半導体製造工場が過去の警報データ分析を活用して、CMPプロセスで繰り返し発生する警報を排除できた経緯

大手半導体製造工場は、従来の警報システムに履歴分析機能が欠けていたため、CMPプロセスで繰り返し発生する警報の検証に苦慮していました。そこで、eInnoSysの警報管理システム（AMS）を導入したところ、エンジニアは過去の警報傾向を分析し、単一装置における繰り返し発生するプロセス変動を特定し、レシピ変更の承認を得ることができました。さらに、データに基づいた意思決定により、午後に繰り返し発生していた警報の急増を解消することに成功しました。

主な結果

• 根本原因分析が80%高速化
• 繰り返し発生するプロセスアラームを50%削減
• 100% 過去のアラーム表示
• データに基づいたエンジニアリングの意思決定が90%増加
• プロセスレシピ変更の承認を迅速化