Présentation du client

Un important fabricant de semi-conducteurs a rencontré des problèmes d'efficacité de production avec son ancien nettoyeur SCREEN AS-2000, un outil essentiel pour le nettoyage des plaquettes. L'équipement ne disposait pas de connectivité SECS/GEM, obligeant les opérateurs à saisir manuellement les données de processus, ce qui entraînait des retards, des erreurs et des risques de non-conformité dans son usine compatible avec l'Industrie 4.0.

Challenge

Goulots d'étranglement opérationnels inclus :

Absence de surveillance en temps réel : L'enregistrement manuel des données a entraîné des retards dans la détection des défauts.

Protocole non standard : Le système de lavage utilisait une interface propriétaire, incompatible avec le MES de l'usine basé sur SEMI E84/E87.

Risques de conformité : Incapacité à automatiser l'enregistrement des données pour les audits FDA/ISO.

Coûts des temps d'arrêt : Plus de 15 minutes par quart de travail perdues en vérifications manuelles.

Principales caractéristiques:

Aucune modification du code : Aucune modification du logiciel d'origine de l'autolaveuse.

Intégration FDC : Détection des défauts activée pour les valeurs aberrantes du nombre de particules.

Synchronisation des recettes : Téléchargements automatisés de recettes E87 depuis MES.

Solution

Le client a déployé EIGEMBox, une passerelle de communication SECS/GEM prête à l'emploi, pour moderniser le laveur de flux avec :

Conformité SEMI E30/GEM

Gestion des recettes E84/E87

Suivi des équipements en temps réel

Étapes clés de la mise en œuvre :

Analyse du protocole : Les ingénieurs d'EIGEMBox ont procédé à une rétro-ingénierie de l'interface propriétaire du nettoyeur.

Intégration matérielle : Installation d'un module périphérique non intrusif pour assurer la communication.

Programmation GEM : Rapports d'événements configurés (par exemple, début/fin de processus, alarmes) conformément aux normes SEMI.

Tests MES : Flux de données validé avec le système MES Applied Materials du client.

Retour sur investissement atteint en 4 mois

Commentaires des clients

« EIGEMBox a transformé notre AS-2000, qui était un véritable gouffre à données, en un outil intelligent et conforme. Nous avons éliminé les erreurs de saisie manuelle et accéléré notre feuille de route pour les usines intelligentes. »

— Responsable de l'ingénierie des procédés