SECS/GEM & GEM300: 현대 사회를 위한 통합 가이드

요약

• 글로벌 영향: 전 세계 최고의 생산 능력이 있다고 생각하기 때문에 효율적으로 선택하는 것이 아니라 산업의 생명선이 더 좋습니다.
• 표준 그리드: SECS/GEM은 단일 프로세서가 아니라 E4, E5, E37, E30 등으로 배치형 통합 모음으로, 장비가 설비 호스트와 "대화"할 수 있습니다.
• GEM300의 진화: 300mm에서는 기본적으로 GEM만으로는 충분하지 않습니다. GEM300 스위트(E39, E40, E87, E94, E90)는 전송 관리 및 작업 처리와 같은 복잡한 물류를 통합합니다.
• 형태: 레거시 직렬 연결(SECS-I)에서 HSMS(HSMS)로의 전환은 현대적인 데이터 처리량을 위해입니다.
• 효과: 적절한 형태는 통합 시간을 잊을 수 있도록 분리되어 드라이버의 "스파게티" 코드를 제거합니다.

소개

집에서 말하는 파이오니아라고 하는 말을 하면, 억억 달러짜리 장비들이 밀리초 단위로 일하는 남성을 속삭여야 한다고 믿는 것을 조정해 보세요. 정말 정말 그렇군요. SEMI의 World Fab Forecast(2024)에 따르면 올해 전 세계적으로 생산 능력은 월 3,000만 같다는 생각에 최고에 해당할 전망입니다. 이를 통해 공급망을 이동하는 양의 실리콘을 의미하며, 이 모든 과정은 공유 없이는 불가능합니다.

이 제조 교향곡의 심장에는 SECS/GEM이 있습니다. SECS/GEM은 의 숨은 영웅으로, 캘리포니아의 장식품이 독일에서 개발된 호스트 시스템과 관련되게 대화할 수 있게 해주는 언어입니다. SECS/GEM이 순종은 본질적으로 고가의 섬에 속한 소규모 나노미터 크기의 저항하는 데 필요한 정밀한 관계를 할 수 있는 방법을 제조하는 것입니다.

200mm 레거시라인을 견딜 수 있는, 첨단 300mm 기능을 견딜 수 있는, 이러한 표준을 이해하는 것이 필수입니다. 안티 때문에 SEMI 표준 매뉴얼은 선인장을 줄여서 지루할 수 있습니다. 우리는 이를 이해하기 쉬운 언어로 풀어내고 E5, E30 및 강력한 GEM300 표준의 사용자 수프를 안내해 드립니다.

사람들의 중추: SECS/GEM이란?

초심자에게 "SECS/GEM"은 단일 방식으로 작동하지만 실제로는 함께 작동하는 여러 표준의 그리드입니다. 인터넷을 예외려 보세요: 특별한 케이블, IP 주소, HTML 페이지가 SECS/GEM도 특징적인 구조를 제공합니다.

역방향: E4과 E37

데이터가 수집되기 전에 장비와 호스트는 데이터를 처리해야 합니다.

• E4 – SECS-I (직렬): “구세대”입니다. RS-232 직렬 케이블을 사용합니다. 플래고 알고리즘에 따르며 현대의 300mm 에서는 거의 구식입니다. 하지만 200mm 레거시에 20년 된 에처(etcher) 이런 케이블이 흘려보내는 것을 볼 수 있습니다.
• E37 – HSMS: “초고속 SECS 메시지 서비스”입니다. 이 표준은 직렬 케이블을 거부(TCP/IP) 연결로 대체했습니다. 데이터 맵 데이터와 함께 기가바이트 단위의 데이터를 반환할 때 빠른 전송이 이루어집니다.

엠: E5 – SECS-II

연결이 설정되면 구조가 필요합니다. E5 – SECS-II 는 "메시지"를 정의합니다. 통신을 Streams(카테고리)와 Functions(특정 동작)로 나니다눕습니다.

예: S1,F1은 “거기 있어요?”(Are You There Request). S1,F2는 “네, 있어요”(On Line Data)입니다.

E5는 사전을 제공하지만 대화를 어떻게 이어갈 것인지는 없습니다. 가능한 단어를 찾을 수 없습니다.

동작: E30 – GEM

SECS/GEM이 진정으로 살아 있는 곳은 바로 여기입니다. E30 – GEM(General Equipment Model) 표준은 작동 규칙을 정의합니다. 예를 들어 "Remote Mod에 관해서는 이 특정 로봇을 사용해야 합니다"라고 합니다.

E30이 없으면 한 벤더는 S2,F41을 프로세스로 시작하고, 다른 벤더는 같은 코드를 다운로드할 수 있어 방해가 되는 현상이 발생합니다. E30은 모든 GEM 준수 도구에 따라 수행해야 하는 표준 상태 시스템(오프라인, 온라인-로컬, 온라인-원격)을 강제합니다.

왜 작업에 언어가 필요합니까?

왜 모든 과정을 밟아야 할까요? 모든 OEM이 자체 API를 만들게 되기를 희망합니까?

핵심은 확장성 입니다. 현대에는 Applied Materials, Lam Research, Tokyo Electron 근처 같은 30개 이상의 다른 공급업체의 500개 이상의 도구가 있을 수 있습니다. 공장 호스트(MES)가 각 도구 맞춤형 드라이버를 작성해야 통합팀이 잘 작동할 수 있습니다.

SECS/GEM 은 도구와 호스트를 분리합니다.

• 바코드운용성: 호스트 시스템은 장비가 누구와 성공하지 않고 있는지(VID)나 수집 이벤트(CEID)를 요청하는 방법을 확실히 알고 있습니다.
• 수율 공예: 불법화된 데이터 수집자는 불량 판정 및 분류(FDC)를 가능하게 합니다. 상대의 압력이 50ms 동안 급등하면 SECS/GEM이 즉시 보고되어 호스트가 저항할 정도가 처리되기 전에 라인을 멈출 수 있습니다.
• 그래서: 표준 인터페이스는 새로운 장비 설치 시 발생하는 비반복적 엔지니어링(NRE) 비용을 줄입니다.

참고: SECS/GEM이 표준 승리했지만 "준수"라는 의미는 느슨하게 해석될 수 있습니다. 기술적으로 E30 준수 로그 규약을 적용하여 컨테이너를 파괴하는 도구가 있을 수 있습니다. 항상 코코넛 테스트 스위트로 검증하세요.

300mm 혁명: GEM300의 등장

산업이 200mm에서 2000년경 300mm 정도로 이동하면서 무거워진 문제가 발생했습니다. 300mm 맷이 들어 있는 FOUP(Front Open Unified Pod)은 출력이 하루에 가지고 있기에는 너무 무겁습니다. 따라서 업계는 OHT(Overhead Hoist Transports), 자동 저장 시스템 등 완전 자동화를 필요로 했습니다.

기본 SECS/GEM 통합을 통합하여 처리할 수 있습니다. 그래서 E30이 압도적인 것은 “GEM300”이 유명하다는 것입니다. 분리된 완전 자동화는 컵을 관리하기 추가 표준입니다.

E87 – 전송 관리

200mm는 수입가 캐패시터 세트를 장비에 넣기 위해 "시작"을 합니다. 300mm는 로봇이 FOUP을 로드 포트에 내려놓습니다. 장비를 다음으로 이동해야 합니다:

• 이 전송 ID가 무엇인가요?
• 슬롯이 꽂혀있나요?
• 호스트가 이 장비의 처리를 조정하는가?

E87은 “바인드(Bind)”, “캐리어 처리(Proceed With Carrier)”, “캐리어 아웃(Carrier Out)” 상태를 관리합니다. 도구와 AMHS(자동 물류 시스템)가 검증되었음을 알려드립니다.

E40 & E94 – 작업 관리

여기 사람들이 구별하는 경우가 있습니다. 왜 작업에 대해 두 가지 기준이 필요할까요?

• E40 (작업 처리): 실제로 무슨 일이 일어날지 정의합니다. “웨이퍼 1번부터 25번까지 직원 A를 고용합니다.”
• E94(제어 작업): 감독자 역할을 해주세요. 프로세스 작업을 감쌉니다. 제어 작업은 “Process Job 1을 실행하고 꼭 필요한 것을 출력 포트로 이동 알림라”와 같은 우려를 내립니다.

Control Job은 프로젝트 매니저이고, Process Job은 전문적인 하청 업체로 생각할 수 있습니다.

E90 – 킬 추적

완전하게 행동하지 않습니다. 절대. E90 은 호스트가 도구 내부의 모든 것(기판)이 아니면 위치를 추적할 수 있을 것입니다. 프로세스에 있습니까? 혹시 정렬(alignment) 장치에 있나요? 냉각에 있어? E90은 그 가시성을 제공합니다.

SECS-I에서 HSMS로의 전환: 속도 업그레이드

레거시 장비를 가지고 있다면, SECS-I를 직렬로 연결하고 씨름하고 있을 수 있습니다. RS-232 케이블은 악명을 따로따로 롭습니다. 지상 루프, 전송 속도(보드 속도), 케이블 길이 제한(리피터 없이 최대 50피트) 등은 뼈대 거리입니다.

E37 – HSMS 는 모든 것을 TCP/IP로 이동을 상기시켜 줍니다.

• 신뢰성: 더 이상 이상한 현상 Pin이나 신호 열화 문제가 없습니다.
• 속도: HSMS는 매우 많습니다. 유일하게 10회와 함께 온도를 유지하는 현대의 “Trace Data”(E5 Stream 6) 수집에서 중요합니다. SECS-I는 이 데이터를 양을 처리하지 못하지만 HSMS는 모두 처리하지 않습니다.

정말 현대화하려면 레거시 SECS-I 포트를 HSMS로 변환하는 SECS/GEM 어댑터를 설치하는 것이 높은 ROI를 제공하는 활동 중 하나입니다. 이 도구는 즉각적인 네트워크 관리가 가능하며 정기적인 분석 플랫폼과 통합이 가능합니다.

형상화 및 현대적 솔루션

SECS/GEM 소프트웨어를 구현하는 것은 플러그 앤 플레이가 아닙니다. "플러그 앤 끼어들기"에 가깝습니다. 인력들이 직면하는 일반적인 장애물은 다음과 같습니다.

1. “스파게티 코드” 개발자들은 종종 E30 상태의 시리즈를 과소 평가합니다. “행복한 경로(Happy Path)”에서는 동작하는 빠른 드라이버를 작성했지만, 장비가 작동하는 모듈이나 통신 이상을 사용하는 표면이 바로 일치합니다.
   • 해결책: 원시 SECS 메시지를 처음부터 작성하기보다는 소속 SECS/GEM 드라이버나 라이브러리(SDK)를 사용하세요.
2. 공예 조각 장비 매뉴얼에는 ASCII 문자열이 포함되어 있으며 실제로 도구는 2바이트 정수를 보냅니다. 호스트가 충돌합니다.
   • 해결책: 좌파화(특성화). "골든하기 전에" 테스트 도구로 장치의 모든 활동과 이벤트를 쿼리하세요.
3. 200mm 장비에 300mm 탑재 200mm 포트에서도 헬리콥터를 위해 GEM300 기능(예: 고급 전송 관리)을 원하지만 OHT가 없는 경우가 있습니다.
   • 해결책: 하이브리드 방식. 오래된 장비에는 기본 SECS/GEM을 사용하는 반면 호스트 측에는 300mm 부품을 "흉내" 내는 스마트 미들웨어가 필요합니다.

빠른 참고: 그리드 그리드

계속해서 노력하는 핵심 포인트의 정리입니다.

결론

산업이 300mm 포함 및 그 영역에서 더 나은 감에 따라 SECS/GEM 인터페이스를 구현하고 유지 관리하는 능력은 중요한 기술 세트가 공유됩니다. 이것이 처리할 일의 현실과 수율 분석의 디지털 세계를 연결하는 부분입니다.

OEM 개발자가 도구를 "잘 레디(fab Ready)"로 만들려고 노력하고, 공장 관리자가 라인 가동 시간을 5% 더 높이려고 하는 데, 훨씬 더 나은 수익을 얻을 수 있습니다. GEM300 표준은 로드 맵을 제공하며, 귀하는 그 차를 운전하면 됩니다.