ハネウェルの既存製造設備の変革

ハネウェルは、アインノシスのスマートファクトリーソリューションを活用することで、高額なOEMアップグレードや生産停止を伴うことなく、既存の半導体製造装置を近代化しました。

EinnosysはEIGEMBoxを使用することで、既存のモニター、キーボード、マウスポートを介して、SPTSドライエッチングシステムとNovellusシステム向けに非侵襲的なSECS/GEM接続を実現し、侵襲的なハードウェア変更の必要性を排除しました。

アインノシス社は以下も実装しました。

  • EIStationControllerレシピ管理の自動化とFDCデータのリアルタイム収集
  • シーアサイト 予測分析とスマート機器監視のためのAI FDC
  • XPump 真空ポンプの予測メンテナンスのためのAIモニタリング
  • EIゲージモニター アナログゲージの読み取り値をデジタルプロセスデータに変換する

主な結果

  • 不良品や手作業による工程ミスを削減
  • リアルタイム監視による予知保全を実現
  • ダウンタイムゼロでの実装を実現
  • 高額なOEMアップグレード費用を回避
  • 統合されたSCADA/FDCダッシュボードにより、工場全体の可視性が向上

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