ハネウェルの既存製造設備の変革
ハネウェルは、アインノシスのスマートファクトリーソリューションを活用することで、高額なOEMアップグレードや生産停止を伴うことなく、既存の半導体製造装置を近代化しました。
EinnosysはEIGEMBoxを使用することで、既存のモニター、キーボード、マウスポートを介して、SPTSドライエッチングシステムとNovellusシステム向けに非侵襲的なSECS/GEM接続を実現し、侵襲的なハードウェア変更の必要性を排除しました。
アインノシス社は以下も実装しました。
- EIStationController – レシピ管理の自動化とFDCデータのリアルタイム収集
- シーアサイト – 予測分析とスマート機器監視のためのAI FDC
- XPump – 真空ポンプの予測メンテナンスのためのAIモニタリング
- EIゲージモニター – アナログゲージの読み取り値をデジタルプロセスデータに変換する
主な結果
- 不良品や手作業による工程ミスを削減
- リアルタイム監視による予知保全を実現
- ダウンタイムゼロでの実装を実現
- 高額なOEMアップグレード費用を回避
- 統合されたSCADA/FDCダッシュボードにより、工場全体の可視性が向上