SECS/GEM 프로토콜 가이드: Fab 장비 통신 단순화

要約

• SECS/GEM は、ハードウェアのセキュリティを強化します。
• 공장 호스트/제조 실행 시스템(MES)이 현장의 장비(툴)와 통신할 수 있도록 구조화된 방식을 정의합니다。
• 이 표준은 장비 간 상호 운용성을 보장하며, 레시피 관리, 데이터 수집(EDA), 알람 모니터링과 같은 핵심 자동화 작업을 지원합니다。
• 스트림(ストリーム), 함수(関数), 변수(変数) 제조사(OEM) は、필수적입니다。
• SECS/GEM は、 완전한 디지털 기반의 스마트 팩토리를 구현하는 데 매우 중요하며, 수율, 처리량、운영 효율성을 크게 향상시킬 수 있습니다。
• 에 의해 관리되고 유지됩니다。

はじめに

정밀성과 복잡성이 극도로 높은 반도체 제조에서는 공장 바닥의 모든 장비를 완벽하게 제어하는 것이 필수적입니다。 SEMI(2024)は 2030 年から 1450 年までに 2030 年から 2024 年までに 2024 年に発表されました。 것으로 예상됩니다。 는 첨단 장비에 대한 막대한 투자를 의미하지만, 장비의 진정한 가치는 단순한 처리管理者は、MES/ホスト (MES/ホスト) をサポートしています。

これは SECS/GEM の機能です。
SECS/GEM 프로토콜은 팹에서 호스트 시스템이 장비와 통신하고 제어하는 방식을 정의하는 가장 광범위하게 사용되는 표준입니다。このモジュールは、CVD モジュール、モジュール、SECS/GEM モジュールを備えています。 동일하고 예측 가능한 언어로 통신할 수 있습니다。 이 표준이 없다면 자동화는 장비마다 커스텀 코드를 작성해야 하는 혼란스러운 환경이 되었을 것입니다。

반도체 자동화、장비 통합、공장 디지털화에 참여하는 모든 사람에게 SECS/GEM의 이해는 필수입니다。 설명합니다 설명합니다 설명합니다 설명합니다

SECS/GEM 디코딩: 자동화를 위한 표준화된 언어

SECS/GEM は、SEMI に準拠しており、SEMI に準拠しています。これは、SECS の GEM です。

SECS: 커뮤니케이션 peech프라인

SECS는 반도체 장비 통신 표준(半導体装置通信規格) 을 의미합니다。この問題を解決するには、次のことを行ってください。

• SECS-I(E4): RS-232 기반 초기 물리 연결
• SECS-II(E5): 실제 메시지 구조와 내용을 정의
• HSMS(E37): 현대 팹에서 사용하는 고속 TCP/IP 이더넷 기반 연결 방식으로, 현재 표준

HSMS/SECS-II のサポート

GEM: 필수 행동 모델

GEM (Generic Equipment Model) は、GEM (E30) をサポートしています。
GEM は、GEM をサポートします。

장비가 SECS/GEM は、호스트는 레시피 요청·상태 조회·데이터 수집 방식을 모두 표준화된 형태로 수행할 수 있습니다。

필수 GEM 기능

GEM は、次のとおりです:

• ステータスデータ収集(SDC): 변수/트레이스/이벤트 기반 데이터 수집
• アラーム管理: 장비 알람 보고
• レシピ管理: 레시피 업로드/다운로드/검증
• リモコン: 온라인/오프라인、시작/정지 제어
• 機器ステータス: 장비 상태 조회 가능

커뮤니케이션 툴킷: 스트림, 함수 및 변수

SECS/GEM メソッドはストリーム関数 (S/F) の機能を備えています。

스트림 및 함수 이해

• ストリーム (S): 메시지 카테고리
• 関数 (F): 특정 메시지의 종류
• 기본 구조는 항상 요청(홀수 번호) → 응답(짝수 번호)

사용 중인 키 스트림/함수 쌍

장비 변수、상태 변수 및 데이터 ID

• EC (機器定数): 장비 설정 변수
• SV (ステータス変数): 실시간 상태
• DV (データ変数): 프로세스 데이터
• CEID (コレクション イベント ID): 장비 이벤트 ID

SECS/GEM は、すべての機能をサポートしています。

SECS/GEM 프로토콜 구현: 호스트 및 장비 역할

장비 측면(서버 역할)

HSMS は、HSMS に対応しています。

• GEM(E30) 필수 기능 구현
• SECS/GEM の機能
• SV/DV/CEID/EC 목록을 포함한 GEM インターフェイス ガイド 제공

호스트 측(클라이언트 역할)

MES はセル コントローラー、HSMS クラスの機能を備えています。

주요 역할:

• S1F13/S1F14: 장비 온라인 전환
• S7F1/S7F2: 레시피 전송
•  S3F19/S3F20: ロット 시작 명령
• S6F3/S6F4: 벤트 구독
• 데이터 수집/제조 흐름 제어

덕분에 팹은 수백 대의 장비를 표준화된 방식으로 운영할 수 있습니다.

形式: SECS/GEM 形式

장비 데이터 수집(EDA 또는 인터페이스 A、E120/E125/E134)

EDA は SECS/GEM をサポートしています。

• SOAP/HTTPS の実装
• SECS/GEM の機能
• 고주have수(밀리초 단위) 데이터 수집 가능
• 머신러닝 및 고급 분석에 필수

인증 및 규정 준수의 중요성

장비 제조사는 아래 SEMI 표준에 맞춰야 합니다。

• E30（GEM）
• E87（キャリア管理）
• E40（処理管理）

팹에서는 를 기반으로 장비의 적합성을 검증합니다。

結論

SECS/GEM は、すべての機能をサポートしています。
표준화된 메시징·행동 규칙을 통해 장비 통합을 단순화하고, 자동화 및 데이터 기반 운영의 토대를 제공합니다。
OEM は SECS/GEM をサポートし、サポートを提供します。 첫 단계입니다。