SECS/GEMおよびGEM300による半導体製造装置自動化ソリューション

SECS/GEM（SEMI Equipment Communications Standard / Generic Equipment Model）は、半導体製造装置と工場ホストシステム間の通信を可能にする標準プロトコルであり、自動化、データ交換、および制御を目的としています。

GEM300は、SECS/GEMをベースとした高度なSEMI規格であり、300mmウェハ製造工場向けに設計されています。材料追跡、キャリア管理、完全自動化された工場統合などの追加機能が含まれています。

SECS/GEMの統合により、リアルタイムでの機器監視が可能になり、生産効率が向上し、手作業による介入が削減され、スマートファクトリーやインダストリー4.0の取り組みが支援されます。

はい、SECS/GEMは専用ソフトウェアソリューションを使用することで、既存の機器にも後付けすることが可能です。これにより、旧型の機械を最新のMESや工場自動化システムに接続できるようになります。

GEM300は、半導体製造において、ウェハー追跡の改善、自動化の強化、プロセス制御の向上、エラーの削減、および総合設備効率（OEE）の向上を実現します。