Comment l'analyse des alarmes historiques a permis à une usine de semi-conducteurs d'éliminer les alarmes récurrentes du processus CMP

Un important fabricant de semi-conducteurs peinait à valider les alarmes récurrentes de son procédé de polissage chimico-mécanique (CMP) car son système d'alarme existant ne disposait pas d'analyse historique. Grâce au système de gestion des alarmes eInnoSys (AMS), les ingénieurs ont analysé les tendances historiques des alarmes, identifié une dérive récurrente du procédé sur une machine, obtenu l'approbation pour une modification de la recette et éliminé avec succès le pic d'alarmes récurrent de l'après-midi grâce à une prise de décision basée sur les données.

Principaux résultats

• Analyse des causes profondes 80 % plus rapide
• Réduction de 50 % des alarmes de processus récurrentes
• Visibilité historique des alarmes à 100 %
• 90 % de décisions d'ingénierie supplémentaires basées sur les données
• Approbation plus rapide des modifications de recettes de processus