半導体製造装置OEM
ウェハー製造装置メーカー
AMHSインテグレーター
既存設備のアップグレードプロジェクト
新しいツール開発チーム
半導体工場
SEMI E84規格に完全準拠
プラグアンドプレイ対応のE84ソフトウェア&SDK
AMHSの統合加速
信頼性の高いOHT、AGV、RGV通信
新規機器および旧型機器のサポート
開発時間とコストの削減
装置と製造工場間の接続性の向上
半導体OEMおよび製造工場から信頼されています
EIGEMEquipment-E84は、半導体製造装置メーカーおよびファブ向けにAMHS(自動搬送システム)の統合を簡素化するために設計された、SEMI E84規格に準拠したソフトウェアおよびSDKソリューションです。装置のロードポートとOHT、AGV、RGVシステム間の信頼性の高い通信を可能にし、安全かつ効率的な搬送を実現します。
新しい機器を開発する場合でも、既存のツールをアップグレードする場合でも、EIGEMEquipment-E84はE84の実装を加速し、開発作業を削減し、SEMI E84への準拠をより迅速に達成するのに役立ちます。
半導体製造環境における導入実績を持つこのソリューションは、シームレスなロードポート通信、AMHS接続、および規格に準拠したマテリアルハンドリング自動化をサポートします。
信号定義、タイミングシーケンス、ロードポート通信要件など、SEMI E84キャリアハンドオフ通信を完全に実装します。
実績のあるSDKと統合フレームワークにより、新規および既存の半導体製造装置におけるE84の実装を加速します。
旧型の機器が、大規模なソフトウェアの再設計を行うことなく、最新のAMHS、OHT、AGV、およびRGVシステムと通信できるようにします。
Windows、Linux、Android環境をサポートし、C#.NET、C++、Java用のAPIを提供します。
内蔵された監視および復旧メカニズムは、通信事業者の転送障害を低減し、運用信頼性を向上させるのに役立ちます。
半導体製造工場で使用される自動マテリアルハンドリングシステムとのシームレスな通信を実現します。
高スループット製造環境向けに、複数のロードポートとキャリア転送ワークフローをサポートします。
世界中の半導体製造施設およびOEM機器に導入され、成功を収めています。
迅速な導入と検証のために設計された、実績のあるSEMI E84ソフトウェアおよびSDKフレームワークを活用することで、開発作業を軽減できます。
機器のロードポートと、OHT、AGV、RGVなどのAMHSシステムとの間で、シームレスな通信を実現します。
E84通信を、新規機器プラットフォームと、近代化が必要な既存機器の両方に導入する。
SECS/GEM、GEM300、ホスト、MES環境とシームレスに統合し、半導体製造のエンドツーエンドの自動化を実現します。
SEMI E84-0823(最新技術改訂版)
高速並列I/O、ホスト側監視用のTCP/IP
業界標準のセンサー(北洋など)およびDB25コネクタインターフェースに対応
製造現場での迅速なデバッグのためのリアルタイム信号遷移ロガーと状態機械可視化ツール
C#.NET、C++、Java
Windows、Linux、Android
高性能半導体自動化向けに設計された、E84規格準拠のソリューションにより、機器間のシームレスな通信と信頼性の高い搬送処理を実現します。
当社の専門家にご相談いただき、OEMおよびFAB/ATPに関するご要望をお聞かせください。お客様の業務に最適なソリューションをご提案いたします。
EIGEMEquipment-E84は、自動マテリアルハンドリングに関するSEMI E84規格を実装した、完全なE84 SDKおよび統合サービスプラットフォームです。新しい半導体製造装置を開発するOEM企業や、既存の装置をAMHS/OHTに対応させるファブマネージャーにとって、このプラットフォームは大きなメリットとなります。数ヶ月に及ぶカスタムプロトコルの作業が不要になり、300mmおよび200mmファブにおけるSEMI規格への準拠と信頼性の高いマテリアル移送が保証されます。
はい。特許取得済みの技術により、旧型の機器でも柔軟なE84 SDKと統合サービスを介して最新のAMHS/OHTシステムと通信できます。ソフトウェアのみの統合、またはハードウェアとソフトウェアのフルパッケージ(PIOインターフェース、センサー、I/Oボックス)など、様々なオプションをご用意しており、機器を交換することなく投資対効果(ROI)を向上させることができます。
ソフトウェアのみを提供するベンダーとは異なり、EIGEMEquipment-E84はハードウェアとソフトウェアの相乗効果を実現します。PIOハードウェアインターフェース、センサー、I/Oボックス、そしてリアルタイムモニタリング用の診断ソフトウェアが一体化されています。超軽量のファブオートメーションソフトウェアは、CPUとメモリの使用量を最小限に抑えるように最適化されており、EIGEM300およびEIGEMBoxと統合することで、GEM300とSECS/GEMへの準拠を統一的に実現します。
E84 SDKと統合サービスを利用することで、社内開発と比較して統合時間を最大70%短縮でき、プラグアンドプレイによる統合と工場受け入れテストおよび生産準備の迅速化により、数か月の時間を節約できます。
EIGEMEquipment-E84は、Windows、Linux、Androidをサポートし、C#.NET、C++、Java用のネイティブAPIを提供することで、多様な機器アーキテクチャにわたる一貫したマルチプラットフォーム/マルチ言語統合を実現します。
このパッケージには、DB25コネクタインターフェースを備えたPIO(パラレルI/O)ハードウェア、キャリア検出用の業界標準センサー(北洋電機など)、信号管理用のI/Oボックス、およびリアルタイム監視用の診断ソフトウェアが含まれています。
EIGEMEquipment-E84は、包括的な統合および生産サポートを提供します。リアルタイム信号遷移ロガー、製造現場での迅速なデバッグを可能にするステートマシンビジュアライザー、専用の統合サポート、そして安定した生産準備完了の運用と長期的なパフォーマンスを実現するための継続的な専門家によるガイダンスが含まれます。