SECS/GEM & GEM300: 현대 팹 자동화를 위한 통합 가이드

要約

• 内容: 전 세계 반도체 생산 능력이 사상 최고치를 기록하면서 효율적인 자동화는 선택이 아니라 산업의 생명선이 되었습니다。
• 표준 스택: SECS/GEM は、E4、E5、E37、E30 に対応しており、E4、E5、E37、E30 に対応しています。 「대화」할 수 있게 합니다。
• GEM300 のバージョン: 300mm は GEM に適合します。 GEM300 の機能(E39、E40、E87、E94、E90) の機能표준화합니다。
• 実装： 레거시 직렬 연결(SECS-I) 에서 고속 이더넷(HSMS) 으로의 전환은 현대적 데이터 처리량을 위해 필수적입니다。
• 効果： 적절한 구현은 통합 시간을 줄이고 수율을 높이며 맞춤형 드라이버의 “스paid게티 코드”를 제거합니다。

はじめに

집에서 쓰는 와리초 단위로 서로 속삭여야 하는 반도체 팹을 조정해 보세요。 중요성은 엄청납니다。 SEMI世界ファブ予測(2024)에 따르면 올해 전 세계 반도체 생산 능력은 월 3,000만 웨이퍼라는 사상 최고치에 를 것으로 전망됩니다。 는 공급망을 통해 이동하는 엄청난 양의 실리콘을 의미하며, 이 모든 과정은 력 자동화 없이는 불가능합니다。

これは、SECS/GEM をサポートするものです。 SECS/GEM は、팹의 숨은 영웅으로、캘리포니아의 증착 장비가 독일에서 개발된 호스트 시스템과 원활하게 대화할 수 있게 해주는 보편적 언어입니다。 SECS/GEM이 없다면 반도체 산업은 본질적으로 고가의 섬들로 나뉘어 나노미터 규모의 트랜지스터를 제조하는 데 필요한 정밀한 협업을 할 수 없었을 것입니다。

200mm 레거시 라인을 개조하든、최첨단 300mm 시설을 도입하든、이러한 표준을 이해하는 것은 필수입니다。次はSEMI 표준 매뉴얼은 선인장을 탈수시킬 만큼 지루할 수 있습니다。 E5、E30、GEM300 표준들의 알일벳 수프를 안내하려 합니다。

回答: SECS/GEM 란?

「SECS/GEM」は、프로토콜처럼 들리지만、실제로는 함께 작동하는 여러 표준의 스택입니다。 인터넷을 떠올려 보세요: 물리적 케이블、IP 주소、HTML 페이지가 있듯이 SECS/GEM도 유사한 계층 구조를 가집니다。

전송 계층: E4 と E37

전에 장비와 호스트는 데이터를 어​​떻게 전송할지 합의야 합니다。

• E4 – SECS-I (직렬): 「구세대」입니다。 RS-232 は、これをサポートします。 300mm の高さを実現。 하지만 200mm 레거시 팹에 들어가면 20년 에처(etcher) 뒤에서 이런 케이블이 아직도 뽑혀 나오는 것을 볼 수 있습니다。
• E37 – HSMS: 「高速 SECS メッセージ サービス」。この機能は、TCP/IP に対応しています。 웨이퍼 맵 데이터와 같이 기가바이트 단위의 데이터를 전송할 때 빠른 전송이 필수적입니다。

문법: E5 – SECS-II

연결이 설정되면 문법 구조가 필요합니다。E5 – SECS-IIは「메시지」を意味します。ストリーム (카테고리) と関数 (특정 동작) の機能。

예: S1,F1은 「거기 있나요?」(リクエストはありますか) S1,F2는 「네, 있습니다」(オンラインデータ)。

E5 は、最高のパフォーマンスを実現します。 가능한 단어들을 나열해 줄 뿐입니다。

동작: E30 – GEM

SECS/GEM は、重要な役割を果たします。E30 – GEM(汎用機器モデル) 표준은 작동 규칙을 정의합니다。 「リモート アクセス ポイント」は「リモート アクセス ポイント」です。

E30 は、S2、F41 のサポートを提供し、F41 のサポートを提供します。 다운로드에 사용할 수 있어 혼란이 발생합니다。 E30 は GEM の機能を備えており、オフライン、オンライン - ローカル、オンライン - リモートの機能を備えています。

왜 자동화에 공통 언어가 필요한가

どうですか？ OEM は API をサポートしていますか?

핵심은 확장성 입니다。アプライド マテリアルズ、ラム リサーチ、東京エレクトロン있습니다。 공장 호스트(MES)가 도구마다 커스텀 드라이버를 작성해야 한다면 통합팀은 잠을 잘 수 없을 것입니다。

SECS/GEMは、これをサポートします。

• 상호운용성: 호스트 시스템은 장비 제조사가 누구인지와 상관없이 상태 변수(VID)나 수집 이벤트(CEID)를 요청하는 방법을 정확히 알고 있습니다。
• 수율 향상: を参照してください。 50ms で SECS/GEM を実行し、50ms を実行します。 전에 라인을 멈출 수 있습니다。
• コスト削減： 표준 인터페이스는 신규 장비 설치 시 발생하는 비반복적 엔지니어링(NRE) 비용을 줄입니다。

例: SECS/GEM は、「重要」を意味します。 기술적으로 E30 준수라고 해도 표준을 독특하게 구현해 자동화를 paid괴하는 도구가 있을 수 있습니다。 항상 엄격한 테스트 스위트로 검증하세요。

300mm タイプ: GEM300 モデル

200mm 2000mm 300mm の高解像度を実現します。 300mm の FOUP (フロント オープニング ユニファイド ポッド) を搭載しています。 OHT (オーバーヘッド ホイスト トランスポート)、オーバーヘッド ホイスト トランスポート。

SECS/GEM は、SECS/GEM をサポートしています。 그래서 E30 위에 얹히는 “GEM300” 표준들이 등장했습니다。 들은 완전 자동화 팹의 복잡성을 관리하기 위한 추가 표준입니다。

E87 – 캐리어 관리

200mm は、「시작」을 누릅니다 です。 300mm の FOUP 를 로드 포트에 내려놓습니다。 장비는 다음을 알아야 합니다:

• 캐리어 ID가 무엇인가?
• どうですか？
• 호스트가 이 장비의 처리 허가를 내렸는가?

E87 は「바인드(バインド)」、「캐리어 진행(キャリアで続行)」、「캐리어 아웃(キャリアアウト)」 상태를 관리합니다。 는 도구와 AMHS(자동 물류 시스템)가 완벽히 동기화되도록 보장합니다。

E40 & E94 – 작업 관리

여기서 사람들이 혼동하는 경우가 많습니다。 왜작업에 대해 두 가지 표준이 필요할까요?

• E40（処理ジョブ）： 웨이퍼에 실제로 무슨 일이 일어나는지를 정의합니다。 「웨이퍼 1번부터 25번까지에 레시피 A를 적용해라」
• E94（制御ジョブ）： 감독자 역할을 합니다。プロセス ジョブを実行します。コントロール ジョブは、「プロセス ジョブ 1 を実行します。」を実行します。

コントロール ジョブは、プロセス ジョブの役割を果たします。

E90 – 추적

웨이퍼를 잃어버리면 안 됩니다。 절대。E90は 호스트가 도구 내부의 각 웨이퍼(기판)의 정확한 위치를 추적할 수 있게 합니다. 프로세스 챔버에 있는가? 얼라인(位置合わせ) 장치에 있는가? 냉각 스테이션에 있는가? E90 は 가시성을 제공합니다 です。

SECS-I は HSMS로의 전환: 속도 업그레이드

SECS-I は、SECS-I をサポートするために使用されます。 RS-232 케이블은 악명 높게 까다롭습니다。 접지 루프、전송 속도(ボーレート) 불일치、케이블 길이 제한(리피터 없이 최대 50피트) 등은 지속적인 골칫거리입니다。

E37 – HSMSと TCP/IP の組み合わせ。

• 신뢰성: 더 이상 구부러진 핀이나 신호 열화 문제가 없습니다。
• スピード： HSMS の機能。これは、「トレース データ」(E5 Stream 6) の機能です。 SECS-I は、HSMS に対応しており、HSMS に対応しています。

팹을 현대화하려면 레거시 SECS-I 포트를 HSMS로 변환하는 SECS/GEM 어댑터를 설치하는 것이 높은 ROI를 제공하는 활동 중 하나입니다。 통합할 수 있습니다。

구현 과제 및 현대적 솔루션

SECS/GEM は、すべての機能をサポートします。 오히려 “플러그 앤 디버그”에 가깝습니다。 자동화 엔지니어들이 직면하는 일반적 장애물은 다음과 같습니다。

1. 「스have게티 코드」함정 E30 は、E30 をサポートしています。 「행복한 경로(ハッピーパス)」에서는 동작하는 빠른 드라이버를 작성하지만, 장비가 예상치 못한 알람이나 통신 이상을 던지면 바로 충돌합니다。
   • 해결책: SECS メソッドを使用して、SECS/GEM をサポートする (SDK) を実行します。 사용하세요。
2. 문서 불일치 장비 매뉴얼에는 변수가 ASCII 문자열이라고 적혀 있는데、실제로 도구는 2바이트 정수를 보냅니다。 호스트가 충돌합니다。
   • 해결책: 엄격한 특성화（性格付け）。 연결하기 전에 “골든 스탠다드” 테스트 도구로 기계의 모든 변수와 이벤트를 쿼리하세요。
3. 200mm の場合 300mm の場合 200mm 팹에서도 효율을 위해 GEM300 기능(예: 고급 캐리어 관리)을 원하지만 OHT가 없는 경우가 있습니다。
   • 해결책: 하이브리드 접근 방식。 SECS/GEM は 300mm の「흉내」に対応しています。 미들웨어가 필요합니다。

빠른 참고: 표준 스택

아래는 알아야 할 핵심 표준의 정리입니다。

結論

300mm 표준화 및 그 이상의 영역으로 나아감에 따라 SECS/GEM 인터페이스를 구현하고 유지관리하는 능력은 중요한 기술 세트가 되고 있습니다。 다리적 현실과 수율 분석의 디지털 세계를 연결하는 다리입니다。

OEM 개발자가 도구를 「팹 레디(fab Ready)」로 만들려고 하든、공장 관리자가 라인 가동 시간을 5% 더 확보하려고 하든、해답은 대개 더 나은 자동화에 있습니다。 GEM300 は、最高のパフォーマンスを発揮します。