fabrikautomatisierungssystem des Kunden unerlässlich sind. Dies führte zu folgenden Problemen:

Begrenzte Automatisierung: Häufig war ein manueller Eingriff erforderlich, was die Produktionszykluszeiten verlängerte und das Fehlerrisiko erhöhte.

Datenlücken: Unvollständige Datenerfassung an den Geräten behinderte die Echtzeitüberwachung und Prozessoptimierung.

Skalierbarkeitsprobleme: Das System hatte Schwierigkeiten, sich an die wachsenden Produktionsanforderungen des Kunden anzupassen.

Herausforderungen bei der Einhaltung der Vorschriften: Die Einhaltung der SEMI-Standards für die Gerätekommunikation wurde nicht durchgängig gewährleistet, was Audits und Zertifizierungen erschwerte.

Lösung

Um diese Herausforderungen zu bewältigen, schlug Einnosys den Einsatz seines Flaggschiffprodukts EIGEMBox vor . Diese robuste SECS/GEM-Schnittstellenlösung wurde speziell für die nahtlose Integration in das Applied Materials CENTURA W-CVD_3CH-System entwickelt und gewährleistet die Einhaltung der SEMI-E5- und E30-Standards. Der Implementierungsprozess umfasste:

Systembewertung: Es wurde eine detaillierte Analyse der Hardware- und Softwarefähigkeiten des CENTURA-Systems durchgeführt, um Integrationspunkte zu identifizieren.

Anpassung: Die EIGEMBox wurde so konfiguriert, dass sie Prozessparameter, Alarme, Ereignisse und Datenerfassungsanforderungen abbildet, die spezifisch für die Arbeitsabläufe des Kunden sind.

Integration: Die EIGEMBox wurde installiert und getestet, ohne den laufenden Betrieb zu stören.

Dies beinhaltete:

  • Mapping SECS/GEM Variablen für die Anforderungen des MES (Manufacturing Execution System) der Fabrik.
  • Implementierung von benutzerdefinierten Skripten zur Automatisierung von Arbeitsabläufen.

Schulung: Wir haben den Ingenieuren des Kunden praxisnahe Schulungen angeboten, damit sie die neuen Funktionen effektiv nutzen können.

Testen und Validieren

Der Integrationsprozess umfasste strenge Tests, um Zuverlässigkeit und Leistungsfähigkeit sicherzustellen:

Funktionsprüfung: Korrekter Datenaustausch zwischen dem CENTURA-System und dem MES wurde verifiziert.

Stresstest: Gewährleistete die Stabilität des Systems unter maximaler Produktionslast.

Konformitätsvalidierung: Bestätigte Einhaltung der SEMI E37-Standards für HSMS (High-Speed ​​SECS Message Services).

Benutzerakzeptanztests (UAT): Werden gemeinsam mit dem Team des Kunden durchgeführt, um die durchgängigen Arbeitsabläufe zu validieren.

Ergebnisse

Die Implementierung von EIGEMBox revolutionierte den Wolfram-Abscheidungsprozess des Kunden. Zu den wichtigsten Ergebnissen zählten:

Erweiterte Automatisierung:

95% Reduzierung manueller Eingriffe.

Schnellere Prozessausführung durch automatisierte Rezeptauswahl und Datenprotokollierung.

Verbesserte Datengenauigkeit:

Die umfassende Datenerfassung ermöglichte Echtzeitüberwachung und fortgeschrittene Analysen.

Verbesserte Rückverfolgbarkeit für Compliance-Audits.

Skalierbarkeit:

Das System wurde nahtlos skaliert, um erhöhte Produktionsmengen zu bewältigen.

Flexible Konfigurationsmöglichkeiten gewährleisten Kompatibilität mit zukünftigen Geräte-Upgrades.

Kundenbindung:

Vollständig erfüllte SEMI-Standards, wodurch Audits und Zertifizierungen vereinfacht wurden.

Betriebsoptimierung:

Reduzierte Ausfallzeiten durch schnelle Erkennung und Behebung von Geräteproblemen.

Die Produktionszykluszeiten wurden um 20 % reduziert. Die SECS/GEM-Integration mit EIGEMBox erwies sich als bahnbrechend für das Applied Materials CENTURA W-CVD_3CH-System des Kunden. Durch die Automatisierung von Arbeitsabläufen, die Optimierung des Datenmanagements und die Sicherstellung der Einhaltung von Industriestandards erzielte der Kunde signifikante operative Verbesserungen. Dieser Erfolg unterstreicht das Engagement von Einnosys für innovative Lösungen, die die Effizienz und Wertschöpfung für Halbleiterhersteller weltweit steigern.