半導体製造向け集中型レシピ管理
レシピの実行ミスを防ぎ、収率を維持し、コストのかかるミスを回避します。
すべてのツールにわたるレシピの一元管理により、製造工場全体で一貫性を確保します。
完全なトレーサビリティと監査ログにより、コンプライアンスと品質チェックが簡素化されます。
オペレーターへの依存度を低減し、手動選択のリスクを排除します。
不良品や手直しを削減し、生産効率全体を向上させる。
プロセスを標準化し、シフトや拠点を問わず、一貫した業務遂行を維持する。
半導体製造工場およびATM/OSAT向けレシピ管理システム
EIRMSは、製造工場やATM施設における歩留まり、エンジニアリング効率、OEE（総合設備効率）、サイクルタイムの改善を支援する、包括的な製造レシピ管理ソフトウェアです。
バージョン管理を含む機器レシピの完全な制御が可能になり、 ゴールデンレシピのサポートEIRMSは、SECS/GEM対応機器とシームレスに統合し、SECS/GEM非対応機器向けにカスタマイズすることも可能で、すべての生産ラインで一貫したレシピ実行とコンプライアンスを保証します。
レシピ管理システム（EIRMS）のワークフロー
システム統合
EIRMSは以下とシームレスに統合されます。
- SECS/GEM対応機器
- 工場ホストシステム
- MES環境
- 集中型生産管理プラットフォーム
SECS/GEM以外のツール向けには、完全な柔軟性を確保するためのカスタムソリューションをご用意しています。
サポートされているツールセット
EIRMSは、以下を含む様々な半導体ツールセットをサポートしています。
- キヤノン i5+、i5、i4 ステッピングモーター
- マトリックスシステムワン ドライエッチング
- SPECウェットベンチ
- IVSオーバーレイ計測
- ウルトラテックのウェハ測定
展開
EIRMSは以下をサポートします：
- SECS/GEM通信
- 中央集中型レシピサーバー
- バージョン管理
- 企業レベルの運用
小規模施設から大規模施設まで対応可能です。
| 機能 | マニュアル | EIRMS |
|---|---|---|
| バージョン管理 | ❌ | ✅ |
| 承認ワークフロー | ❌ | ✅ |
| 監査証跡 | ❌ | ✅ |
| SECS/GEM統合 | ❌ | ✅ |
| 中央リポジトリ | ❌ | ✅ |
| マルチツールサポート | ❌ | ✅ |
なぜアインノシスを選ぶのか？
EIRMSは、半導体自動化およびソフトウェアのスペシャリストであり、以下の分野で専門知識を持つEinnosysによって開発されました。
- SECS/GEM統合
- ファクトリーオートメーション
- スマート製造ソリューション
- 先進製造システム
Einnosysは、半導体製造工場（ファブ）およびATM環境向けにカスタマイズされた、信頼性が高く拡張性に優れた半導体レシピ管理ソフトウェアソリューションを提供します。
ユースケースとアプリケーション
半導体製造
製造装置をMESシステムに接続し、200mm/300mm規格への準拠を可能にし、高度なプロセス制御イニシアチブをサポートします。
スマートファクトリーの統合
既存の設備と最新のインダストリー4.0プラットフォーム、IoTシステム、クラウドベースの分析機能を連携させます。
製造実行システム (MES)
製造現場の設備と企業向けMESプラットフォーム間のシームレスなデータフローを実現します。
産業自動化
PLC、SCADAシステム、および産業用コントローラをSECS/GEMホストシステムと統合します。
マルチベンダー環境
異なるメーカーの異なるプロトコルを使用している機器間で、統一された通信を実現する。
クラウド & エッジ コンピューティング
高度な分析を実現するために、産業機器をクラウドプラットフォームやエッジコンピューティングインフラストラクチャに接続します。
ケーススタディ
人為的ミスを排除する：自動バージョン管理によるレシピ管理の標準化
バックエンド業務において、手動データ入力エラーやレシピバージョンの不一致により、生産性が低下していませんか？当社のソリューションで、その解決策をご覧ください…
歩留まり、エンジニアリング効率、OEE（総合設備効率）の向上をお考えですか？
半導体製造工場およびATM向けの中央集権型でコンプライアンスに準拠したレシピ管理システムであるEIRMSを導入します。
ホワイトペーパー
次世代製造業向けAI/MLを活用した予測分析とスマート故障検出
EinnosysのAI/MLベースの予測保守およびスマート障害対応フレームワークであるxPumpで、スマートファクトリーオートメーションの未来を切り拓きましょう。
関連製品およびサービス
よくある質問。
レシピ管理システムとは何ですか？
レシピ管理システムは、半導体製造で使用されるレシピを管理、監視し、その正確性を確保するために設計されたツールです。これにより、半導体製造工場（ファブ）やATM（組立、テスト、パッケージング）施設における歩留まり、OEE（総合設備効率）、およびエンジニアリング効率の向上を支援します。
レシピ管理システムは、どのように収量と効率を向上させるのでしょうか？
生産ロットが常に正しいバージョンのレシピで実行されるようにすることで、システムはエラーを減らし、機械の性能を最適化し、ダウンタイムを最小限に抑えます。
レシピ管理システムはすべての機器に対応していますか？
はい、SECS/GEM機能を搭載した機器であればどれでも動作します。SECS/GEM機能を搭載していない機器向けに、カスタムソリューションを開発することも可能です。
SECS/GEMとは何ですか？また、レシピ管理システムにとってなぜ重要なのでしょうか？
SECS（SEMI Equipment Communication Standard）とGEM（Generic Equipment Model）は、製造装置とホストシステム間のシームレスな通信を可能にするプロトコルです。これらのプロトコルは、自動化と効率的なレシピ管理に不可欠です。
レシピ管理システムは、どのようにしてレシピの正確性を保証するのですか？
これは、レシピのバージョンを製造ロットの要件と照合し、常に正しいレシピが使用されることを保証することで、人為的ミスのリスクを低減します。
このシステムは、製造工場内の複数の種類の機器に対応できますか？
はい、このシステムはあらゆる種類の機器に対応するように設計されており、レシピ管理プロセスを一元化して効率化します。
このシステムはどのようにしてエンジニアリング時間を節約するのですか？
レシピの更新、検証、バージョン管理を自動化することで、このシステムは、手作業による調整や監視に費やされるはずだった数週間分のエンジニアリング時間を年間で節約します。
レシピ管理システムはどのようなデータを収集しますか？
RMSは、特定のバージョンと更新日を持つすべてのレシピ、およびバージョンをアップロードまたはダウンロードしたユーザーなどのデータを収集します。
このシステムは、既存のMES、ファクトリーホスト、またはステーションコントローラーと統合できますか？
はい、レシピ管理システムはMES、factoryHost、またはStationControllerと統合することができ、製造プロセス全体にわたってシームレスな運用とデータフローを確保できます。
このシステムは、大規模な製造工場や複数拠点での操業にも対応できる拡張性を備えていますか？
もちろんです。このシステムは、大規模かつ複数拠点での運用に対応できるように設計されており、すべての拠点で一貫したレシピ管理を保証します。
レシピ管理システムを導入するメリットは何ですか？
主なメリットとしては、歩留まりの向上、サイクルタイムの短縮、OEE（総合設備効率）の向上、レシピ実行の一貫性、人的ミスの削減、そしてエンジニアリングチームの大幅な時間短縮などが挙げられます。
システムはレシピのバージョン管理をどのように処理しますか？
このシステムはすべてのレシピのバージョン履歴を保持し、承認されたバージョンのみが本番環境にデプロイされるようにするとともに、更新内容を追跡・記録します。
レシピ管理システムはどのように導入されますか？
導入には、システムを製造工場の設備やホストシステムと統合すること、レシピを設定すること、そしてオペレーターやエンジニアにその使用方法をトレーニングすることが含まれます。
このシステムはリアルタイム監視を提供できますか？
はい、レシピの実行状況と機器の状態をリアルタイムで監視し、スムーズな運用を保証します。
レシピ管理システムは、どのような業界にメリットをもたらすでしょうか？
主に半導体製造で使用されますが、医薬品や電子機器組立など、精密なレシピやプロセス制御を必要とする他の産業にも役立ちます。