故障検出・分類（FDC）｜SECS/GEM Fab Automation

半導体および製造業向け高度故障検出・分類ソリューション

故障検出と分類

eInnoSys 故障検出・分類（FDC）システム機器センサーデータを継続的に監視し、プロセス挙動を分析し、異常をリアルタイムで検出します。当社の故障検出・分類ソフトウェアは、製造業者が歩留まり損失を防ぎ、サイクルタイムを短縮し、機器全体の効率を向上させることを可能にします。

リアルタイム故障検出および分類
半導体FDCシステム
高度なFDCプロセス監視
製造装置の故障検出

ソリューションの概要

故障検出・分類（FDC）各種機器から送られてくるセンサーデータを継続的に監視・分析し、ユーザー定義の制限値を適用してプロセス異常を検出します。故障検出・分類システムにより、エンジニアは特定のパラメータが制御不能（OOC）になった場合に実行すべきアクションを設定できます。システムは、生産損失を防ぐために、ユーザー定義のアクションを自動的に実行します。

工程逸脱は、装置部品の劣化、工程上の問題、あるいは前工程におけるウェハー／ダイの不具合などが原因で発生する可能性があります。これらの不具合を早期に検出することで、製造工場や組立／試験施設は、歩留まり、サイクルタイム、OEE（総合設備効率）、および装置稼働率を向上させることができます。

eInnoSysは、複数の製造工場および製造環境において、複数の故障検出・分類ソリューションの導入に成功している。

当社のソフトウェアソリューション：障害検出・分類（FDC）

スマート製造向け故障検出・分類ソフトウェア

当社の高度な故障検出・分類ソフトウェアは、半導体製造工場、組立・試験施設、およびリアルタイムのプロセス監視を必要とする製造工場向けに設計されています。

主な機能は次のとおりです。

連続的な FDCプロセスモニタリング
半導体製造装置の故障検出
自動プロセス逸脱検出
リアルタイム機器状態監視
AIを活用した故障検出と分類
ウェーハ製造工程における欠陥検出
半導体歩留まり改善FDC

スマート製造向け故障検出・分類ソフトウェア

業界の課題

私たちが解決する業界の課題

製造業者は、以下のような複数の運用上の課題に直面しています。

半導体プロセスモニタリングの複雑性
予期せぬ機器の故障
工程逸脱による歩留まり損失
故障の根本原因を特定するのが難しい
リアルタイム監視の可視性は限定的です
ダウンタイムとメンテナンスコストの増加

当社の半導体 FDCシステム インテリジェントで自動化された監視機能を提供することで、これらの課題を解決します。

ソリューションカテゴリ／ユースケースベースのソリューション

半導体製造 :

製造工程における不具合検出
ウェハ製造における欠陥検出
半導体製造装置のモニタリング

組立・試験設備：

リアルタイムプロセス監視
機器パフォーマンス監視
自動故障警報分類

工業製造業 :

製造装置の故障検出
予測故障検出製造
スマート製造における故障監視

当社のソフトウェアソリューションにおける主な特長

リアルタイム故障検出および分類

01

ユーザー定義のOOCルールとアラーム

02

自動是正措置トリガー

03

マルチセンサーデータモニタリング

04

高度な障害解析

05

機器性能追跡

06

履歴データ分析

07

履歴データ分析

08

主なメリット

半導体歩留まりの向上

機器のダウンタイムの削減

OEE（総合設備効率）の向上

より迅速な根本原因分析

メンテナンスコストの削減

生産サイクルタイムの改善

機器の信頼性の向上

Industries We Serve

半導体製造

エレクトロニクス製造

組立・梱包施設

工業生産

OEM機器メーカー

セキュリティ&コンプライアンス

安全なデータ通信
アクセス制御管理
データ整合性監視
業界標準への準拠

統合機能

MESシステム
SCADAプラットフォーム
機器インターフェース
SECS/GEMコミュニケーション
データ分析プラットフォーム
ERPシステム

実装および展開プロセス

01

要件分析

02

システム設計と構成

03

統合と展開

04

テストと最適化

05

トレーニングと運用開始サポート

テクノロジー＆専門性

eInnoSysは、半導体分野における深い専門知識と最新のソフトウェアエンジニアリング技術を活用し、高度な故障検出および分類ソリューションを提供します。

私たちのチームは、

半導体プロセスモニタリング
AIとデータ駆動型故障検出
製造解析
機器パフォーマンス監視
予知保全技術

システムアーキテクチャの技術的アプローチ

当社の故障検出・分類システムのアーキテクチャには以下が含まれます。

リアルタイムセンサーデータ収集
データ分析エンジン
ルールベースおよびAI駆動型障害検出
アラームと通知の管理
レポートと視覚化ダッシュボード
ユーザー定義の自動アクション実行

歩留まりの向上、ダウンタイムの削減、機器性能の最適化

eInnoSysと提携して、お客様の製造環境に合わせた高度な故障検出・分類ソリューションを導入しましょう。

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よくある質問（FAQ）

故障検出と分類とは何ですか？

故障検出および分類機能は、機器のセンサーデータを監視し、異常を検出し、自動的に是正措置を実行します。

FDCはどのようにして半導体の歩留まりを向上させるのか？

FDCは、プロセス異常を早期に特定することで、不良ウェハーの製造を防ぎ、歩留まりの低下を低減します。

FDCは既存の工場システムと統合できますか？

はい、eInnoSys FDCはMES、SCADA、およびSECS/GEM機器のインターフェースと統合されています。

FDCはリアルタイム監視に適していますか？

はい、当社のシステムはリアルタイムの故障検出と分類に対応しています。