大手ウェットベンチ装置メーカー向けスマートファクトリー接続の実現

カリフォルニア州に拠点を置く大手ウェットベンチ型プロセス装置メーカーは、Einnosys社と提携し、EIGEMEquipment SDKを使用してSECS/GEM通信を実装しました。このソリューションにより、工場ホストとのシームレスな統合、SEMI準拠の迅速化、開発工数の削減が実現し、最新の半導体製造工場向けに自動化対応装置の提供が可能になりました。