반도체 제조를 위한 중앙 집중식 레시피 관리
레시피 실행 오류를 방지하여 수율을 보호하고 비용이 많이 드는 오류를 예방합니다.
모든 도구에 걸쳐 레시피를 중앙 집중식으로 관리하여 제조 공정 전반의 일관성을 보장합니다.
완벽한 추적성과 감사 로그를 통해 규정 준수 및 품질 검사를 간소화합니다.
작업자 의존도를 줄이고 수동 선택으로 인한 위험을 제거합니다.
불량품과 재작업을 줄여 전반적인 생산 효율을 향상시킵니다.
프로세스를 표준화하여 교대 근무 및 사업장 전반에 걸쳐 일관된 실행을 유지합니다.
반도체 제조 시설 및 ATM/OSAT용 레시피 관리 시스템
EIRMS는 반도체 제조 시설 및 ATM 시설의 수율, 엔지니어링 효율성, OEE 및 사이클 시간을 개선하는 데 도움이 되는 포괄적인 제조 레시피 관리 소프트웨어입니다.
EIRMS는 버전 관리, 골든 레시피 지원 , 모든 변경 사항 추적 기능을 포함하여 장비 레시피를 완벽하게 제어할 수 있도록 지원합니다 . SECS/GEM 지원 장비와 원활하게 통합되며, SECS/GEM을 지원하지 않는 장비에도 맞게 맞춤 설정할 수 있어 모든 생산 라인에서 일관된 레시피 실행과 규정 준수를 보장합니다.
레시피 관리 시스템(EIRMS) 워크플로우
시스템 통합
EIRMS는 다음과 완벽하게 통합됩니다:
- SECS/GEM 지원 장비
- 공장 호스트 시스템
- MES 환경
- 중앙 집중식 생산 관리 플랫폼
SECS/GEM 도구가 아닌 경우에도 완벽한 유연성을 보장하기 위해 맞춤형 솔루션을 제공합니다.
지원되는 툴셋
EIRMS는 다음과 같은 다양한 반도체 툴셋을 지원합니다.
- 캐논 i5+, i5 및 i4 스테퍼 모터
- Matrix System One 건식 식각
- SPEC 습식 벤치
- IVS 오버레이 측정
- 울트라테크 웨이퍼 측정
전개
EIRMS는 다음을 지원합니다:
- SECS/GEM 커뮤니케이션
- 중앙 집중식 레시피 서버
- 버전 제어 관리
- 기업 수준의 운영
소규모 시설부터 대규모 시설까지 확장 가능합니다.
| 제품 특장점 | Manual | EIRMS |
|---|---|---|
| 버전 관리 | ❌ | ✅ |
| 승인 워크플로 | ❌ | ✅ |
| 감사 추적 | ❌ | ✅ |
| SECS/GEM 통합 | ❌ | ✅ |
| 중앙 리포지토리 | ❌ | ✅ |
| 멀티 툴 지원 | ❌ | ✅ |
왜 아이노시스를 선택해야 할까요?
EIRMS는 반도체 자동화 및 소프트웨어 전문 기업인 Einnosys에서 개발했으며, Einnosys는 다음과 같은 분야에서 전문성을 보유하고 있습니다.
- SECS/GEM 통합
- 공장 자동화
- 스마트 제조 솔루션
- 첨단 제조 시스템
Einnosys는 반도체 제조 및 ATM 환경에 최적화된 안정적이고 확장 가능한 반도체 레시피 관리 소프트웨어 솔루션을 제공합니다.
사용 사례 및 응용 프로그램
반도체 제조
제조 설비를 MES 시스템에 연결하고, 200mm/300mm 규격 준수를 지원하며, 고급 공정 제어 기능을 구현합니다.
스마트팩토리 통합
기존 장비를 최신 인더스트리 4.0 플랫폼, IoT 시스템 및 클라우드 기반 분석과 연결하십시오.
제조 실행 시스템(MES)
생산 현장 장비와 기업 MES 플랫폼 간의 원활한 데이터 흐름을 지원합니다.
공업 자동화
PLC, SCADA 시스템 및 산업용 컨트롤러를 SECS/GEM 호스트 시스템과 통합합니다.
다중 공급업체 환경
서로 다른 프로토콜을 사용하는 여러 제조업체의 장비 간에 통합된 통신을 구축하십시오.
클라우드 및 에지 컴퓨팅
고급 분석을 위해 산업 장비를 클라우드 플랫폼 및 엣지 컴퓨팅 인프라에 연결합니다.
생산량, 엔지니어링 효율성 및 OEE를 향상시킬 준비가 되셨습니까?
반도체 제조 시설 및 ATM을 위한 중앙 집중식 규정 준수 레시피 관리 시스템인 EIRMS를 구현하십시오.
자주 묻는 질문.
레시피 관리 시스템이란 무엇인가요?
레시피 관리 시스템은 반도체 제조에 사용되는 레시피를 관리, 모니터링하고 정확성을 보장하도록 설계된 도구입니다. 이 시스템은 반도체 제조 공장(팹)과 ATM(조립, 테스트, 패키징) 시설의 수율, OEE(전체 설비 효율) 및 엔지니어링 효율성을 향상시키는 데 도움을 줍니다.
레시피 관리 시스템은 어떻게 생산량과 효율성을 향상시키나요?
생산 로트가 항상 올바른 버전의 레시피로 실행되도록 함으로써, 이 시스템은 오류를 줄이고, 기계 성능을 최적화하며, 가동 중지 시간을 최소화합니다.
레시피 관리 시스템은 모든 장비와 호환됩니까?
네, SECS/GEM 기능을 갖춘 모든 장비와 호환됩니다. SECS/GEM 기능을 지원하지 않는 장비에 대한 맞춤형 솔루션 개발도 가능합니다.
SECS/GEM이란 무엇이며, 레시피 관리 시스템에 왜 중요한가요?
SECS(SEMI 장비 통신 표준)와 GEM(일반 장비 모델)은 제조 장비와 호스트 시스템 간의 원활한 통신을 가능하게 하는 프로토콜입니다. 이러한 프로토콜은 자동화 및 효율적인 레시피 관리에 필수적입니다.
레시피 관리 시스템은 어떻게 레시피 정확성을 보장합니까?
이 시스템은 레시피 버전을 생산 로트 요구 사항과 대조하여 검증하고, 항상 올바른 레시피가 사용되도록 보장함으로써 인적 오류의 위험을 줄입니다.
해당 시스템은 제조 시설에서 여러 유형의 장비를 처리할 수 있습니까?
네, 해당 시스템은 모든 장비 유형을 지원하도록 설계되어 중앙 집중식으로 효율적인 레시피 관리 프로세스를 보장합니다.
이 시스템은 어떻게 엔지니어링 시간을 절약해 줍니까?
레시피 업데이트, 유효성 검사 및 버전 관리를 자동화함으로써, 이 시스템은 수동 조정 및 모니터링에 소요되는 수 주에 달하는 엔지니어링 시간을 매년 절약해 줍니다.
레시피 관리 시스템은 어떤 데이터를 수집하나요?
RMS는 특정 버전 및 수정 날짜가 포함된 모든 레시피와 해당 버전을 업로드 또는 다운로드한 사용자와 같은 데이터를 수집합니다.
해당 시스템이 기존 MES, factoryHost 또는 StationController와 통합될 수 있습니까?
예, 레시피 관리 시스템은 MES, factoryHost 또는 StationController와 통합하여 제조 공정 전반에 걸쳐 원활한 운영과 데이터 흐름을 보장할 수 있습니다.
이 시스템은 대규모 제조 시설이나 여러 사업장을 운영하는 환경에 맞춰 확장 가능한가요?
물론입니다. 이 시스템은 대규모 및 다중 사업장 운영을 처리하도록 설계되어 모든 사업장에서 일관된 레시피 관리를 보장합니다.
레시피 관리 시스템을 도입하면 어떤 이점이 있나요?
주요 이점으로는 생산량 증대, 주기 시간 단축, OEE 향상, 일관된 레시피 실행, 인적 오류 감소, 엔지니어링 팀의 상당한 시간 절약 등이 있습니다.
이 시스템은 레시피 버전 관리를 어떻게 처리하나요?
이 시스템은 모든 레시피의 버전 기록을 유지하고, 승인된 버전만 프로덕션 환경에 배포되도록 보장하며, 업데이트를 추적 및 기록합니다.
레시피 관리 시스템은 어떻게 배포되나요?
배포에는 시스템을 제조 공장의 장비 및 호스트 시스템과 통합하고, 레시피를 구성하고, 운영자와 엔지니어에게 사용법을 교육하는 작업이 포함됩니다.
해당 시스템은 실시간 모니터링을 제공할 수 있습니까?
네, 레시피 실행 및 장비 상태를 실시간으로 모니터링하여 원활한 작업을 보장합니다.
레시피 관리 시스템은 어떤 산업 분야에서 활용될 수 있을까요?
이 기술은 주로 반도체 제조에 사용되지만, 제약 및 전자 제품 조립과 같이 정밀한 레시피 또는 공정 제어가 필요한 다른 산업에도 도움이 될 수 있습니다.