当社の中核となる半導体およびFAB自動化サービス
当社は、複雑な半導体製造ハードウェアとエンタープライズ向け実行システムとの間のギャップを埋めます。
1. ツールの接続性と機器の自動化
グローバルSEMI規格に準拠した工場ホストシステムと製造設備の完全統合。当社は高性能なソリューションの導入を専門としています。 SEC/GEM の, GEM300, PV2 多様なツールタイプ（ダイシングソー、スパッタリングシステム、計測ツール、テスターなど）にわたるインターフェースを提供し、自動データ処理を可能にする。
2. 工場全体のMESおよびホスト統合
製造現場のハードウェアとエンドツーエンドのアライメント 製造実行システム（MES）当社のソリューションは、ウェハーロットのライフサイクル全体にわたるシームレスな追跡を保証し、完全なデータトレーサビリティ、動的なスケジューリング、および厳格な品質保証プロトコルを実現します。
3. レガシーツールの改修とゲートウェイ
レガシーインフラストラクチャがスマートファクトリー構想のボトルネックにならないようにしましょう。当社は、古いシリアルベースのシステムを変換するカスタムハードウェア・ソフトウェア通信ゲートウェイを実装します。 RS-232（SECS-I） ツールを最新のイーサネットベースに TCP/IP (HSMS) コアツールソフトウェアを変更せずに通信チャネルを構築する。
300種類以上の機器メーカーとモデルに従来型の自動化を成功裏に導入したことに加え、工場を支援するために数百もの革新的なアプリケーションを開発しました。
さまざまな機器やMES、ERPなどの他の工場データソースから収集したデータを組み合わせたシステムとレポートを開発し、革新的な自動化によって製造工場の効率（歩留まり、サイクルタイム、OEEなど）を向上させ、コストを削減する方法。
SECS/GEM非対応機器からデータを収集し、レシピをダウンロードする方法
ファブオートメーションの専門分野
収量の向上
APC – 高度プロセス制御
生産性の向上
サイクルタイムとOEEの改善
FDC – 故障検出および分類
複雑な問題のトラブルシューティングを容易にするシステム
Financials
カスタマイズされたソリューション
eInnoSysは、以下のファブ向けにすぐに使えるシステムも提供しています。
EIGEMBOX – 特許取得済みのプラグアンドプレイ式SECS/GEMボックス
- 特許取得済みのプラグアンドプレイ式SECS/GEM（既存機器向け）。
- ハードウェア/ソフトウェアのインストールは不要で、OEMからの対応も一切必要ありません。
- 世界中で80台以上の機器を正常に稼働させています。
XPUMP – AI/MLベースのポンプ監視および予知保全
- AI/MLベースのポンプ/モーターの状態監視および予測保守システム。
- ポンプ／モーターの故障の数週間前に、電子メールまたはテキストメッセージでエンジニアに通知します。
- 振動、騒音レベル、温度、電流などを測定するために必要なセンサーが付属しています。
SEERSIGHT - AI/MLベースのスマートFDC
- AI/MLベースの予測分析機能を備えたスマートFDC
- コードを一切書かずに、あらゆる機器、デバイス、センサーからのデータを使って、数分でチャートのダッシュボードを作成できます。
- 設定だけでデータ分析、制御不能なプロセス状態の検出と対処が可能
EIGaugeMonitor – アナログゲージ監視システム
- アップグレードを行うことなく、カメラを通してアナログ圧力計やその他の計器をリアルタイムで監視します。
- 1台のカメラで複数の計器を確実に読み取ることができる
EIRMS – レシピ管理システム
- 機器上のレシピを完全に管理します。バージョン管理、ゴールデンレシピのサポート、レシピバージョンの比較などが含まれます。
- 承認のためのワークフロー統合
- レシピ変更の完全な追跡可能性
- すべての生産レシピの定期的なバックアップ
EIStationController – 既製のファクトリーホスト
- 市販の工場ホストまたはステーションコントローラアプリケーションで、ユーザーがロットのバーコードをスキャンし、機器上でレシピを選択することで、人的ミスを防ぐことができます。
- コードを一切書かずに、データ収集、アラーム、イベントの収集と分析を設定できます。
EIGEMSIM – SECS/GEMテスター/シミュレーター
- SECS/GEMの試験および特性評価のための機器および工場ホストシミュレータアプリケーション
- 直感的で使いやすいGUI
- Windows、Linux、Raspberry Piで動作します
ファブ自動化のメリット
生産性の向上
Fab Automationは、反復作業を自動化し、ワークフロープロセスを最適化することで、半導体メーカーの生産性とスループットを大幅に向上させることを可能にします。
精度と精度の向上
自動化システムは、製造工程の一貫性と精度を確保し、製品の品質向上とエラー率の低減につながります。
コスト削減
Fab Automationは、手作業による介入を最小限に抑え、エラーのリスクを低減することで、 製造業者は人件費を削減する そして、無駄を最小限に抑えることで、最終的には収益性の向上につながる。
市場投入までの時間の短縮
ファブオートメーションによって実現される合理化された生産プロセスとサイクルタイムの短縮により、半導体企業は製品をより迅速に市場に投入できるようになり、業界における競争優位性を獲得できる。
オペレーション効率向上
自動化により、製造工場は最小限の人的介入で24時間7日稼働することが可能になり、設備利用率と全体的な運用効率が最大化される。
半導体製造工場が当社の自動化基準を義務付ける理由
ファブオートメーションソリューション
ロボットプロセス自動化
RPA技術は、半導体製造工場におけるウェハーの取り扱い、材料の輸送、機器のメンテナンスといった反復作業を自動化するために使用されている。
AIを活用した製造最適化
AIアルゴリズムは、製造工程で生成される膨大な量のデータを分析し、パターンを特定し、パラメータを最適化し、全体的な効率を向上させます。
サプライチェーンの自動化
自動化されたサプライチェーン管理システムは、調達、在庫管理、物流を効率化し、製造工場への材料や部品の円滑な流れを確保します。
製造業におけるファブとは何か
製造業において、「ファブ」とは、半導体産業で一般的に用いられる製造施設を指します。集積回路（IC）などの様々な電子部品を製造する専門工場です。この用語は、機械加工、組み立て、さらには繊維製品の製造など、様々な工程を用いて製品を製造するあらゆる製造施設にも広く適用されます。
半導体製造工場では、フォトリソグラフィー、エッチング、ドーピングなどの工程を用いて、シリコンウェハ上に複雑な構造が作製されます。工場は高度に管理された環境であり、汚染を最小限に抑え、製品の品質を確保するために、多くの場合クリーンルーム基準が求められます。
「Fab」とは何ですか？
ファブとは、シリコンウェハなどの原材料をさまざまな複雑な工程を経て加工し、マイクロチップ、半導体、その他の電子部品などの完成品を製造するハイテク製造施設です。これらの施設には、フォトリソグラフィー、エッチング、ドーピング、成膜、テストなどの特殊な装置とプロセスがあり、コンピュータ、スマートフォン、医療機器などの現代の電子機器に不可欠な複雑で精密な部品を製造するために使用されます。半導体製造（半導体ファブ）：半導体製造において、「ファブ」という用語は、集積回路（IC）、マイクロプロセッサ、メモリチップ、その他の半導体デバイスを製造する工場を具体的に指します。これらのファブは高度に専門化されており、製造される部品は非常に小さく、ほこりやその他の不純物に敏感であるため、製造中に汚染を防ぐためにクリーンルーム環境が必要です。
他産業における製造：一般的に「ファブ」という用語は半導体およびマイクロエレクトロニクス産業で用いられますが、航空宇宙、自動車、材料製造などの他分野の製造工場を指す場合もあります。ただし、これらの場合においても、「ファブ」とは、溶接、鋳造、機械加工、組み立てといった様々な製造方法を用いて原材料を完成部品に加工する施設を指します。
ファブ（製造施設）の主な特徴
クリーンルーム
半導体製造工場において、製造される微細で繊細な製品の品質を確保するためには、粉塵や汚染物質のない管理された環境が不可欠である。
精密機器
フォトリソグラフィー装置、エッチング装置、成膜装置、試験装置などの特殊な装置を用いて、材料を微細なスケールで加工する。
複雑なプロセス
製造工程は、ウェハ処理、積層、エッチング、検査、パッケージングなど、数多くの段階から成り、それぞれの段階を正確に実行する必要がある。
自動化システム
多くの半導体工場は高度に自動化されており、生産、検査、試験にロボットやAI駆動システムを活用することで、速度、精度、歩留まりを向上させている。
Fabsが重要な理由とは？
半導体製造工場は、現代のあらゆる電子機器の基礎となる構成要素を製造するため、不可欠です。半導体製造工場で製造されるチップやマイクロエレクトロニクスは、携帯電話、コンピューター、サーバーから自動車、医療機器、家電製品に至るまで、あらゆるものに使用されています。
製造工場内部の技術と設備は、精密工学の最先端を行くものであり、工場の建設や維持には、インフラと専門知識の両方への多大な投資が必要となる。
要約すると、製造業、特に電子機器や半導体分野における「ファブ」とは、高度な技術と精密な製造技術を用いて原材料を加工し、完成した電子部品を製造する、高度に専門化された工場のことである。
半導体製造工場の自動化を最適化する準備はできていますか？
SECS/GEM接続の効率化、既存ツールの最新化、MESホストプロトコルのシームレスな統合については、当社のオートメーションアーキテクトにご相談ください。
ケーススタディ
計測機器OEM向け、高速、柔軟、かつ信頼性の高いSECS/GEM、GEM300、E84統合ソリューション
高速で柔軟かつ信頼性の高いSECS/GEM、GEM300、およびE84の統合により、データ転送速度が300%向上し、パフォーマンスが向上しました。
世界最大級のOSAT（外部受託製造サービス）企業で、納期遵守目標の達成を支援する。
大手OSATにおいて、SECS/GEMへの完全準拠、生産性の倍増、レシピエラーの排除などにより、納期厳守を実現しました。
技術相談のスケジュール
当社の専門家にご相談いただき、OEMおよびFAB/ATPに関するご要望をお聞かせください。お客様の業務に最適なソリューションをご提案いたします。
関連製品およびサービス
よくある質問。
1. 半導体製造におけるファブオートメーションとは何ですか？
ファブオートメーションとは、ソフトウェア、ハードウェア、通信システムを統合して半導体製造プロセスを自動化することを指します。これにより、効率性が向上し、人的ミスが削減され、ファブ全体で一貫した生産品質が確保されます。
2. eInnoSysはファブの自動化をどのようにサポートしていますか？
eInnoSysは、SECS/GEM統合、機器接続、データ収集、半導体製造工場、組立工場、試験施設向けに特化したスマートファクトリーソリューションなど、エンドツーエンドの製造自動化ソリューションを提供しています。
3. 既存の半導体製造装置に製造自動化を導入することは可能か？
はい、SECS/GEM統合などの改修ソリューションを使用すれば、既存の設備にも製造自動化を導入できます。これにより、既存のインフラを交換することなく、古い機械を最新の工場システムと通信させることが可能です。
4. 製造工場の自動化にはどのような利点がありますか？
製造現場の自動化は、生産性の向上、ダウンタイムの削減、設備稼働率（OEE）の向上、人為的ミスの最小化、リアルタイム監視およびデータに基づいた意思決定の実現に役立ちます。
5. 製造工場の自動化ソリューションは、どのような業界に恩恵をもたらしますか？
半導体製造におけるファブオートメーションは、ウェハー製造工場、パッケージング、組立、テスト設備など、半導体製造の分野で広く利用されているほか、電子機器製造や先端材料加工といった関連産業でも活用されている。