반도체 제조 공장에서 과거 경보 분석을 통해 반복적인 CMP 공정 경보를 제거한 방법

한 주요 반도체 제조 업체는 기존 경보 시스템의 분석 기능 부족으로 인해 반복적으로 발생하는 CMP 공정 경보의 유효성을 검증하는 데 어려움을 겪었습니다. 엔지니어들은 eInnoSys 경보 관리 시스템(AMS)을 사용하여 과거 경보 추세를 분석하고, 특정 장비에서 반복적으로 발생하는 공정 편차를 파악했으며, 레시피 변경 승인을 받고, 데이터 기반 의사 결정을 통해 오후 시간대에 반복적으로 발생하는 경보 급증 현상을 성공적으로 해결했습니다.

주요 결과

• 근본 원인 분석 속도 80% 향상
• 반복적인 프로세스 경보 발생률 50% 감소
• 100% 과거 알람 내역 확인 가능
• 데이터 기반 엔지니어링 의사 결정이 90% 더 높아졌습니다.
• 공정 레시피 변경 승인 속도 향상