EIAMS – Einnosys社によるファブ向け高度アラーム管理システム

EIAMSは、einnosys社が提供する半導体向けアラーム管理システムです。装置によって生成されたアラームを追跡し、同種の他の装置と比較できるだけでなく、アラーム発生時にユーザー定義のアクションを自動的に実行することで、歩留まり、サイクルタイム、OEE、MTTR(平均応答時間)の向上を実現します。

EIAMSは、半導体製造環境におけるリアルタイムアラーム管理のために設計された、強力な半導体アラーム管理ソフトウェアです。

  • リアルタイムアラーム監視
  • 機器の比較と分析
  • 自動応答アクション
  • 生産効率の向上

警報管理システムソリューション

半導体製造警報システム

  • アラームへの自動応答 – 手動操作なしで、機器を即座に停止、一時停止、または制御します。
  • 反応時間を短縮する ― 迅速な対応により問題の悪化を防ぐ。
  • 運用上の安全性を向上させ、重要なアラームが常に適切なアクションをトリガーすることを保証します。
  • アラーム発生頻度分析 – 繰り返し発生する問題や影響の大きい問題領域を特定します。
  • アラームによるダウンタイム追跡 – どのアラームが最も生産損失を引き起こしているかを把握します。
  • データに基づいた意思決定 – 実際の警報データに基づいて改善策の優先順位を決定する。
  • 人為的ミスを削減し、危機的な状況下での手動対応への依存を排除​​します。
アラーム管理

主な機能と利点

装置へのウェハー入力を停止する

問題の調査または解決中は、それ以上の処理を避けるため、追加のウェハーが装置に投入されないようにしてください。

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工場担当者に通知する

関係するエンジニア、オペレーター、または保守チームに自動的にアラートを送信し、迅速な対応と是正措置を講じられるようにします。

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機器をメンテナンスモードに切り替える

機器を定期または臨時のメンテナンスに移動させ、検出された問題を安全に点検、診断、修理します。

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エンジニアリング評価のためにウェハーを保管する

ウェハーの移動を一時停止し、エンジニアリング部門によるレビューのために保留して、次の処理工程に進めるかどうかを判断する。

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処理を直ちに停止してください

警報状態によって発生する可能性のある損傷、不具合、または生産損失を防ぐため、現在稼働中のすべての機器の運転を停止してください。

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カスタム操作アクションを実行する

工場出荷時のポリシーやシステムルールに基づいて、あらかじめ定義されたカスタムアクションをトリガーし、特定の警報シナリオを効率的に処理します。

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アラーム分析とレポート

アラーム分析とレポート

様々な警報レポートが提供されます。

  • アラームパレートレポートは、アラームの発生回数順に並べたグラフを表示します。
  • パレート図のいずれかの棒をクリックすると、すべての発生状況の詳細が表示されます。
  • 複数の機器を組み合わせてレポートを作成できます

 

このソフトウェアはすべてのアラームを記録し、同一タイプの機器間でアラームを比較します。パレート分析に基づくアラームは、最も頻繁に発生するアラームに焦点を当てるのに役立ちます。これにより、半導体OEEモニタリング、半導体機器の故障検出、および半導体製造ソフトウェア全体のパフォーマンスが向上します。

Industries We Serve

3で

半導体製造

4で

先進的な製造技術

ケープ1

スマートファクトリー半導体ソリューション環境

ユースケースと事例研究

EI警報管理システム

  • 2つの工場で正常に導入されました
  • 四半期あたり160枚のウェハーの誤処理を防止
  • 機器のダウンタイムを10%削減
  • サイクルタイムが7%改善
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統合と展開

  • SECS/GEMアラーム管理システム
  • 半導体MES統合
  • 既存の半導体製造装置監視システム
  • ファブオートメーション環境
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実施プロセス

  • アラームの設定とアクションの定義
  • 半導体製造装置との統合
  • 自動化されたワークフロー設定
  • アラームレポートと分析の有効化
  • 継続的な最適化
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サポートとメンテナンス

  • 継続的なモニタリングサポート
  • システムアップデート
  • カスタムアクション設定
  • エンジニアリング支援
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コア機能

  • 半導体におけるリアルタイムアラーム管理
  • 自動ツール制御応答
  • 同じツールタイプ間でのアラーム比較
  • アラームパレート分析
  • 歩留まりとOEEの改善
  • サイクルタイム最適化
  • MTTRの削減
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品質とコンプライアンス

  • 高度なファブオートメーション規格
  • SECS/GEM環境
  • スマートファクトリー向け半導体フレームワーク
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歩留まり向上とダウンタイム削減の準備は万端

EinnossyのEIAMSで半導体製造の効率を向上させましょう。この高度なアラーム管理システムは、歩留まりの向上、機器のダウンタイムの削減、OEE(設備総合効率)とMTTR(平均修復時間)の強化に貢献します。自動アラーム応答とリアルタイム監視により、製造業者は問題を迅速に特定し、業務を効率化し、スマートファクトリー環境全体で一貫した生産品質を維持できます。

  • 収量を向上させる
  • 設備のダウンタイムを削減
  • OEEとMTTRを向上させる
  • アラーム対応の自動化
歩留まり向上とダウンタイム削減の準備は万端

ケーススタディ

EIAMSで歩留まりを向上させ、ダウンタイムを削減しましょう

リアルタイム監視とインテリジェントな自動化で、アラーム管理プロセスを変革しましょう。

ホワイトペーパー

技術相談のスケジュール

当社の専門家にご相談いただき、OEMおよびFAB/ATPに関するご要望をお聞かせください。お客様の業務に最適なソリューションをご提案いたします。

    関連製品およびサービス

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    お問い合わせ

    よくある質問。

    半導体製造におけるアラーム管理システムとは何ですか?

    アラーム管理システムは、機器のアラームをリアルタイムで監視、管理、対応するソフトウェアソリューションです。半導体製造工場において、作業の自動化、ダウンタイムの削減、生産効率の向上に役立ちます。

    eInnoSys社のEIAMSとは何ですか?

    EIAMS(eInnoSysアラーム管理システム)は、機器のアラームを追跡し、類似のツール間で比較し、歩留まり、OEE(総合設備効率)、サイクルタイムを改善するために、事前に定義されたアクションを自動的に実行する高度なソリューションです。

    EIAMSは機器のアラームをどのように自動的に処理しますか?

    EIAMSでは、アラーム応答のルールを定義できます。アラームの種類に基づいて、以下のことが可能です。

    • ウェハ処理を停止する
    • エンジニアまたはオペレーターに通知する
    • 機器をメンテナンスモードにする
    • 検査のためにウェハーを保持する
    • カスタムアクションを自動的にトリガーする

    EIAMSは半導体製造工場の性能をどのように向上させるのか?

    EIAMSは、以下の方法で製造工場のパフォーマンスを向上させます。

    • 設備のダウンタイムの削減
    • サイクルタイムの改善
    • 収穫量の増加
    • MTTR(平均応答時間)の改善
    • ウェハーの誤処理を防止する

    EIAMSは複数の機器間でアラームを比較できますか?

    はい。EIAMSは類似機器間でアラームを記録・比較し、エンジニアが繰り返し発生する問題を特定し、パレート分析を用いてプロセスを最適化できるよう支援します。

    はい。EIAMSは類似機器間でアラームを記録・比較し、エンジニアが繰り返し発生する問題を特定し、パレート分析を用いてプロセスを最適化できるよう支援します。

    EIAMSは、以下のような柔軟でカスタマイズ可能なアクションをサポートしています。

    • 機器の処理を停止する
    • ウェハー入力を一時停止しています
    • 職員にアラートを送信する
    • メンテナンスのスケジュール設定
    • カスタムワークフローの実行

    EIAMSはどのようにしてウェーハの損失削減に役立つのでしょうか?

    EIAMSは、重大なアラームを早期に検知し、処理を自動的に停止したり、ウェーハを保留したりすることで、不良処理を防止し、スクラップを削減し、全体的な歩留まりを向上させます。

    EIAMSはリアルタイム監視に適していますか?

    はい。EIAMSはリアルタイムで動作し、機器のアラームを継続的に監視し、生産への影響を最小限に抑えるために即座に対応します。

    EIAMSは、特定の製造工場の要件に合わせてカスタマイズできますか?

    はい。EIAMSはユーザー定義のルールとアクションを可能にするため、さまざまな半導体製造環境やワークフローに合わせて高度にカスタマイズできます。