顧客プロフィール：シンガポールに拠点を置く大手半導体製造会社。高精度なウェハー検査プロセスと半導体業界におけるイノベーションへの取り組みで高い評価を得ている。

産業分野：半導体製造

課題：

クライアントは、既存のACCRETECH SS20ウェハ検査ツールと製造実行システム（MES）間のデータ通信の自動化において課題を抱えていました。手動によるデータ入力は非効率性、意思決定の遅延、およびオペレーターによるエラーのリスク増加につながっていました。さらに、標準化されたSECS/GEM統合の欠如は、工場自動化ロードマップの拡張性を阻害​​していました。

解決策：

これらの課題に対処するため、小型でプラグアンドプレイ方式のSECS/GEM接続ソリューションであるEIGEMBoxが導入されました。これにより、ツールのファームウェアに大幅な変更を加えることなく、SS20ツールとMES間のシームレスな通信が可能になりました。

ソリューションの主な要素は次のとおりです。

  • EIGEMBoxのモジュール式構成システムを使用したSECS/GEMの迅速な有効化
  • プロセス追跡のためのGEMイベントとデータ変数のカスタムマッピング
  • ホストシステムからのツールのリアルタイム監視と制御
  • 導入時のダウンタイムを最小限に抑え、中断のない運用を保証します。

テストと検証:

統合プロセスは、シミュレーション、検証、および本番環境でのテストからなる構造化された計画に従って実施された。

  • 初期シミュレーション： SS20のデジタルツインが、制御された環境下でGEMイベントをテストするように構成された。
  • フィールド検証: 工具へのインストールとMESとのハンドシェイク検証は、3日間かけて実施された。
  • 生産テスト: 実際のジョブ実行サイクルを監視し、500枚以上のウェハーを処理して、データの精度と通信の信頼性を評価した。
  • メッセージ交換において不一致は確認されず、ログ診断によりトランザクションの一貫性が100%であることが確認された。

結果について

  • SECS/GEMに100%準拠： SEMI規格に完全に準拠することで、クライアントはインダストリー4.0の実践に向けて規模を拡大することができました。
  • 手作業による介入を80%削減： データの自動取得と業務割り当てにより、業務効率が向上した。
  • リアルタイムの可視性: エンジニアはウェハー検査の性能を遠隔で把握できるようになり、対応力が向上した。
  • 標準化されたフレームワーク： 1回のシステム統合により、顧客は自社工場全体における将来のツール導入のための青写真を確立した。

クライアントからのフィードバック:

「SECS/GEM統合のための非侵襲的なソリューションには当初懐疑的でしたが、EIGEMBoxは柔軟性と性能の両面でその真価を発揮しました。シームレスなセットアップと分かりやすいドキュメントのおかげで、複雑な作業が驚くほど簡単にできました。現在、他の既存機器への同様の導入を検討しています。」

– 自動化部門 上級機器マネージャー