클라이언트 개요
선도적인 반도체 제조업체는 웨이퍼 세척에 필수적인 장비인 구형 SCREEN 스크러버 AS-2000으로 인해 생산 비효율에 직면했습니다. 해당 장비는 SECS/GEM 연결 기능이 없어 작업자가 공정 데이터를 수동으로 기록해야 했고, 이로 인해 지연, 오류 발생, 그리고 4.0차 산업혁명을 준비 중인 해당 공장의 규정 준수 위험이 초래되었습니다.
과제
운영상의 병목 현상 포함 사항:
실시간 모니터링 없음: 수동 데이터 기록으로 인해 결함 감지가 지연되었습니다.
비표준 프로토콜: 해당 스크러버는 자체 개발한 인터페이스를 사용했는데, 이는 제조 공장의 SEMI E84/E87 기반 MES와 호환되지 않았습니다.
규정 준수 위험: FDA/ISO 심사를 위한 데이터 로깅 자동화가 불가능합니다.
가동 중지 시간 비용: 교대 근무 시간당 15분 이상이 수동 점검에 낭비됩니다.
주요 기능 :
코드 변경 없음: 스크러버의 OEM 소프트웨어는 수정되지 않았습니다.
FDC 통합: 입자 수 이상치에 대한 오류 감지 기능을 활성화했습니다.
레시피 동기화: MES에서 E87 레시피를 자동으로 다운로드합니다.
해법
고객은 스크러버에 다음과 같은 기능을 추가하기 위해 플러그 앤 플레이 방식의 SECS/GEM 통신 게이트웨이인 EIGEMBox를 구축했습니다.
SEMI E30/GEM 규정 준수
E84/E87 레시피 관리
실시간 장비 추적
주요 구현 단계:
프로토콜 분석: EIGEMBox 엔지니어들은 스크러버의 독자적인 인터페이스를 역설계했습니다.
하드웨어 통합: 통신 연결을 위해 비침습형 엣지 모듈을 설치했습니다.
GEM 스크립팅: SEMI 표준에 따라 구성된 이벤트 보고서(예: 공정 시작/종료, 경보).
MES 테스트: 고객사의 Applied Materials MES 시스템과의 데이터 흐름을 검증했습니다.
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고객 피드백
“EIGEMBox 덕분에 당사의 AS-2000은 데이터 블랙홀에서 스마트하고 규정을 준수하는 도구로 탈바꿈했습니다. 수동 로깅 오류를 없애고 스마트 팹 로드맵을 가속화할 수 있었습니다.”
— 공정 엔지니어링 관리자
