고객: 필리핀의 선도적인 반도체 제조 업체
업종 : 반도체 제조
사용한 제품: eInnoSys의 EIGEMBox
장비: Disco DFG8560 백 그라인더. 필리핀의 주요 반도체 제조업체인 고객사는 심각한 자동화 병목 현상에 직면했습니다. 고성능 웨이퍼 박막화 장비인 Disco DFG8560 백 그라인더는 SECS/GEM 통신 기능을 기본적으로 지원하지 않았습니다. 이러한 제약으로 인해 공장의 MES(제조 실행 시스템) 및 AMHS(자동 자재 처리 시스템)와의 통합이 어려워졌고, 그 결과 다음과 같은 문제가 발생했습니다.

  • 수동 데이터 기록 및 레시피 관리
  • 인적 오류 위험 증가
  • 제한적인 원격 모니터링 및 제어
  • 전반적인 설비 효율(OEE) 감소

장비를 업그레이드하거나 신형 모델로 교체하는 것은 예상 비용이 3만 달러를 초과하여 재정적으로 타당하지 않았습니다.

해법

해당 반도체 제조 시설은 eInnoSys와 협력하여 EIGEMBox를 구축했습니다. 이 특허받은 플러그 앤 플레이 솔루션은 장비 자체에 하드웨어 또는 소프트웨어를 설치할 필요 없이 기존 장비에 SECS/GEM 기능을 추가합니다.

EIGEMBox는 디스플레이 출력(HDMI)과 선택 사양인 키보드/마우스 포트만 사용하여 기기의 GUI를 캡처하고 이를 SECS/GEM 호환 신호로 변환했습니다. 이를 통해 다음과 같은 기능이 가능해졌습니다.

  • 호스트와의 완전한 통신
  • 원격 시작/정지 및 레시피 다운로드
  • 실시간 데이터 수집 및 오류 감지
  • E84/E87 프로토콜을 사용한 원활한 AMHS 통합

설치는 한 시간도 채 걸리지 않았으며, 분쇄기 작동에 지장이나 위험은 전혀 없었습니다.

테스트 및 검증

해당 통합은 일련의 엄격한 테스트를 통해 검증되었습니다.

  • 레시피 관리: 원격 레시피 다운로드 및 실행이 검증되었습니다.
  • 데이터 로깅: 실시간 파라미터 교환 및 이력 데이터 수집이 확인되었습니다.
  • 자동화 : 원격 시작/정지 및 알람 모니터링 기능을 활성화했습니다.
  • AMHS 호환성: 해당 공장의 E84/E87 기반 자재 처리 시스템과 성공적으로 통합되었습니다.

모든 테스트는 높은 신뢰도로 통과했으며, 분쇄기 성능에 부정적인 영향은 관찰되지 않았습니다.

결과

  • 기존에 SECS/GEM 규정을 준수하지 않았던 장비가 100% 규정을 준수하게 되었습니다.
  • 배포 중 장비 가동 중단 시간이 전혀 없습니다.
  • 자동화를 통해 OEE를 개선하고 수작업 개입을 줄였습니다.
  • 비용 절감: 장비 교체를 피함으로써 3백만 달러 이상을 절감했습니다.
  • 수율 향상: 공정 제어 개선으로 연간 약 194개의 웨이퍼 폐기를 방지했습니다.

고객 피드백

“EIGEMBox를 통해 기존의 Disco DFG8560 장비를 한 시간도 채 안 되는 시간에 완전 자동화된 SECS/GEM 규격 준수 장비로 전환할 수 있었습니다. 통합 과정은 완벽했고, 생산 효율성 향상 효과는 즉각적이었습니다. 이제 다른 기존 장비에도 이 기술을 적용하고 있습니다.”

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