SECS/GEM 形式: 반도체 장비 통신

要約

• SECS/GEM の機能は、標準の機能を備えた機能を提供します。 표준입니다。
• SEMI E4(SECS-I)、E5(SECS-II)、E37(HSMS)、E30(GEM) に対応しています。
• 는 자동 데이터 수집、레시피 관리、원격 장비 제어를 가능하게 합니다。
• OEM (相手先商標製品製造業者) の製品です。
• GEM は、GEM をサポートしています。

はじめに

Statista(2024)에 따르면, 글로벌 반도체 시장은 2024년 말까지 6,130억 달러의 가치에 폄달 것으로 전망됩니다。 러한 대규모 성장은 더 작고、더 빠르며、더 효율적인 칩에 대한 끝없는 수요에 의해 촉진되고 있습니다。 정밀도로 운영되어야 하며, 바로これは SECS/GEM クラスの機能です。

통합된 언어가 없다면、반도체 제조 공장(fab)은 디지털 바벨탑과 같을 것입니다。 서로 다른 공급업체에서 제작된 수억 달러 규모의 수백 대 장비가 나란히 놓여 있유하지 못할 것입니다。 SECS/GEM 표준은 이러한 장비들이 제조 실행 시스템(MES)으로 알려진 공장의 중추 신경계와 소통할 수 있도록 필요한 프레임워크를 제공합니다。

이 통신 프로토콜은 모든 실리콘 웨이퍼가 추적되고, 모든 공정 단계가 기록되며, 모든 알람이 실시간으로 처리되도록 보장합니다。 자동화 초보자이든 숙련된 시스템 통합자이든, 이 장비 통신 프로토콜을 이해하는 것은 칩 제조 세계에서 경쟁력을 유지하는 데 필수적입니다。

SECS/GEM이란 정확히 무엇인가?

용어는 SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International) は、国際半導体製造装置協会 (Semiconductor Equipment and Materials International) に属します。 SECSは半導体装置通信規格であり、GEMは製造装置の通信および制御のための汎用モデルです。 둘은 함께 하드웨어 수준에서 공장 관리 소프트웨어까지 데이터가 어떻게 전달되는지를 정의합니다。

계층화된 아키텍처

층층이 특정 목적을 수행하는 케이크와 같다고 생각해 보십시오. 아래에는 물리적 및 전기적 연결을 처리하는 전송 계층이 있습니다。最高のパフォーマンスを実現します。

SECS-I (SEMI E4) と HSMS (SEMI E37)

SECS-I モジュールは、RS-232 (RS-232) をサポートしています。 일부 오래된 “레거시” 장비는 여전히 이를 사용하지만, 현대 팹은 고속 SECS 메시지 서비스(HSMS)로 전환했습니다。 TCP/IP プロトコルを使用して、TCP/IP プロトコルを使用します。 데이터를 전송할 수 있습니다。

SECS-II（SEMI E5）

연결이 설정되면、장비는 메시지를 구조화할 방법이 필요합니다。 SECS-II は「스트림(ストリーム)」と「펑션(関数)」を組み合わせたものです。 는 프로토콜의 사전 역할을 하여, 장비가 “작업 완료”를 알릴 때 호스트 시스템이 그 의미를 정확히 이해하도록 보장합니다。

GEM 계층(E30)의 역할

SECS-II は、GEM をサポートしています。 SECS-II は、SECS-II をサポートするために使用されます。 SEMI E30 は、SECS-II をサポートする메시지를 구현해야 하는지를 규정합니다。

어떻게 알 수 있을까요? GEM 표준은 장비가 “컬렉션 이벤트(Collection Events, CE)” が表示されます。 러한 이벤트는 웨이퍼가 로딩되거나 도어가 닫히는 등 중요한 상황이 발생할 때마다 공장에 알림을 트리거합니다。

상태 머신과 제어

SEMI SECS/GEM は、ハードウェアとソフトウェアの両方を備えています。 「手動」、「リモート」、「ローカル」の順に選択します。 장비 내부에 있는 동안 실수로 장비를 작동시키는 일을 방지합니다。 흔히 말하듯、안전이 최우선입니다。

팹이 반도체 팹 자동화에 의존하는 이유

반도체 제조는 지구상에서 가장 복잡한 산업 공정 중 하나입니다。 단 하나의 칩이 생산되기까지 수개월이 걸릴 수 있으며、수천 단계의 공정을 거칩니다。 장비가 보정 범위를 벗어나면, 단 몇 분 만에 수백만 달러 상당의 재고를 망칠 수 있습니다。

실시간 모니터링 및 데이터 수집

자동화를 통해 팹은 온도, 압력, 가스 유량과 같은 데이터 포인트를 몇 밀리초마다 수집할 수 있습니다。 통계적 공정 관리(SPC) 시스템으로 전달됩니다。 플라즈마 식각기의 압력이 극히 작은 비율만큼만 벗어나도、SECS/GEM 연결을 통해 MES가 즉시 장비를 정지시켜 라인에 남아 있는 웨이퍼를 보호할 수 있습니다。

레시피 관리

모든 배치마다 공정 paid라미터를 수동으로 입력하는 것은 재앙의 지름길입니다。 장비 통신 프로토콜을 사용하면, 호스트가 특정 로트 ID에 따라 올바른 레시피를 장비로 직접 “다운로드”할 수 있습니다。この問題を解決するには、次のことを行ってください。

구현을 위한 핵심 개념

GEM は 개발하는 소프트웨어 팀에게는 여러 기술 용어가 매우 빠르게 익숙해질 것입니다。 단순히 데이터를 전송하는 것만으로는 충분하지 않으며, 올바른 형식으로 올바른 데이터를 전송해야 합니다。

• SVID(ステータス変数ID): 언제든지 읽을 수 있는 б미터로、예를 들어 히터의 현재 온도 등이 있습니다。
• ECID (機器定数 ID): デバイス定数 ID を取得します。
• アラーム: 문제가 발생했을 때 비동기적으로 전송되는 메시지입니다。 모든 알람은 메시지 수신을 보장하기 위해 호스트에서 반드시 확인(了承)되어야 합니다。
• レポート: SVID를 하나의 리포트로 그룹화하여 특정 이벤트가 발생할 때 자동으로 전송되도록 설정할 수 있습니다。

팹을 구축하는 것이 가능할까요? 필요한 자동차를 만드는 것과 같습니다。 는 어떤 정상적인 프로젝트 매니저도 고려하지 않을 물류적 악몽입니다。

장비 통신의 기술적 진화

このプラットフォームは、Industry 4.0 と互換性があり、インダストリー 4.0 をサポートしています。 왔습니다。インターフェイス A로도 알려진 EDA (機器データ取得) のインターフェイス더욱 데이터 집약적인 표준을 향해 나아가고 있습니다。

SECS/GEM과 EDA 비교

SECS/GEM「명령 및 제어」중심입니다。 장비를 운영하는 데 매우 적합합니다。 반면 EDA는 “데이터 중심”으로、주요 제어 경로에 영향을 주지 않으면서 빅데이터 분석을 위한 대규모 데이터 세트를 수집할 수 있게 합니다。 대부분의 현대 대량 생산 시설은 효율 극대화를 위해 두 가지를 동시에 사용합니다。
McKinsey & Company(2023) 의 보고서에 따르면, AI 와 고급 분석은 반도체 기업에 연간 150억~250억 달러의 수익 증가를 제공할 수 있습니다。 러한 수준의 AI 통합은 잘 구현된 SECS/GEM 스택이 제공하는 깨끗하고 구조화된 데이터 없이는 불가능합니다。

GEM 인터페이스 개발의 과제

수백만 달러짜리 리소그래피 장비용 소프트웨어를 작성하는 것은 모바일 앱을 만드는 것보다 훨씬 더 긴장되는 작업입니다。 위험 부담이 크고、문서는 매우 방대합니다。 OEM 소프트웨어 팀이 직면하는 가장 큰 과제 중 하나는 SEMI 표준에 대한 “컴플라이언스”를 보장하는 것입니다。

컴플라이언스 테스트

GEM コンプライアンス ステートメントを参照してください。 문서는 장비가 지원하는 메시지와 기능을 정확히 나열합니다。 러한 인터페이스를 테스트 하려면, 다양한 시나리오에서 장비가 올바르게 응답하는지 검증하기 위해 “호스트” 역할을 하는 특수 시뮬레이터 소프트웨어가 필요한 경우가 많습니다。

레거시 시스템 처리

종종 엔지니어는 표준의 일부가 완전히 정립되기 전에 제작된 오래된 장비를 통합해야 합니다。 를 위해 오래된 SECS-I 신호를 현대적인 HSMS 메시지로 변환하는 “래퍼(wrapper)” 소프트웨어나 하드웨어가 필요합니다。この作品は 1980 年に公開されました。 비슷합니다。

SECS/GEM 통한 미래 대비

「라이트 아웃 팹(Lights-Out Fab)」을 향해 나아가는 과정에서、SECS/GEM 표준은 여전히 기반이 됩니다。 는 종종 새롭고 화려한 프로토콜에 부족한 안정성과 신뢰성을 제공합니다. 또한 광범위하게 채택되어 있기 때문에, 독점적 대안보다 이를 지원할 인재와 도구를 찾는 것이 훨씬 쉽습니다。

300mm と 450mm の高さで、高精度の高精度を実現します。 웨이퍼가 커질수록 배치당 위험도 커지므로、GEM 인터페이스의 원격 제어 및 모니터링 기능은 그 어느 때보다 중요해졌습니다。

結論

SECS/GEM は、サポートされています。 기계 간의 신뢰할 수 있고 표준화된 통신 방식을 제공함으로써, 세계 최고 수준의 술을 생산하는 데 필요한 자동화 수준을 가능하게 합니다。 반도체 팹 자동화에 관여하는 모든 전문가에게 이 프로토콜을 숙달하는 것은 선택이 아니라 성공을 위한 핵심 요건입니다。