SEMI E30、E4、E5、およびE37に完全準拠。

80%の機能はすぐに利用可能で、統合は不要です。

統合時間を最大20%短縮します。

REST APIベースの独立した実行可能オプションが利用可能です。

プロトコルに関する専門知識は不要です。深い専門知識がなくても、SECS/GEMの機能を構築できます。

C#.NET、C++、Java、REST APIに対応しており、Windows、Linux、Raspberry Piで動作します。

シンプルで英語のようなAPI – 理解しやすく、学習しやすく、迅速に実装できます。

SECS/GEMの実装を大幅に加速します。

SECS/GEM統合を加速する

⚠️ 課題

SECS/GEM通信をゼロから構築することは、複雑で時間がかかり、コンプライアンス上のリスクも伴うため、工場出荷準備の遅延につながる。

🚀 当社のSDKの利点

EIGEMEquipmentは、80%の機能をすぐに利用できる状態で提供します。SEMI規格への対応は当社にお任せいただくことで、お客様は機械ロジックの開発に集中でき、市場投入までの時間を大幅に短縮できます。

機能 社内開発 EIGEMEquipment SDK
開発時間 ヶ月 ウィークス
SEMIコンプライアンス メンテナンスが難しい 保証された
サポート 限定的 24時間7日専門家によるサポート

SECS/GEM統合オプション

SECSGEM統合オプション

オプション1:同じプロセス/同じPC

最もシンプルな統合アーキテクチャ。SECS/GEM SDKは、同一PC上の機器コントローラソフトウェア内で単一のアプリケーションとして動作し、PLC、センサー、モーター、その他の機器を制御しながらMESとの直接通信を可能にします。

最適な用途: コントローラーのソースコードへの完全なアクセス権を持つ、新規機器開発またはOEM向けサービス。

オプション2:同じPC/異なるプロセス

プロセス分離性を向上させたモジュール型アーキテクチャ。SECS/GEM SDKは、同じ機器用PC上で独立したアプリケーションとして動作し、IPCを介して機器コントローラソフトウェアと通信するため、既存ソフトウェアへの変更を最小限に抑えることができます。

最適な用途: 安定性と容易なメンテナンスが求められる既存のコントローラーソフトウェア。

オプション3:別のPC/同じ機器

SECS/GEM専用通信システム。機器コントローラは機器PC上に設置され、SECS/GEM SDKは同じ機器内の別のPC上で動作します。通信はLANまたはIPCを介して行われます。

最適な用途: コントローラのリソースが限られている、あるいはソフトウェアポリシーが厳格な高性能システム。

オプション4:PLC-ホストブリッジ(EIGEMHMI)

コントローラソフトウェアを変更することなく、SECS/GEMを有効にできます。EIGEMHMIはPLCから直接データを読み取り、SECS/GEMメッセージに変換し、既存のPLCとHMIをそのまま使用しながらMESとデータを交換します。

最適な用途: 従来のPLC/HMIベースの機器で、SECS/GEMへの迅速な準拠が求められる。

オプション5:EIGEMBoxによる変更なし

既存機器向けのプラグアンドプレイ式SECS/GEM。 EIGEMBox 既存のソフトウェア、ハードウェア、または機器コントローラを変更することなく、SECS/GEMとの完全な通信機能を追加します。

最適な用途: 迅速かつリスクゼロでSECS/GEMを導入する必要のある既存設備。

オプション6:PLC + HMI統合(EIGEMLink)

PLCとHMIをSECS/GEMにシームレスに接続します。 EIGEMLink PLCとHMIの両方からデータを収集し、SECS/GEM通信形式に変換して、機器をMESに直接接続します。

最適な用途: PLCとHMIの両方を使用する機器で、高速かつ信頼性の高いSECS/GEM統合が必要なもの。

最適な統合オプションの選択でお困りですか?

組み込みSDKから、EIGEMBox、EIGEMHMI、EIGEMLinkといったプラグアンドプレイソリューションまで、お客様の機器アーキテクチャに基づいた最適なSECS/GEM実装を提供します。

SECS/GEMによるFABおよびOSAT向けソリューション

EIGEMEquipmentは、SEMI規格に準拠したSECS/GEM SDKおよび実装ソリューションであり、半導体メーカーの機器間通信を簡素化します。通信ロジックをゼロから構築することなくSECS/GEMを実装するための信頼性の高い基盤を提供し、安定したシームレスなホスト接続を保証します。

eInnoSys社が開発したこのSDKは、半導体製造工場(ファブ)および半導体受託製造サービス(OSAT)向けの強力なSECS/GEMソリューションであり、複数のプログラミング言語とオペレーティングシステムをサポートしています。このSDKを使用することで、開発作業の負担が軽減され、実装期間が短縮され、コストが削減されるとともに、GEM300機能を含むSEMI規格への完全な準拠が保証されます。

エイジメ機器

EIGEM機器は誰が使用すべきですか?

EIGEMEquipmentは、プロトコルスタックをゼロから開発することなく、信頼性の高いSECS/GEM通信を実装する必要のある半導体製造装置メーカー、OEM、システムインテグレーター向けに設計されています。これにより、SEMI準拠の迅速化、シームレスな工場統合、およびエンジニアリング作業の削減が可能になります。

業界/ユーザー
EIGEMEquipment SECS/GEM SDK の活用方法
半導体製造装置OEM
SECS/GEM通信機能を新しい機器に迅速に追加し、SEMI規制への準拠を加速します。
ウェーハ処理装置
エッチング、成膜、CMP、リソグラフィ、および洗浄システム向けに、信頼性の高いホスト通信を実現します。
検査・計測機器
MESおよび工場自動化システムとの統合を実現し、リアルタイムの機器監視をサポートします。
組立・包装機器
バックエンドの製造および自動化における機器間の通信を標準化する。
試験装置メーカー
ホスト接続を簡素化し、半導体製造工場との相互運用性を向上させる。
システムインテグレーター
本番環境に対応したAPIとエンジニアリングサポートを活用することで、統合時間を短縮できます。
設備近代化プロジェクト
コントローラソフトウェアを再設計することなく、既存機器をSECS/GEM機能でアップグレードできます。

マルチプラットフォーム

SECS/GEM統合プロジェクトを加速させる準備はできていますか?

アーキテクチャ設計やSDK統合から、SEMI準拠検証、そして量産展開まで、eInnoSysは包括的なエンジニアリングサポートを提供し、お客様が信頼性の高い半導体製造装置をより迅速に提供できるよう支援します。

サポートされているSEMI規格

SEMI E30 (GEM)

製造装置の通信および制御のための汎用モデル(GEM)の仕様

続きを読む。

SEMI E4 (SECS-I)

SEMI機器通信規格1メッセージ転送仕様(SECS-I)

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SEMI E5 (SECS-II)

SEMI機器通信規格2メッセージ内容仕様(SECS-II)

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SEMI E37

高速SECSメッセージサービス(HSMS)汎用サービスの仕様

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SEMI E95

半導体製造装置用ヒューマンインターフェースの仕様

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ケーススタディ

技術相談のスケジュール

当社の専門家にご相談いただき、OEMおよびFAB/ATPに関するご要望をお聞かせください。お客様の業務に最適なソリューションをご提案いたします。

    関連製品およびサービス

    よくある質問。

    EIGEMEquipmentとは何ですか?

    EIGEMEquipmentは、半導体製造装置におけるSECS/GEM通信を容易にし、効率的なデータ交換と制御を保証するソフトウェアソリューションです。

    EIGEMEquipmentは、製造プロセスをどのように改善するのでしょうか?

    EIGEMEquipmentは、リアルタイムの監視と制御を可能にすることでプロセスを改善し、効率の向上とエラーの削減を実現します。

    EIGEMEquipmentは既存の工場システムと併用できますか?

    はい、EIGEMEquipmentは既存の工場システムや設備とシームレスに統合できるように設計されています。

    EIGEMEquipmentの主な特徴は何ですか?

    主な機能としては、堅牢なSECS/GEM通信、容易な統合、包括的なデータ収集および分析ツールなどが挙げられます。

    EIGEMEquipmentのサポートを受けるにはどうすればよいですか?

    インストール、設定、トラブルシューティングに関するサポートは、弊社のカスタマーサービスチームが提供いたします。

    SECS/GEMはどのように機能するのですか?

    SECS(SEMI Equipment Communication Standard)とGEM(Generic Equipment Model)は、半導体および関連産業における自動化システムを実現するために使用される通信プロトコルです。SECSは、機器と工場制御システムとの通信方法を定義する物理層およびデータリンク層です。GEMは、半導体製造における機器の自動化および制御方法を定義する一連の標準プロトコルとモデルです。SECSとGEMを組み合わせることで、プロセス制御、データ交換、レポート作成など、機器とホストシステム間の標準化された通信が可能になります。

    SECS/GEMを管理しているのは誰ですか?

    SECS/GEMは、半導体業界の標準規格を策定するグローバル業界団体であるSEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)によって維持管理されています。SEMIは業界の専門家と協力し、SECS/GEMプロトコルが技術の進歩と業界のニーズに常に適合するように努めています。

    SECS/GEMはどこで使用されていますか?

    SECS/GEMは主に半導体製造で使用されていますが、フラットパネルディスプレイ(FPD)製造、太陽光発電、および関連する自動化生産環境など、他の産業にも適用可能です。データ収集、プロセス制御、ステータスレポート、レシピ管理などのために、機械(装置)がホストシステムと通信する必要がある環境で使用されます。

    SECS GEMプロセスプログラムとは何ですか?

    SECS GEMプロセスプログラムとは、半導体製造などの製造現場において、装置をホストシステムに接続するソフトウェア層またはインターフェースのことです。これは、装置がホストからのコマンドにどのように応答し、データを送信し、ステータスを報告し、アラームを管理するかを定義する一連のルールと標準(GEMの一部)で構成されています。プロセスプログラムは、装置が期待どおりに動作し、製造環境内の他のシステムと効率的に通信することを保証します。

    SECS/GEMを使用して機器にコマンドを送信する方法は?

    GEMインターフェースを使用して、機器にS2F41(リモートコマンド)メッセージを送信します。このメッセージには、機器が目的の操作を実行するために必要なコマンド名とパラメータが含まれています。

    SECS/GEMにおけるHSMSとは何ですか?

    HSMS(High-Speed SECS Message Services)は、TCP/IPネットワーク上でSECSメッセージを送信するためのプロトコルです。RS-232シリアル通信を利用するSECS-Iよりも高速かつ効率的です。

    SECS/GEMにおけるイベントとは何ですか?

    イベントとは、処理ステップの完了やエラー検出など、機器内で発生する重要な事象のことです。GEMインターフェースでイベントレポートをトリガーするように設定することで、ホストシステムに通知することができます。

    SECS/GEMメッセージの種類とは何ですか?

    一般的なメッセージの種類は以下のとおりです。

    • S1F1/S1F2:機器の状態要求と応答。
    • S2F13/S2F14: データ収集計画の定義。
    • S5F1/S5F2:警報が報告されました。
    • S2F41/S2F42: リモートコマンドと応答。

    SECS/GEMで複数の機器を扱うにはどうすればよいですか?

    複数の機器を管理するには、以下の方法があります。

    各機器に固有のIDを付与する。
    SECS/GEM接続を同時に処理できる集中型ホストシステムを使用する。
    通信チャネルの設定(例:HSMS専用のTCP/IPポートの設定)。

    SECS/GEMへの準拠を確実にするにはどうすればよいでしょうか?

    次の手順に従います。

    • 実装時には、SECS/GEM規格(SEMI E30、E37、E4)を使用してください。
    • SECS/GEM準拠ツールまたはシミュレーターを使用してテストしてください。
    • ホストシステムとの互換性を確認してください。

    SECS/GEMの活用事例にはどのようなものがありますか?

    • データ収集:温度や圧力などの生産指標を監視する。
    • アラーム処理:オペレーターにエラーや警告を通知する。
    • レシピ管理:プロセス制御のためのレシピのアップロードまたはダウンロード。
    • リモートコントロール:機器の起動、一時停止、停止を行います。

    SECS/GEMの接続問題のトラブルシューティング方法

    トラブルシューティングの手順:

    物理的な接続(ケーブル、ポート、ネットワーク設定)を確認してください。
    プロトコル構成(SECS-Iの場合はRS-232、HSMSの場合はTCP/IP)を確認してください。
    エラー分析には、SECS/GEMのログツールを使用してください。
    ホストと機器の両方が通信用に適切に設定されていることを確認してください。

    SECS/GEMは自動化においてどのように活用されていますか?

    SECS/GEMは、以下の方法で自動製造を可能にします。

    • ホストシステムからプロセスを開始または停止するためのコマンドを送信する。
    • 生産データを自動的に収集・分析する。
    • 工場における設備稼働の同期化。

    SECS/GEMのメリットは何ですか?

    主な利点は次のとおりです。

    • 多様な機器間での標準化された通信。
    • 自動化による製造効率の向上。
    • 品質保証を向上させるための監視および管理の強化。
    • リアルタイムのエラー検出により、ダウンタイムを削減します。

    SECS-IとHSMSの違いは何ですか?

    SECS-I:RS-232シリアル通信を使用し、速度は遅いものの、旧式のシステムに適しています。
    HSMS:イーサネット上でTCP/IPを使用するため、高速で、データ需要の高い最新のシステムに適しています。

    SECS/GEM SDK
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