EIGEMEquipmentを初期化し、セットアップファイルをロードします。
この開発には、C#とEIGEMSim間の橋渡しとなるインターフェースの作成が含まれています。このDLLにより、EIGEMSimの全機能を手軽に利用できるようになります。参考までに、コードの概要をご紹介します。ご興味をお持ちいただけましたら、下のボタンをクリックして、製品とEIGEMSimのトライアル版をお試しください。
EIGEMSimを探検しよう！
clientobj300.init(Callbackobj, “EIGEMConfig\\EIGEM.cfg”, “EIGEMConfig\\EIGEMLog.cfg”, false); // 自動サーバー起動
//EIGEM300SocketClient.SERVER_HOSTNAME = “10.10.220.82”;
// EIGEM300SocketClient.SERVER_PORT = 2361;
コレクションイベントの処理方法
セットアップファイル:
5112=CJ、CJ_STATE_CHANGE で変数データとして使用される制御ジョブ ID、
5113=CJ、制御ジョブ状態 CJ_STATE_CHANGE の変数データとして使用されます、、L {A DV1} {A DV2}
5112=DV1、ユーザー定義データ変数の例。、、DV、A、、0、0、、、A、
5113=DV2、ユーザー定義データ変数の例。、、DV、A、、0、0、、、A、
プログラミング
clientobj.sendEvent(“ProcessingStarted”);
EIGEMVariableData objEIGEMVariableDatasendEventWithData = new EIGEMVariableData();
apiObj.API_name_label.Text = “sendEventWithData : eventName ,variableName ,variableValue(string)”;
apiObj.ShowDialog();
argcommasep = apiObj.textBox_arg.Text;
arglist = argcommasep.Split(',');
objEIGEMVariableDatasendEventWithData.setVariableStandardName(arglist[1]);
objEIGEMVariableDatasendEventWithData.setVariableValue(arglist[2]);
リストobjEIGEMUtilsEIGEMVariableDatasendEventWithData = new List ();
objEIGEMUtilsEIGEMVariableDatasendEventWithData.Add(objEIGEMVariableDatasendEventWithData);
clientobj.sendEventWithData(arglist[0], objEIGEMUtilsEIGEMVariableDatasendEventWithData)
リモートコマンドのプログラミング方法。セットアップファイルには何も記述されていません。
public EIGEMRemoteCmdAck remoteCommand(String commandName, List eIGEMCommandParameters)
{
EIGEMRemoteCmdAck obj = new EIGEMRemoteCmdAck();
MessageBox.Show(“remoteCommand”);
objを返す。
}
SECS-IIメッセージロギングは、XML SECS-IIメッセージ表記法（SMN）と呼ばれるSEMI標準を使用して実装されています。
これがどのようなものか、簡単な例を挙げて説明します。
「オンラインデータ」：S1F2
< L [2]
>
.
「選択された機器の状態要求」：S1F3 W
< L [2]
>
.
「選択された機器の状態要求」：S1F3 W
< L [11]
>
.
「選択された機器の状態データ」：S1F4
< L [1]
>
.
「ステータス変数名リスト要求」：S1F11 W
< L [0]
>
.
「ステータス変数名リスト応答」：S1F12
< L [1]
< L [3]
>
>
.
「通信要求の確立」：S1F13 W
< L [0]
>
.
「通信要求の確認」：S1F14
< L [2]
< L [2]
>
>
.
よくあるご質問
EIGEMSimとは何ですか？
EIGEMSimは、物理的な機器を必要とせずに、SECS/GEMおよびGEM300の通信テスト、開発、および工場自動化の検証を行うために設計された半導体製造装置シミュレータです。
EIGEMSimにおいてプログラミングが重要な理由は何ですか？
EIGEMSimでのプログラミングにより、エンジニアは機器の動作をカスタマイズしたり、SECS/GEMメッセージをシミュレートしたり、テストシナリオを自動化したり、本番環境への展開前にホスト通信を検証したりすることができます。
EIGEMSimでは、どのプログラミング言語がサポートされていますか？
EIGEMSimは、統合要件に応じて、C#、Python、その他のWindows互換プログラミング環境などの言語を使用したスクリプト作成と自動化を一般的にサポートしています。
EIGEMSimはSECS/GEMとGEM300間の通信をシミュレートできますか？
はい。EIGEMSimは、アラーム、イベント、データ収集、レシピ管理、機器の状態遷移など、SECS/GEM、HSMS、およびGEM300の通信ワークフローをシミュレートできます。
半導体自動化テストにEIGEMSimを使用するメリットは何ですか？
EIGEMSimは、開発時間の短縮、統合リスクの最小化、SECS/GEM通信の検証、MES接続のテスト、および実際の機器導入前の半導体工場自動化の信頼性向上に役立ちます。