Titre SECS/GEM :

• グローバルな影響:半導体製造装置の売上が過去最高水準に達する中、標準化された通信の重要性はますます高まっている.
• 標準規格:SECS/GEM（SEMI E5/E30.
• 主要構成要素 :SECS セージ伝送（データの流れ）を担い、GEMは装置の振る舞い（状態モデル、リモート制御、アラーム管理）を定義する。
• 利点:導入により完全自動化が可能となり、リアルタイムのデータ収集とレシピ管理によって歩留まりが向上する.
• mise en œuvre:合が簡素化され、装置ごとにカスタムコードを書くことなくスケール可能となる.

は じ め に

FOUPが天井の搬送レールを高速で移動し、クリーンルームの照明が規則正しく点滅している光景が広がるでしょう。しかし、このオーケストラを« »

SEMI（2025年）によると、世界の半導体製造装置市場は AI Liste des prix à payer pour 2025 1 330 $ par mois標準化された仕組みがなければ、これらの高価な装置は事実上ただの箱に過ぎません。

ここで重要となるのが SECS/GEM SECS/GEM SECS/GEM があって初めて、人の介在なしにナノメートルレベルのトランジスタを生産できる、統合されたインテリジェント製造ラインが実現します。

なぜファブでは接続性が重要なのか

初期の半導体製造では、オペレーターが手動でレシピをロードし、「スタート」ボタンを押していました。しかし、その時代はすでに過去のものです。現代のファブは« ライトアウト”運転が基本であり、自動化が支配しています。

課題は、ファブが技術的な「バベルの塔」であることです。カリフォルニア製のエッチャー、オランダ製の露光装置、日本製の成膜装置――それぞれが独自の内部言語を話します。

この問題を解決するために採用されたのが SECS/GEM MES et EAPなどのホストシステムは、ベンダーを問わず任意の装置に同じ方法でコマンドを送信し、予測可能な応答を得ることができます。結果として、バラバラな独自ソフトウェアの集合体が、統一された生産ラインへと変わります.

SECS/GEM

SECS/GEM は、SEMI（Équipements et matériaux semi-conducteurs International.

この略語は、2つの異なる役割に分けて考えると理解しやすくなります。

「SECS」― メッセンジャー

SECS et Norme de communication des équipements à semi-conducteurs. SECS地点から B地点へ運ぶことに専念します。

• SEMI E5 (SECS-II)：メッセージの「文法」を定義。状態要求、レシピ送信、エラー報告などの標準メッセージを規定。
• SEMI E37 (HSMS)SECS utilise TCP/IP (Ethernet) pour fonctionner.
• SEMI E4 (SECS-I)：RS-232 シリアル通信を使用する旧規格。現在ではほぼ廃止。

「GEM」― 行動規範

GEM (Modèle d'équipement générique / SEMI E30)
Livre SECS.

GEMMEは、装置が特定の状況でどのように振る舞うべきかを明確に規定します。これにより、異なる装置であっても「START」コマンドの意味が完全に一致します。

内部での動作原理

SECS/GEM et Streams & Functions (SxFy) sont également disponibles.

• Stream（S）：大分類（例：S1＝装置状態、S6＝データ収集）
• Fonction（F）：具体的な操作

単な通信例:

• ホスト →装置（S1F1）：「オンラインか？」
• 装置 → ホスト（S1F2）：「オンラインです」
• ホスト →装置（S2F41）：「START」
• 装置 → ホスト（S2F42）：「コマンド受信」

この厳密な構造により、曖昧さのない自動化が実現します。

GEM 準拠インターフェースの主な機能

リモート制御

装置の開始・停止、レシピ選択、搬送制御をすべて遠隔で実行可能。

gestion des alarmes

Il s'agit d'un produit de qualité.

Collecte de données

Le système d'exploitation APC est équipé d'un système d'exploitation APC.

現代ファブにおける SECS/GEM

Kit de développement SECS/GEM pour OEM et SDKを使用し、装置の本質的な制御に集中します。

主な課題:

• レガシー装置の対応
• GEM 準拠性の検証
• GEM300 (300 mm de diamètre)

ま と め

SECS/GEM est un jeu d'enfant.
Pièces de rechange OEM pour produits OEM, SECS/GEMの理解は「選択肢」ではなく「必須条件」です。

Domande frequenti