고객: 한국의 선도적인 반도체 제조업체
업종 : 반도체 제조

도전

반도체 기술의 발전은 제조 공정 최적화를 위해 효율적인 장비 간 통신을 요구합니다. 고객사는 이러한 요구 사항을 충족하기 위해 노력해야 합니다. Centura HDP HDP-CVD 시스템은 향상된 실시간 모니터링, 데이터 수집 및 자동화를 위해 SECS/GEM 규정 준수가 필요했습니다.하지만 SECS/GEM을 기존 시스템과 통합하는 데에는 상당한 어려움이 있었습니다.

기존 인프라에는 SECS/GEM에 대한 기본 지원 기능이 없습니다.

일관성 없는 데이터 교환으로 인해 비효율성이 발생합니다.

고유한 제조 워크플로에 맞춰 조정하는 데 따른 어려움.

해법

이러한 문제들을 극복하기 위해 EIGEMBox가 도입되었습니다. 이 견고한 SECS/GEM 통합 솔루션은 기존 시스템과 최신 반도체 장비 간의 격차를 해소합니다. 주요 기능은 다음과 같습니다.

Centura HDP HDP-CVD는 최소한의 하드웨어 변경만으로 SECS/GEM 규격을 준수하는 플러그 앤 플레이 방식입니다.

효율적인 데이터 관리를 통해 장비와 공장 시스템 간의 정확한 통신을 보장합니다.

맞춤형 자동화 기능을 통해 운영자는 GEM 메시징을 통해 명령 및 모니터링을 세밀하게 조정할 수 있습니다.

테스트 및 검증

신뢰성과 규정 준수를 보장하기 위해 철저한 검증 절차가 진행되었습니다.

프로토콜 검증: 모든 SECS/GEM 명령어는 업계 표준에 따라 테스트되었습니다.

실시간 데이터 로깅: 정확성 검증을 위해 이벤트, 경보 및 매개변수 변경 사항이 기록되었습니다.

결과

EIGEMBox 통합을 통해 상당한 개선이 이루어졌습니다.

100% SECS/GEM 규정 준수이를 통해 장비 간 원활한 통신이 가능해집니다.

데이터 정확도 30% 향상프로세스 모니터링에서 오류를 최소화합니다.

강화 된 자동화이를 통해 운영을 간소화하고 작업자의 업무 부담을 줄였습니다. EIGEMBox를 활용함으로써 고객은 장비 연결성을 혁신하여 생산 라인의 효율성과 신뢰성을 향상시켰습니다. 이러한 성공 사례는 스마트 통합 솔루션이 반도체 제조 분야의 혁신을 주도할 수 있는 잠재력을 보여줍니다.

워크플로우 최적화: 시험 운영 결과, 운영이 더욱 원활해지고 수동 개입이 감소한 것으로 확인되었습니다.