歩留まり改善ソリューション｜ファブの生産性を迅速に向上

ソリューションの概要

半導体製造における歩留まり改善ソリューション

eInnoSysは、半導体製造向けに高度な歩留まり改善ソリューションを提供し、生産プロセスの最適化、加工ミスの削減、製品品質の向上を実現します。当社の歩留まり改善戦略は、自動化、データ相関、インテリジェントなプロセス制御を組み合わせることで、測定可能な製造改善効果をもたらします。

歩留まり向上のための当社のソフトウェアソリューション

EIGEMBox経由で旧型/レガシー機器にSECS/GEMを追加する

特許出願中の製品EIGEMBoxを使用することで、既存または旧式の機器にSECS/GEM自動化機能を追加できます。これにより、これまで通信機能を備えていなかった機器でも、自動化とプロセスデータ収集が可能になります。

EIGEMBox経由で旧型/レガシー機器にSECS/GEMを追加する

Advanced Process Control（APC）

Advanced Process Control（APC）

eInnoSysは、数十年にわたる半導体製造および組立業務の経験に基づき、計測データを収集・分析し、プロセスレシピとパラメータを自動的に調整して半導体歩留まりを向上させる高度なプロセス制御ソリューションを開発しました。

故障検出・分類（FDC）

eInnoSysは、複数の製造工場において、プロセス異常を特定し歩留まり損失を防止するための複数の故障検出・分類プロジェクトを成功裏に実施してきました。

故障検出・分類（FDC）

業界の課題

私たちが解決する業界の課題

半導体製造施設では、歩留まりに関連する課題に直面することが多い。

ウェーハの不適切な処理
プロセスデータへの可視性が限られている
旧式機器における自動化の欠如
エンドツーエンドのウェハーデータの相関付けが困難
手動レシピ選択エラー
一貫性のないプロセス管理
機器アラーム監視の課題
品質と歩留まりの損失

ソリューションカテゴリ／ユースケースベースのソリューション

収益管理ソリューション

ロットボックスのバーコードまたはRFIDスキャンを使用してレシピをダウンロードまたは選択し、プロセスをリモートで開始するホストアプリケーションまたはステーションコントローラ
SECS/GEMまたはその他の統合方法を介して、機器からのアラーム、イベント、および重要なプロセスパラメータを収集および分析する。
機器データとMESおよびその他の機器データの相関関係
エピタキシャルプロセスから最終テストまでのエンドツーエンドのウェーハデータ相関
歩留まり向上のための計測データのフィードバックおよびフィードフォワード統合をプロセス機器に行う。

当社のソフトウェアソリューションにおける主な特長

SECS/GEMオートメーション統合

01

計測データの収集と分析

02

エンドツーエンドのウェハーデータ相関

03

レシピ管理の自動化

04

故障検出および分類監視

05

バーコードおよびRFIDベースのロット追跡

06

アラームおよびイベント監視

07

MES統合機能

08

収量改善の主なメリット

半導体歩留まりの向上

プロセスのばらつきと処理ミスを減らす。

製造エラーを削減する

レシピの選択と工程管理を自動化する。

プロセスの可視性を向上させる

装置およびウェハーレベルのデータに関する包括的な情報を得ることができます。

レガシー機器の自動化を有効にする

EIGEMBoxを通じて自動化機能を追加する。

運用コストを削減する

生産効率を向上させ、無駄を削減する。

品質と信頼性の向上

安定した製造実績を実現する。

Industries We Serve

半導体製造

ウェハー製造工場

組立、試験、梱包設備

エレクトロニクス製造

当社のコア専門知識

セキュリティ&コンプライアンス

役割ベースのアクセス制御
安全な機器データ通信
信頼性の高いアラームおよびイベント追跡
データロギングおよび監査機能
産業オートメーションのコンプライアンスサポート

統合機能

MESシステム
SECS/GEM対応機器
EIGEMBoxを通じたレガシー機器
計測ツール
工場自動化プラットフォーム

実装および展開プロセス

01

歩留まり分析と要件調査

02

ソリューション設計およびアーキテクチャ開発

03

自動化とソフトウェア導入

04

機器およびMESとの統合

05

テストと検証

06

展開と最適化

07

継続的なサポートと機能強化

テクノロジー＆専門性

EInnoSysは半導体分野における深い専門知識を提供します。
配合工業用化学製品の

SECS/GEMおよび工場自動化に関する専門知識
高度なプロセス制御開発
故障検出・分類システム
収量データ分析と相関関係
スマート製造自動化
半導体歩留まり戦略の実施

システムアーキテクチャ / 技術的アプローチ

当社の歩留まり改善ソリューションアーキテクチャは、

SECS/GEMを使用した機器からのデータ収集
MESおよび製造システムとの統合
計測データの分析と相関関係
自動化されたプロセス制御とレシピの最適化
フィードバックおよびフィードフォワード自動化戦略

サポート＆メンテナンス

EInnoSysは、ライフサイクル全体にわたるサポートを提供します。

テクニカルサポート
ソフトウェアアップデート
パフォーマンス監視
自動化の最適化
トレーニングとドキュメント

eInnoSysの自動化ソリューションで半導体歩留まりを向上させる

高度な歩留まり改善技術により、製造効率を高め、歩留まり損失を削減し、プロセス制御を最適化します。

技術相談をリクエストする

ケーススタディ

eInnoSysを選ぶ理由

数十年にわたる半導体製造の経験

実績のある収益改善戦略

高度な自動化およびデータ分析の専門知識

特許出願中の自動化製品

カスタムソフトウェアおよび統合機能

無料技術相談のご予約はこちら

当社の専門家にご相談いただき、OEMおよびFAB/ATPに関するご要望をお聞かせください。お客様の業務に最適なソリューションをご提案いたします。

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業界の洞察

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よくある質問（FAQ）

半導体歩留まり改善とは何ですか？

製造業における歩留まり改善は、生産工程を最適化して不良品を減らし、生産品質を向上させることに重点を置いている。

歩留まり改善ソリューションは、既存設備でも有効ですか？

はい、EIGEMBoxは、従来型の半導体製造装置からの自動化とデータ収集を可能にします。

エンドツーエンドのウェハーデータ分析をサポートしていますか？

はい、eInnoSysのソリューションは、エピタキシャルプロセスから最終テストまでのウェハーデータを関連付けます。

貴社のソリューションはMESと連携できますか？

はい、当社のソリューションはMESおよび工場自動化システムの統合をサポートしています。