当社がグローバルメーカーのレシピ選択エラーを99.9%削減するのにどのように貢献したか

レシピ選択の誤りによる製造エラーは、ウェハーの不良品発生、生産遅延、運用コストの増加といった重大な問題を引き起こす可能性があります。世界有数の半導体メーカーは、従来型の生産設備において、手動によるロットマッピングとオペレーター主導のレシピ選択に頼っていたため、まさにこうした課題に直面していました。

この問題を解決するため、Einnosys Technologies社は、顧客の既存の工場システムとシームレスに統合できる高度なSECS/GEM自動化ソリューションであるEIStation Controllerを導入しました。このソリューションは、手動によるロットマッピングの自動化、レシピ選択のリアルタイム検証、およびインテリジェントな機器間通信を可能にすることで、オペレーターへの依存を排除​​し、生産ワークフローを標準化しました。

その結果は革新的なものでした。

• レシピ選択エラーが99.9%削減
• 工具のセットアップとロット切り替えが75%高速化
• 不適切なプロセスレシピによるウェハーの廃棄はほぼゼロ
• 機器の利用効率と作業員の生産性の向上
• トレーサビリティ、プロセスの一貫性、MES統合の向上
• 既存設備を交換することなく、より迅速な投資回収を実現

この事例研究では、最新のSECS/GEMオートメーションが、従来の半導体製造装置にインダストリー4.0の機能をどのように活用できるかを示し、製造業者が既存の生産設備の価値を最大化しながら、品質向上、生産量増加、製造コスト削減を実現できるよう支援します。