クライアントの概要

大手半導体メーカーは、ウェハ洗浄に不可欠な旧式のスクリーン洗浄装置AS-2000で生産効率の低下に直面していた。この装置にはSECS/GEM接続機能がなかったため、オペレーターはプロセスデータを手動で記録する必要があり、その結果、インダストリー4.0対応の工場において、遅延、エラー、コンプライアンスリスクが発生していた。

課題

運用上のボトルネックには以下が含まれます。

リアルタイム監視なし： 手作業によるデータ記録は、欠陥検出の遅延を引き起こした。

非標準プロトコル： そのスクラバーは独自のインターフェースを使用しており、工場のSEMI E84/E87ベースのMESとは互換性がなかった。

コンプライアンスのリスク: FDA/ISO監査のためのデータロギングを自動化できない。

ダウンタイムコスト: 1シフトあたり15分以上が手作業による確認に費やされている。

機能ハイライト：

コード変更なし： スクラバーのOEMソフトウェアには一切変更を加えていません。

FDC統合： 粒子数異常値の検出機能を有効にしました。

レシピ同期: MESからのE87レシピの自動ダウンロード。

解決策

クライアントは、プラグアンドプレイ式のSECS/GEM通信ゲートウェイであるEIGEMBoxを導入し、スクラバーに以下の機能を後付けしました。

SEMI E30/GEM準拠

E84/E87 レシピ管理

リアルタイム機器追跡

主な実装手順:

プロトコル分析: EIGEMBoxのエンジニアは、スクラバーの独自インターフェースをリバースエンジニアリングした。

ハードウェアの統合: 通信を橋渡しするために、非侵襲型のエッジモジュールを設置しました。

GEMスクリプト： SEMI規格に準拠したイベントレポート（プロセス開始/終了、アラームなど）を設定します。

MESテスト： 顧客のApplied Materials MESとのデータフローを検証済み。

4ヶ月で投資対効果を達成

クライアントフィードバック

「EIGEMBoxのおかげで、当社のAS-2000はデータブラックホールからスマートでコンプライアンスに準拠したツールへと生まれ変わりました。手作業によるログ記録のエラーが解消され、スマートファブのロードマップを加速させることができました。」

— プロセスエンジニアリングマネージャー