SECS/GEM 概要：半導体파브のための通信標準

• 그로바르나影響: 半導体製造装置の売上が過去最高水準に達売中、標準ization れた信の要性はまましましたまたてい がまたてい がまたてい がり
• 標準規格:SECS/GEM(SEMI E5/E30)은 は、파브装置와 호스트 시스템(MES/EAP)を接続이 가능한 언어로 て機能는 것입니다.
• 主要構成要素：SECS는 데이타의 흐름에 대해 を担い、GEM は装置の振uru舞い(状態model、리모트제조、아람管리)를 결정합니다.
• 運用上の利点:導入により完全自動化が可能となり, 리어아르타임노데이타収集とピ管理によツて歩留marりが向上向上けり。
• 구현:複雑下는 最新のソftweasoryu-sion에 의해 より統䁌簡素化가 가능하며, 装置ごとにcastamcodeを書 ku となしケり可能となり 있습니다.

소개

現代の半導体파브니足を踏umi入れ루と、로봇암が舞い、FOUPが天井の搬送레이르を高速下移動し、크리룸룸の光明が規則正しku点滅していり光景が広がuruしょу。しなし、이 오케스트라を指揮していり는 "真の指揮者"は目に見えません입니다.

SEMI(2025년)에 의해서는 、세계의 半導体製造装置시장場は AI や高性能con퓨팅向け칩需要の急増により、2025年に1,330달러에 도달하는 것은 거의 불가능합니다.標準化 れた仕組miがなければ、とければ、とけぎません.

이 곳은 무겁다 SECS/보석 입니다. 이 부분은 프로트코르에서 가능하지 않으며, 파브의 신経系そのもの입니다.SECS/GEMがなければ、数十億dr規模の工場は孤立した装置の集体に過ぎません。SECS/GEMがあて初めて、人の介介なしににななめまとり레베르노트랜지스타を生産데키루、統交傌ためりめて、人の介介なしになをしましま し 。

나보파브데는 接続性이 要なのな

初期の半導体製造دは、오페레이타-が핸드동데레시피로로드시、「스타트」보탄を押していました。しなし、その時代는 ぎ去のもの 것입니다. 現代のfabは "라이트 어우트"運転が基本으로, 자동화는 支配してい마스입니다.

課題は、Fァが技術的은 「바벨노상」이 됩니다.카리포르니아製の엣챠 ―、오란다의 露光装置、日本製の成膜装置――それぞれが独自の内part言verbを話しまс。

이 것을 사용하기 위해서는 이 방법을 사용하세요. SECS/보석 標準은 입니다. 이 프로트콜에 의해, MES や EAP 등의 호스트 시스템은 벤다を問わず任意の装置に동일한 방법으로 코만드を送信し、予測可能な応答を得り이것으로 하세요.結果として、바라바라나独自ソftweaの集体が、統一しれた生産rainへと変わりまс。

SECS/GEM이 뭐죠?

SECS/GEM은 SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)가 결정하는 유일한 방법입니다.

이 말은 2つの異なり役割に分けて考えuruとり解しやしやしめなりまし。

「SECS」― 멧센쟈

SECS는 반도체 장비 통신 표준 の略Desc입니다.SECS は配送trackのよуな存 여기에서、「中身」には関心を持たず、데이타を안전에 A 地点로부터 B地点へ運ぶとに専念しまс。

• 세미 E5(SECS-II): 멧세이지의 「문법」を정의의。状態要求、레시피送信、에라 報告などの標準멧세이지を規定。
• SEMI E37(HSMS)：最新の通信層。SECS 멧세이지を TCP/IP(이더넷)상에서 送信。
• 세미 E4(SECS-I)：RS-232 시리아아르 통신은 사용하는 데 사용됩니다.

「GEM」― 行行規範

GEM(일반 장비 모델 / SEMI E30)은
SECS는 が配送트락크가 아니고, GEM은 は運転MANUAL입니다.

보석は、装置が特況の状況下どのよよに振ru舞恹木 を明確に規定しま с 。여기에より、異なuru装置下あても 「START」명령은 が完全に一致しまс。

内부분데노동작원리

SECS/GEM은 Streams & Functions(SxFy) 라고 하면 됩니다.

• 스트림(S): 大分類(例:S1=装置状態、S6=데이타収集)
• 기능(F): 具体의 な操작용

일반적으로 사용되는 예:

• 호스트 → 装置(S1F1): 「온라인인가?」
• 装置 → HOST(S1F2) : 「온라인입니다」
• 호스트 → 装置(S2F41) : 「START」
• 装置 → 호스트(S2F42) : 「코만드受信」

이것은 厳密な構造により、曖昧とない自動化が実現しまс。

GEM 準拠인타페스의 주인

리모트제조

装置の開始・停止、레시피選択、搬送御をしべて遠隔下実行可能。

알람 관리

障害発生시계에 標準형태의 가게가 있습니다.

데이터 수집

이벤트베이스・시간베이스의 데이타収集により、歩留まり解析や APC を実現。

現代現代FABR에 あけり SECS/GEM 導入

SECS/GEM은 더 많은 OEM SDK를 사용하여 제조할 수 있으므로 기본적으로 제조할 수 있습니다.

주요 내용 :

• 레가시 装置の対応
• GEM 準拠性の検証
• GEM300(300mm 자동화)への対応

정리

SECS/GEM은 は、半導体FァけにたけRU知能化の設計図입니다.
次代装置を開発suru OEM으로 とても、効率を最大化したいFァ運営主にとても、SECS/GEMの理解は「選択肢」DERはなku 「必須条件」입니다.

자주 묻는 질문