EIAMS – Einnosys社によるファブ向け高度アラーム管理システム
EIAMSは、einnosys社が提供する半導体向けアラーム管理システムです。装置によって生成されたアラームを追跡し、同種の他の装置と比較できるだけでなく、アラーム発生時にユーザー定義のアクションを自動的に実行することで、歩留まり、サイクルタイム、OEE、MTTR(平均応答時間)の向上を実現します。
EIAMSは、半導体製造環境におけるリアルタイムアラーム管理のために設計された、強力な半導体アラーム管理ソフトウェアです。
- リアルタイムアラーム監視
- 機器の比較と分析
- 自動応答アクション
- 生産効率の向上