当社のクライアントは、フィリピンに拠点を置く著名な半導体製造会社であり、世界市場向けに高品質な半導体部品の製造を専門としています。同社の製造現場には、フォトリソグラフィ工程に不可欠なDNS SKW-80A-BVPフォトレジストコーター現像機をはじめとする最先端の設備が備えられています。

課題：

クライアントは、SECS/GEM規格を使用して、DNSツールSKW-80A-BVPを既存のファクトリーホストおよび製造実行システム（MES）に統合する際に、重大な課題に直面しました。主な課題は以下のとおりです。

自動化の欠如: 手作業によるデータ収集プロセスは、非効率性と意思決定の遅延につながった。

ツールとの互換性に制限があります。 このツールのネイティブインターフェースにはSECS/GEM機能が組み込まれていなかったため、工場の集中管理システムとの通信が複雑になった。

運用の非効率性: 手作業による介入はサイクルタイムを増加させ、全体的な生産性と収量に影響を与えていた。

半導体業界で競争力を維持するために、顧客は自動化の強化、プロセス制御の改善、データに基づいた意思決定の実現のために、シームレスなSECS/GEM通信プロトコルが必要であることを認識した。

解決策

Einnosys社は、DNS SKW-80A-BVPツールと顧客のMESとの互換性のギャップを埋めるため、プラグアンドプレイ方式のSECS/GEMソリューションであるEIGEMBoxの導入を提案しました。導入プロセスは以下の手順で行われました。

カスタマイズされた統合：

EIGEMBoxは、ツールのネイティブインターフェースから主要な運用データを収集し、それをSECS/GEMプロトコルに変換するように構成されています。

スピン速度、温度、フォトレジストの塗布厚さなどのパラメータは、MESへのシームレスなデータ送信のためにマッピングされた。

自動通信設定：

EIGEMBoxは、ツールとMES間のリアルタイム監視と双方向通信を可能にし、データロギングとリモート制御コマンドの両方をサポートしました。

重大な警報と通知機能が統合され、オペレーターに異常を知らせ、迅速な是正措置を確実に実施できるようにした。

オペレーターフレンドリーなインターフェース:

オペレーターがツールのパフォーマンスを視覚化し、診断情報に効率的にアクセスできるように、使いやすいダッシュボードが提供された。

オペレーターがツールのパフォーマンスを視覚化し、診断情報に効率的にアクセスできるように、使いやすいダッシュボードが提供された。

テストと検証

統合の堅牢性を確保するため、以下のプロセスが実施されました。

シミュレーションテスト： 展開に先立ち、SECS/GEM通信プロトコルは、その互換性と信頼性を検証するために、シミュレーション環境で徹底的にテストされた。

パフォーマンス監視： EIGEMBoxは、初期運用中に監視され、ボトルネックを特定して修正した。

オペレーターのフィードバック: クライアントのチーム向けに包括的な研修セッションを実施し、彼らのフィードバックを取り入れてシステムを改良した。

結果

EIGEMBoxの導入は、クライアントに革新的な成果をもたらしました。

効率の向上: 自動化によりサイクルタイムが25%短縮され、スループットが大幅に向上した。

リアルタイムデータ利用可能性： このツールはMESとシームレスに連携し、品質管理に不可欠なリアルタイムのプロセスデータを提供する。

収量の向上: 精密な監視と制御を可能にすることで、顧客はプロセス歩留まりが15%向上したことを確認した。

操作のしやすさ: 直感的なダッシュボードにより、オペレーターの学習曲線が最小限に抑えられ、生産性が向上した。

スケーラビリティ： EIGEMBoxのプラグアンドプレイ方式のおかげで、クライアントは最小限の労力で他のツールにも同様のソリューションを適用することができた。

フィードバック

クライアントは満足を表明しました EIGEMBoxソリューションそして、それが彼らの製造プロセスに与える影響を強調した。

「EIGEMBoxの統合は、当社にとって画期的な出来事でした。DNSツールとMES間のギャップをシームレスに埋め、新たなレベルの自動化と効率性を実現してくれました。特に、導入の速さとEinnosysチームによるサポートには感銘を受けました」と、半導体工場のオペレーションマネージャーは述べています。