완전 반(反)준수
플러그 앤 플레이 SECS/GEM
SECS/GEM, Modbus 및 OPC 통합 (장비 변경 없이)
EIGEMBox는 기존 반도체 장비에 SECS/GEM, Modbus 또는 OPC 기능을 추가하는 플러그 앤 플레이 솔루션입니다. 장비 자체에 소프트웨어나 하드웨어를 설치할 필요가 없습니다. 장비의 디스플레이 케이블(VGA, DVI 또는 HDMI)과 선택적으로 키보드/마우스 포트(USB 또는 PS/2)를 연결하기만 하면 EIGEMBox를 통해 호스트와의 완벽한 통신 및 원격 제어가 가능합니다. EIGEMBox는 다양한 시나리오에서 성공적으로 활용되어 왔습니다. 예를 들어, 완전한 파라미터 교환 및 지연 시간 단축을 통해 SECS/GEM 통신을 향상시키거나, 200MM 팹에서 AMHS(E84/E87) 통합을 지원하고, 기존 SECS/GEM의 한계를 뛰어넘는 비표준 데이터를 추출하여 고급 모니터링 및 자동화를 지원하는 데 사용될 수 있습니다.
MES, 추적성 및 인더스트리 4.0을 위해 기존 장비를 디지털화하는 가장 빠른 방법
완전 반제품 E30, E37, E5, E4, E23, E39, E40, E84, E87, E90, E94 및 E116 규격 준수.
장비 업그레이드 비용을 수백만 달러 절감할 수 있습니다.
가동 중지 시간 최소화 – 몇 주에 걸쳐 장비 가동 중지 시간은 단 몇 시간만 필요합니다.
엔지니어링 시간을 대폭 절약할 수 있습니다. 장비 변경이 필요 없으므로 레시피를 다시 검증할 필요가 없습니다.
원격 진단이 가능하여 매년 수백 시간의 엔지니어링 시간을 절약할 수 있습니다.
수천 달러에 달하는 추가 소프트웨어 라이선스 비용을 절감할 수 있습니다. 장비 화면에서 웨이퍼 맵이나 기타 차트를 자동으로 저장할 수 있습니다.
이제 OEE 기반 E10 실시간 장비 성능 가시성 기능이 강화되었습니다.
이제 AMS(SECS/GEM 기반 지능형 경보 관리 및 자동화) 기능으로 더욱 향상되었습니다.
80개 이상의 FAB 및 OSAT 장비에 성공적으로 구현되었습니다.
EIGEMBox로 장비 업그레이드
다음은 EIGEMBox를 사용하여 SECS/GEM용으로 업그레이드된 장비의 일부 목록입니다 . 전체 목록을 원하시면 당사에 문의하십시오.
일부 장비 목록 - FAB
- KLA 서프스캔
- 바리안 3290
- 다카토리
- 에바 라
- 플라즈마 열
- MRC 이클립스
- KLA 써마웨이브
- 시데아 PT-903
- CDE 리스맵
- 아크레텍 PG300RM
- 텔 알파 8 SE
- ASM E2000
- SPTS
- 히타치 M-511AE
일부 장비 목록 - 조립 및 포장
- 디스코 651/641
- 블루 엠 오븐
- 토와 Y1
- Asterion
- 부다텍
- 오르토다인
- 에센텍 폭스 & 파라구다
- 타카토리 ATM 8200A
- ASM AD898
- 이스메카 SL
- 헥사 맥스
- 센트로텀 CP6202
EIGEMBox: OEE 및 AMS를 통한 더욱 스마트한 장비 연결 솔루션
이제 다음과 같은 기능으로 더욱 향상되었습니다. OEE(전체 장비 효율성) & AMS(경보 관리 시스템)
실시간 OEE 분석 및 스마트 알람 제어를 통해 장비 성능을 극대화하세요.
2026 자동화 규정 준수 참고 사항: EIGEMBox는 최신 고처리량 제조 공정을 완벽하게 지원하도록 최적화되어 있으며, 내부 소프트웨어 수정 없이 SEMI E84, E87 표준을 즉시 준수해야 하는 기존 장비와의 무중단 통합을 제공합니다.
SECS/GEM 및 GEM300 규정을 완벽하게 준수하는 레거시 도구로 업그레이드하세요.
SECS/GEM 및 GEM300 규격 준수를 통해 기존 장비를 업그레이드하고, 반도체 장비를 현대화하여 원활한 공장 자동화 및 장비 연결을 구현하십시오.
EIGEMBox가 SECS/GEM 통합을 간소화하고 스마트 팩토리 도입을 가속화하는 방법을 살펴보세요.
고객 사례
치명적인 연삭 불량 방지: 웨이퍼 손실률 0% 달성
웨이퍼 폐기물을 없애고 장비 신뢰성을 향상시키세요. 대만의 한 선도적인 반도체 제조업체가 어떻게 웨이퍼 손실률 0%를 달성했는지 알아보세요.
세계 최대 규모의 OSAT(운영체제 승인 테스트) 업체 중 한 곳에서 정시 납품 목표 달성을 지원하세요.
SECS/GEM 규정을 완벽하게 준수하고 생산성을 두 배로 높이며 레시피 오류를 제거함으로써 선도적인 OSAT에서 정시 납품을 가능하게 했습니다.
허니웰의 생산량 향상
실시간 모니터링 및 예측 유지보수를 통해 불량률을 줄이고, 비용이 많이 드는 업그레이드를 방지하며, 사후 대응식 운영에서 벗어나 자동화된 운영 방식으로 전환했습니다.
기술 컨설팅 일정 잡기
OEM 및 FAB/ATP 요구사항에 대해 당사 전문가와 상담하고 귀사의 운영에 적합한 솔루션을 찾아보십시오.
백서
차세대 제조를 위한 AI/ML 기반 예측 분석 및 스마트 결함 감지
Einnosys의 AI/ML 기반 예측 유지보수 및 스마트 고장 감지 프레임워크인 xPump로 스마트 공장 자동화의 미래를 열어보세요.
관련 제품 및 서비스
자주 묻는 질문.
EIGEMBox란 무엇인가요?
EIGEMBox는 반도체 또는 FPD 장비를 공장 호스트 시스템에 원활하게 연결할 수 있도록 하는 플러그 앤 플레이 방식의 SECS/GEM 통신 하드웨어 및 소프트웨어 솔루션입니다.
EIGEMBox는 어떤 SEMI 표준을 지원합니까?
EIGEMBox는 SEMI E30, E37, E5 및 E4 표준을 완벽하게 지원하여 안정적인 장비-호스트 통신을 위한 GEM 및 SECS-II 규정 준수를 보장합니다.
EIGEMBox는 구형 또는 레거시 장비와 통합할 수 있습니까?
예. EIGEMBox는 SECS/GEM 통신 기능이 내장되어 있지 않은 구형 장비를 개조하여 최신 공장 자동화 요구 사항을 충족할 수 있도록 설계되었습니다.
EIGEMBox는 GEM300 또는 300mm 장비와 호환됩니까?
예. EIGEMBox는 300mm 웨이퍼 처리 시스템용 SEMI E87, E90, E94 및 E116을 포함한 GEM300 통신 표준을 지원하도록 구성할 수 있습니다.
EIGEMBox를 SECS/GEM 통신에 사용하면 어떤 이점이 있습니까?
EIGEMBox는 통합을 간소화하고, SECS/GEM 규정 준수를 가속화하며, 개발 시간을 단축하고, 전 세계 Tier-1 반도체 제조 시설과의 안정적이고 신뢰할 수 있는 호스트 통신을 보장합니다.
eInnoSys는 EIGEMBox에 대한 지원 및 설치 서비스를 제공합니까?
예. eInnoSys는 귀사의 장비가 SECS/GEM 규정 준수 요건을 충족하도록 완벽한 구현, 테스트 및 인증 지원을 제공합니다.
EIGEMBox는 OHT, AGV 또는 RGV 시스템과 연결할 수 있습니까?
예. EIGEMBox는 E84 I/O 모듈과 결합될 경우 OHT, AGV, RGV와 같은 자재 처리 시스템과의 통신을 통해 자동화된 로트 배송이 가능합니다.
EIGEMBox를 사용하려면 장비에 별도의 소프트웨어를 설치해야 하나요?
아니요. EIGEMBox는 완전한 플러그 앤 플레이 방식이며 장비 자체에 소프트웨어나 하드웨어를 설치할 필요가 전혀 없습니다. 디스플레이 출력(VGA/DVI/HDMI)에만 연결하면 되며, 선택적으로 키보드 및 마우스 포트에도 연결할 수 있습니다. 장비 컨트롤러는 전혀 수정되지 않으며 펌웨어 업데이트, 드라이버 또는 소프트웨어 에이전트 없이도 설계된 대로 정확하게 작동합니다.
EIGEMBox를 사용하면 장비 속도 저하나 시스템 충돌과 같은 부작용이 발생할까요?
아니요. EIGEMBox는 장비 컨트롤러에 직접 연결되지 않고 외부 디스플레이 및 입력 포트를 통해서만 연결됩니다. 따라서 부작용, 충돌, 성능 저하, 타이밍 문제 또는 장비 정상 작동 방해가 전혀 없습니다. 이 도구는 기존과 동일하게 작동합니다.
EIGEMBox는 어떤 종류의 장비와 호환되나요?
EIGEMBox는 제조사, 연식, 운영 체제에 관계없이 디스플레이 출력을 갖춘 거의 모든 반도체 장비와 호환됩니다. 전 세계적으로 80개 이상의 장비에 적용되어 사용 중이며, 여기에는 계측 장비(KLA, Therma-wave), 증착 장비(ASM, MRC), 에칭 장비(Plasma-Therm, SPTS), 이온 주입 장비(Varian), 재료 처리 시스템(Takatori) 등이 포함됩니다. DOS, Windows 3.1, Linux, Solaris 또는 자체 개발 운영 체제를 사용하는 장비도 완벽하게 지원됩니다.
원래 장비 제조업체(OEM)의 허가나 지원이 필요한가요?
아니요. EIGEMBox는 OEM 라이선스, 업그레이드 키트, 지원 계약 또는 권한이 필요하지 않습니다. 이는 특히 제조업체가 합병되거나 인수되었거나 더 이상 존재하지 않는 도구에 매우 유용합니다. OEM에 의존하지 않고 통합 및 배포를 완벽하게 제어할 수 있습니다.
설치와 설정에는 얼마나 걸리나요?
물리적 설치는 장비의 복잡성에 따라 몇 시간 정도 소요되며, 간단한 비디오 연결과 선택적으로 키보드/마우스 연결이 포함됩니다. EIGEMBox 웹 인터페이스를 통한 초기 구성은 장비의 복잡성과 데이터 요구 사항에 따라 일반적으로 몇 시간에서 1~2일 정도 소요됩니다. 대부분의 고객은 몇 달이 아닌 며칠 내에 실시간 데이터를 수집하고 MES와 통신을 시작합니다.