허니웰을 위한 기존 제조 설비 혁신

Honeywell은 Einnosys 스마트 팩토리 솔루션을 사용하여 값비싼 OEM 업그레이드나 생산 중단 없이 기존 반도체 장비를 현대화했습니다.

Einnosys는 EIGEMBox를 사용하여 기존 모니터, 키보드 및 마우스 포트를 통해 SPTS 드라이 에칭 및 Novellus 시스템에 대한 SECS/GEM 연결을 비침습적으로 구현하여 하드웨어 수정이 필요 없도록 했습니다.

Einnosys는 또한 다음을 구현했습니다.

• EIS 스테이션 컨트롤러 - 자동화된 레시피 관리 및 실시간 FDC 데이터 수집을 위해
• 시어사이트 - 예측 분석 및 스마트 장비 모니터링을 위한 AI FDC
• XPump - 진공 펌프 예측 유지보수를 위한 AI 모니터링
• EIGaugeMonitor - 아날로그 게이지 판독값을 디지털 공정 데이터로 변환하기 위한

주요 결과

• 불량률 및 수작업 공정 오류 감소
• 실시간 모니터링을 통해 예측 유지보수를 활성화했습니다.
• 가동 중단 없는 구현을 달성했습니다.
• OEM 업그레이드 비용 부담을 줄였습니다.
• 통합 SCADA/FDC 대시보드를 통해 제조 공장 전체의 가시성 향상