レシピ配信速度が90%向上

複数の半導体製造装置にわたるプロセスレシピの管理は、手動による転送、バージョン履歴の欠落、承認管理の不足などにより、ますます複雑化していました。EinnosysはEIRMSを導入することで、レシピ管理の一元化、承認の自動化、SECS/GEMとの統合による完全なレシピトレーサビリティを実現しました。このソリューションにより、運用効率が大幅に向上し、レシピのダウンロードミスによるリスクが軽減され、根本原因分析とコンプライアンス監査が迅速に行えるようになりました。

分散型レシピのリスクとUSB依存性の克服

米国アリゾナ州に拠点を置く、半導体業界向け先進パッケージング技術の大手プロバイダーは、断片的で大部分が手作業によるプロセスレシピのワークフローに苦慮していた。プロセスレシピは個々の製造装置にローカルに保存されていたため、作業員はリスクの高いUSBドライブや外部ストレージデバイスを使用して手動でファイルを転送する必要があった。この手作業による依存関係にはバージョン管理が欠けており、変更が行われるたびに古い構成が永久的に上書きされてしまうという問題があった。集中管理や承認システムがないため、作業員はエンジニアリングレビューなしにレシピを装置に直接ロードすることができ、レシピの誤用、製品歩留まりの低下、コンプライアンス監査時のトレーサビリティの制限といった重大なリスクが生じていた。

SECS/GEMオートメーションを統合したEIRMSの導入

これらのガバナンスと効率性の問題を解決するために、eInnoSysはエンタープライズを導入しました。 レシピ管理システム（EIRMS）半導体製造環境向けに特化して設計された、集中型のWebベースプラットフォームです。EIRMSは、標準的なSECS/GEMプロトコルを統合することで、物理メディアを安全な集中型レシピリポジトリに置き換えます。このプラットフォームは、履歴的な改訂を保存するための完全なバージョン管理、パラメータレベルの変更を即座に識別する自動レシピ比較エンジン、および構成可能な承認ワークフローを提供します。重要なレシピのダウンロードは、業界標準の通信レイヤーを使用して、生産装置に直接送信される前に、安全にルーティングおよび承認されます。

配送速度90%向上と製造管理体制の強化

EIRMSの導入により、クライアントの製造エコシステムは変革され、運用面およびコンプライアンス面で即座にメリットが得られました。

• レシピ配信速度が90%向上： 集中型デジタルアクセスにより、USBメモリを用いた手動転送が完全に不要になり、導入時間が数時間からわずか数秒に短縮された。
• 効率的な根本原因分析： エンジニアは自動化されたバージョン比較を実行できるようになり、プロセス逸脱時のトラブルシューティング時間を短縮できるようになった。
• 不正ダウンロードゼロ： 設定可能な承認ワークフローにより、検証済みのレシピのみが重要な生産ラインに届くようになり、人的ミスを大幅に削減できます。
• 監査対応コンプライアンス: 包括的なエンドツーエンドの監査ログは、アップロード、ダウンロード、承認、およびユーザーのタイムスタンプをすべて自動的に追跡し、社内および顧客によるレビューに活用します。
• 業界標準に基づいて構築されています。 このシステムは、SEMI E5（SECS-II）、SEMI E30（GEM）、SEMI E37（HSMS）など、グローバルな工場自動化規格をシームレスにサポートします。