MES、トレーサビリティ、インダストリー4.0に対応したレガシー機器のデジタル化を最速で実現する方法
SEMI E30、E37、E5、E4、E23、E39、E40、E84、E87、E90、E94、E116に完全準拠。
設備アップグレード費用を数百万ドル節約できます。
ダウンタイムは最小限で済みます。数週間にわたって、機器の停止時間はわずか数時間程度で済みます。
エンジニアリング時間を大幅に節約できます。設備に変更がないため、レシピの再検証は不要です。
遠隔診断を可能にし、毎年数百時間ものエンジニアリング時間を節約します。
追加のソフトウェアライセンス費用を数千ドル節約できます。装置画面からウェハマップやその他のチャートを自動保存します。
OEE（総合設備効率）とE10に基づくリアルタイム設備性能可視化機能でさらに強化
AMS（SECS/GEM駆動型インテリジェントアラーム管理および自動化）により機能が強化されました。
80以上のFABおよびOSAT設備に正常に導入されました。
設備一覧（一部） - FAB
- KLAサーフスキャン
- バリアン3290
- 高取
- 荏原
- プラズマサーモ
- MRCエクリプス
- KLAサーマウェーブ
- Sidea PT-903
- CDE Resmap
- Accretech PG300RM
- TEL Alpha 8 SE
- ASM E2000
- SPTS
- 日立M-511AE
組立・梱包用機器一覧（一部）
- ディスコ 651/641
- ブルーMオーブン
- トワ Y1
- Asterion
- ブダテック
- オルソダイン
- エッセンテック・フォックス＆パラグダ
- 高取ATM 8200A
- ASM AD898
- イスメカSL
- ヘキサマックス
- セントロサーム CP6202
SECS/GEM、Modbus、OPCの統合（機器の変更なし）
EIGEMBoxは、ソフトウェアやハードウェアをツール自体にインストールすることなく、従来の半導体製造装置にSECS/GEM、Modbus、またはOPC機能を追加するプラグアンドプレイソリューションです。装置のディスプレイケーブル（VGA、DVI、またはHDMI）と、オプションでキーボード/マウスポート（USBまたはPS/2）を接続するだけで、EIGEMBoxはホストとの完全な通信とリモート制御を可能にします。完全なパラメータ交換とレイテンシの低減によるSECS/GEM通信の強化、AMHS（E84/E87200MMファブへの統合、および従来を超えた非標準データの抽出 SECS/GEMの制限 高度な監視と自動化をサポートするため。
今回さらに強化されました OEE（総合設備効率） & AMS（警報管理システム）
リアルタイムのOEE分析とスマートアラーム制御により、機器の性能を最大限に引き出します。
2026年自動化コンプライアンスに関する注記： EIGEMBoxは、最新のハイスループット製造をサポートするために完全に最適化されており、内部ソフトウェアの変更なしに、SEMI E84、E87規格に即座に準拠する必要のある従来型ツールとのダウンタイムゼロの統合を実現します。
既存ツールをSECS/GEMおよびGEM300に完全準拠するようにアップグレードする
SECS/GEMおよびGEM300準拠により既存機器をアップグレードし、半導体製造装置を最新化し、シームレスな工場自動化と機器接続を実現します。
EIGEMBoxがSECS/GEMの統合をいかに簡素化し、スマートファクトリーの導入を加速させるかをご覧ください。
ケーススタディ
世界最大級のOSAT（外部受託製造サービス）企業で、納期遵守目標の達成を支援する。
大手OSATにおいて、SECS/GEMへの完全準拠、生産性の倍増、レシピエラーの排除などにより、納期厳守を実現しました。
技術相談のスケジュール
当社の専門家にご相談いただき、OEMおよびFAB/ATPに関するご要望をお聞かせください。お客様の業務に最適なソリューションをご提案いたします。
ホワイトペーパー
次世代製造業向けAI/MLを活用した予測分析とスマート故障検出
EinnosysのAI/MLベースの予測保守およびスマート障害対応フレームワークであるxPumpで、スマートファクトリーオートメーションの未来を切り拓きましょう。
関連製品およびサービス
よくある質問。
EIGEMBoxとは何ですか？
EIGEMBoxは、半導体製造装置やFPD（フラットパネルディスプレイ）装置を工場ホストシステムとシームレスに接続できる、プラグアンドプレイ方式のSECS/GEM通信ハードウェアおよびソフトウェアソリューションです。
EIGEMBoxはどのSEMI規格をサポートしていますか？
EIGEMBoxはSEMI E30、E37、E5、およびE4規格を完全にサポートしており、機器とホスト間の信頼性の高い通信のために、GEMおよびSECS-II規格への完全な準拠を保証します。
EIGEMBoxは、旧型機器やレガシー機器と統合できますか？
はい。EIGEMBoxは、SECS/GEM通信機能を内蔵していない旧型のツールを後付けで対応させ、最新の工場自動化要件を満たすことができるように設計されています。
EIGEMBoxはGEM300または300mm機器と互換性がありますか？
はい。EIGEMBoxは、300mmウェハハンドリングシステム向けのSEMI E87、E90、E94、E116などのGEM300通信規格をサポートするように構成できます。
SECS/GEM通信にEIGEMBoxを使用するメリットは何ですか？
EIGEMBoxは、統合を簡素化し、SECS/GEM準拠を加速させ、開発時間を短縮し、世界中のティア1半導体製造工場との安定した信頼性の高いホスト通信を保証します。
eInnoSysはEIGEMBoxのサポートおよびインストールサービスを提供していますか？
はい。eInnoSysは、お客様の機器がSECS/GEMの準拠要件を満たすよう、導入、テスト、認証に関する包括的なサポートを提供します。
EIGEMBoxはOHT、AGV、またはRGVシステムと接続できますか？
はい。EIGEMBoxはE84 I/Oモジュールと組み合わせることで、OHT、AGV、RGVなどのマテリアルハンドリングシステムとの通信を可能にし、自動ロット配送を実現します。
EIGEMBoxは、私の機器にソフトウェアをインストールする必要がありますか？
いいえ。EIGEMBoxは完全なプラグアンドプレイ方式で、機器本体へのソフトウェアやハードウェアのインストールは一切不要です。ディスプレイ出力（VGA/DVI/HDMI）に接続するだけで、必要に応じてキーボードとマウスのポートにも接続できます。機器のコントローラーは一切変更されず、ファームウェアのアップデート、ドライバー、ソフトウェアエージェントなども必要なく、設計どおりに動作し続けます。
EIGEMBoxは、機器の動作速度低下やクラッシュなどの副作用を引き起こす可能性がありますか？
いいえ。EIGEMBoxは機器コントローラには一切触れず、外部ディスプレイと入力ポートのみを介して接続します。そのため、副作用、クラッシュ、パフォーマンスへの影響、タイミングの問題、機器の通常動作への干渉は一切発生しません。ツールはこれまでと全く同じように動作します。
EIGEMBoxはどのような種類の機器に対応できますか？
EIGEMBoxは、メーカー、製造年、オペレーティングシステムに関わらず、ディスプレイ出力を備えたほぼすべての半導体製造装置に対応しています。計測機器（KLA、Therma-wave）、成膜装置（ASM、MRC）、エッチング装置（Plasma-Therm、SPTS）、イオン注入装置（Varian）、材料搬送システム（Takatori）など、世界中で80種類以上の装置に導入されています。DOS、Windows 3.1、Linux、Solaris、または独自システムで動作する装置も完全にサポートされています。
機器製造元（OEM）からの許可やサポートは必要ですか？
いいえ。EIGEMBoxは、OEMライセンス、アップグレードキット、サポート契約、許可などを一切必要としません。これは、製造元が合併、買収、または既に存在しないツールにとって特に大きなメリットとなります。OEMに依存することなく、統合と展開を完全に制御できます。
インストールとセットアップにはどれくらい時間がかかりますか?
物理的な設置には、ツールの複雑さによって数時間かかります。簡単なビデオ接続と、オプションでキーボード/マウス接続が必要です。EIGEMBoxのWebインターフェースを介した初期設定には、機器の複雑さやデータ要件に応じて、通常数時間から1～2日かかります。ほとんどのお客様は、数ヶ月ではなく数日以内にリアルタイムデータの収集とMESとの通信を開始できます。