クライアント： フィリピンの大手半導体製造工場
産業： 半導体製造
使用製品: eInnoSys社製EIGEMBox
装置： Disco DFG8560 バックグラインダー。フィリピンの大手半導体メーカーであるクライアントは、自動化における重大なボトルネックに直面していました。高性能ウェハー薄化装置である同社のDisco DFG8560 バックグラインダーには、SECS/GEM 通信機能がネイティブで搭載されていませんでした。この制限により、製造実行システム (MES) および自動マテリアルハンドリングシステム (AMHS) との統合が妨げられ、以下のような問題が発生しました。

  • 手動データロギングとレシピ管理
  • 人為的ミスのリスク増加
  • 限定的な遠隔監視および制御
  • 設備総合効率（OEE）の低下

機器のアップグレードや新型への交換は、推定費用が3万ドルを超えるため、経済的に実現不可能だった。

解決策

この半導体製造工場は、eInnoSys社と提携してEIGEMBoxを導入しました。この特許取得済みのプラグアンドプレイソリューションは、既存の装置にハードウェアやソフトウェアをインストールすることなく、SECS/GEM機能を追加できます。

EIGEMBoxは、ディスプレイ出力（HDMI）とオプションのキーボード/マウスポートのみを使用して、マシンのGUIをキャプチャし、SECS/GEM互換信号に変換しました。これにより、以下のことが可能になりました。

  • ホストとの完全な通信
  • リモート起動/停止とレシピのダウンロード
  • リアルタイムデータ収集と障害検出
  • E84/E87プロトコルを使用したAMHSのシームレスな統合

セットアップは1時間足らずで完了し、グラインダーの稼働停止やリスクは一切ありませんでした。

テストと検証

この統合は、一連の厳格なテストを通じて検証されました。

  • レシピ管理: リモートでのレシピのダウンロードと実行を検証しました。
  • データロギング： リアルタイムでのパラメータ交換と履歴データの取得を確認しました。
  • オートメーション： リモートでの起動/停止およびアラーム監視を有効にしました。
  • AMHSとの互換性： 工場のE84/E87ベースのマテリアルハンドリングシステムとの統合に成功しました。

すべての試験は高い信頼性で合格し、グラインダーの性能に悪影響は見られなかった。

結果

  • 以前はSECS/GEMに準拠していなかったツールで、100%のSECS/GEM準拠を達成しました。
  • 導入期間中の機器停止時間はゼロ。
  • 自動化と手作業の削減により、OEE（総合設備効率）が向上した。
  • コスト削減：機器の交換を回避することで、3万ドル以上を節約できました。
  • 歩留まり向上：プロセス制御の改善により、年間約194枚のウェハーの廃棄を回避しました。

クライアントフィードバック

「EIGEMBoxのおかげで、当社の旧型装置であるDisco DFG8560を、1時間足らずで完全自動化されたSECS/GEM準拠の装置へと変革することができました。統合はスムーズで、製造工場の効率向上に即座に効果が現れました。現在、他の旧型装置にもこのシステムを導入しているところです。」

— 半導体メーカー（フィリピン）のファブオートメーション責任者。高額なアップグレード費用をかけずに、既存の半導体製造装置を最新化する準備はできていますか？

もっと詳しく見る EIGEMBox SECS/GEM準拠を即座に実現し、製造工場の自動化を促進できます。
📞 無料相談またはデモをご希望の方は、今すぐお問い合わせください。

🔗 eInnoSys.comをご覧ください| ✉️ sales@einnosys.com